CN211955586U - 测试结构及包括复数该测试结构的探针装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型关于一种测试结构，其包括一基座；一测试机构，其包括一可活动地设于该基座的探针座及一设于该探针座的探针；其中，调整该探针座可带动该探针于一第一位置及一第二位置之间移动，该第一位置及该第二位置的间距为2.00mm。本实用新型另关于一种探针装置，包括复数上述的测试结构，其中于该第二位置时，其中一该测试机构的探针与相邻的至少一该测试机构的探针错位设置。本实用新型提供的测试结构及包括复数该测试结构的探针装置，可调整一探针座相对该基座的位置，以利于拆装一探针。

Description

测试结构及包括复数该测试结构的探针装置

技术领域

本实用新型有关于一种测试结构及包括复数该测试结构的探针装置。

背景技术

习知的晶片检测机包括一机台、复数环形设置于该机台的针座、复数分别装设于其中一该针座的自由端的探针，及一可供一晶圆放置的检测台。然而，习知技术要替换探针时，由于相邻的针座设置的相当紧密，若要直接拆装探针会碰撞到邻近的针座，因此必须拆离整组的针座才能将探针拆离机台，造成拆、装上的不便且费工，再者在拆卸过程中会拉扯到电性连接于探针上的导线，造成导线的打结或损坏。

因此，有必要提供一种新颖且具有进步性的探针装置，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种测试结构及包括复数该测试结构的探针装置，可调整一探针座相对该基座的位置，以利于拆装一探针。

为达成上述目的，本实用新型提供一种测试结构，其包括一基座；一测试机构，其包括一可活动地设于该基座的探针座及一设于该探针座的探针；其中，调整该探针座可带动该探针于一第一位置及一第二位置之间移动，该第一位置及该第二位置的间距为2.00mm。

在一实施例中，该探针座可线性移动定位地设于该基座，该基座包括一第一滑卡结构；该探针座包括一第二滑卡结构，该第二滑卡结构滑设于该第一滑卡结构，该第二滑卡结构与该第一滑卡结构于一垂直于该探针座的一滑移路线的第一方向上相卡抵而不能相互脱离。

在一实施例中，该测试机构另包括一调节件，该调节件可移动地螺设于该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者并可松脱地迫紧另一者。

在一实施例中，该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者设有二于该滑移路线上间隔设置的孔槽，该调节件可选择地插入其中一该孔槽。

在一实施例中，该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者为鸠尾槽、另一者为鸠尾凸，该鸠尾槽与该鸠尾凸的形状相同，该鸠尾凸朝该鸠尾槽的槽底方向渐扩，该鸠尾凸于相对二侧设有二侧部，各该侧部包括一斜面段及一横向于该斜面段的侧面段，各该侧部的斜面段可于该第一方向上抵于该鸠尾槽。

在一实施例中，该鸠尾凸朝该第一方向凸出该鸠尾槽。

在一实施例中，该第二滑卡结构可拆卸地设于该探针座。

在一实施例中，该探针座另以二固接件可拆卸地连接该第二滑卡结构，该探针座另定义二平行于该滑移路线的第一垂直线，该二第一垂直线各通过其中一该固接件的中心，由该第一方向观之，该调节件的轴心位于该二第一垂直线之间。

在一实施例中，该调节件可移动地螺设于该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者并朝该第一方向迫紧另一者；该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者为鸠尾槽、另一者为鸠尾凸，该鸠尾槽与该鸠尾凸的形状相同，该鸠尾凸朝该鸠尾槽的槽底方向渐扩，该鸠尾凸于相对二侧设有二侧部，各该侧部包括一斜面段及一横向于该斜面段的侧面段，各该侧部的斜面段可于该第一方向上抵于该鸠尾槽；该侧面段为一朝第一方向延伸的直面；该探针座另包括一朝该第一方向延伸的悬臂，该悬臂设有一沟槽及一迫紧件，该迫紧件可移动地锁固于该悬臂，该沟槽可供设置该探针于内，该迫紧件可供朝该沟槽的方向松脱地迫紧该探针；该探针座于至少二相异端面各设有一导线沟及至少一定位件，该导线沟供一导线设置于内，各该定位件可移动地锁固于该探针座，各该定位件可供朝该导线沟的方向松脱地迫紧该导线；该探针座另包括二贯孔，该第二滑卡结构设有二于该滑移路线上间隔设置的锁孔组，各该锁孔组包括二可选择地对应该贯孔的锁孔，该二固接件穿锁该二贯孔及其中一该锁孔组的该二锁孔。

在一实施例中，该探针座以一枢部为转动轴心而可相对该基座旋摆。

在一实施例中，该探针座于一滑移路线可线性移动定位地设于该基座，该基座包括一第一滑卡结构；该探针座包括一第二滑卡结构，该第二滑卡结构滑设于该第一滑卡结构，该第一滑卡结构包括一第一滑抵斜面，该第二滑卡结构包括一与该第一滑抵斜面相互滑靠的第二滑抵斜面。

在一实施例中，该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者为一滑槽、另一者为滑设于该滑槽的滑块，该基座包括至少一第一限位结构，该探针座包括至少一第二限位结构，各该第一限位结构及各该第二限位结构其中一者为一滑孔、另一者为可滑移于该滑槽内的凸柱。

在一实施例中，该至少一第一限位结构的数量为二，该至少一第二限位结构的数量为二，其中一该第一限位结构为该凸柱，其中一该第二限位结构为该滑孔，该凸柱设有一抵缘，该抵缘于一垂直于该滑移路线的第一方向于该滑孔外抵挡该探针座而该探针座不能朝该第一方向脱离该基座。

为达成上述目的，本实用新型另提供一种探针装置，包括复数上述的测试结构，其中于该第二位置时，其中一该测试机构的探针与相邻的至少一该测试机构的探针错位设置。

本实用新型的优点是：

本实用新型提供的测试结构及包括复数该测试结构的探针装置，可调整一探针座相对该基座的位置，以利于拆装一探针。

附图说明

图1为本实用新型一第一较佳实施例的立体图。

图2为本实用新型一第一较佳实施例的分解图。

图3为本实用新型一第一较佳实施例的剖面图。

图4为图3的局部图。

图5为本实用新型一第一较佳实施例的复数探针装置使用状态图。

图6为图5的局部放大图。

图7为本实用新型一第一较佳实施例的一探针座升高的局部放大图。

图8为本实用新型一第二较佳实施例的使用状态图。

图9为本实用新型一第三较佳实施例的立体图。

图10为本实用新型一第三较佳实施例的另一立体图。

图11为本实用新型一第三较佳实施例的局部立体图。

具体实施方式

以下将通过实施例说明本实用新型的结构特征及其预期达成的功效，惟非用以限制本实用新型所欲保护的范畴，合先叙明。

请参考图1至图7，其显示本实用新型的一第一较佳实施例，本实用新型的测试结构1，其包括一基座10及一测试机构5。

该测试机构5包括一可活动地设于该基座10的探针座20及一设于该探针座20的探针2；其中，调整该探针座20可带动该探针20于一第一位置及一第二位置之间移动，该第一位置及该第二位置的间距D为2.00mm；详细地说明，如图3，该探针座20及该探针2为实线的部分是位于该第一位置，而该探针座20及该探针2为虚线的部分是位于该第二位置；如此可调整该探针座20相对该基座10的位置并定位，以利于拆装一探针2。

该探针座20可线性移动定位地设于该基座10，该基座10包括一第一滑卡结构40；该探针座20包括一第二滑卡结构50，该第二滑卡结构50滑设于该第一滑卡结构40，该第二滑卡结构50与该第一滑卡结构40于一垂直于该探针座20的一滑移路线L1的第一方向L2上相卡抵而不能相互脱离；进一步说明，该测试机构5另包括一调节件30，该调节件30可移动地螺设于该第一滑卡结构40及该第二滑卡结构50其中一者并可松脱地朝该第一方向L2迫紧另一者；该调节件30连接该第一滑卡结构40及该第二滑卡结构50。于本实施例中，该调节件30可移动地螺设于该第二滑卡结构50并朝该第一方向L2可松脱地迫紧该第一滑卡结构40，该调节件30可迫紧于一平面、一凹凸面或一孔槽，以达到定位；详细地说，该调节件30可迫紧定位该第二滑卡结构50，或松脱该第二滑卡结构50使该探针座20可移动；于其他实施例中，该调节件可与第二滑卡结构固接，并相对该第一滑卡结构螺调；如此调整该调节件30使该探针座20可于滑移路线L1上相对该基座10移动，并迫紧定位该探针座20的位置，以利于拆装一探针2。于本实施例中，该探针座20可相对该基座10垂直线性上下移动。

较佳地，该第一滑卡结构40及该第二滑卡结构50其中一者设有二于该滑移路线L1上间隔设置的孔槽60，该调节件30可选择地插入其中一该孔槽60。于本实施例中，该第一滑卡结构40设有该孔槽60，以提升定位效果。该第二滑卡结构50设有一螺孔56，该调节件30为一螺杆，可移动地螺设于该螺孔56。

该第一滑卡结构40及该第二滑卡结构50其中一者为头-颈卡凸、另一者为颈-扩底滑槽，如此两者可于该第一方向L2上相互抵挡而不相互脱离，以抵抗该调节件30迫紧该第一滑卡结构40的反作用力，如此定位强度佳。再者，该颈-扩底滑槽于该探针座20的滑移路线L1上朝相对二侧开放，该第二滑卡结构50的尺寸小于该第一滑卡结构40的尺寸，使该第二滑卡结构50不会于该滑移路线L1凸出该第一滑卡结构40，以提供稳定的支撑力。于本实施例中，该第一滑卡结构40及该第二滑卡结构50其中一者为鸠尾槽、另一者为鸠尾凸，该第一滑卡结构40为鸠尾槽，该第二滑卡结构50为鸠尾凸，该鸠尾槽与该鸠尾凸的形状相同，该鸠尾凸朝该鸠尾槽的槽底方向渐扩，该鸠尾凸于相对二侧设有二侧部51，各该侧部51包括一斜面段52及一横向于该斜面段52的侧面段53，各该侧部51的斜面段52可于该第一方向L2上抵于该鸠尾槽，提供高迫紧力以提升定位效果，并可分散该调节件30迫紧于该第一滑卡结构40及该第二滑卡结构50其中一者的反作用力。再者，该鸠尾凸朝该第一方向L2凸出该鸠尾槽，如此该基座10与该探针座20于该第一方向L2上可保持间隔设置不相互干涉。于本实施例中，该侧面段53为一朝第一方向L2延伸的直面，可有效抵抗该探针座20的侧向力。

该第二滑卡结构50可拆卸地设于该探针座20，如此两者为两件式设计，利于制造、替换、调整等。详细地说，该探针座20另以二固接件70可拆卸地连接该第二滑卡结构50，该探针座20另定义二平行于该滑移路线L1的第一垂直线L3，该二第一垂直线L3各通过其中一该固接件70的中心，由该第一方向L2观之，该调节件30的轴心位于该二第一垂直线L3之间，以保持该探针座20平衡达到顺畅移动。较佳地，该探针座20另包括二贯孔21，该第二滑卡结构50设有二于该滑移路线L1上间隔设置的锁孔组54，各该锁孔组54包括二可选择地对应该贯孔21的锁孔55，该二固接件70穿锁该二贯孔21及其中一该锁孔组54的该二锁孔55，以调整该第二滑卡结构50于该探针座20上的位置。

该探针座20另包括一朝该第一方向L2延伸的悬臂22，该悬臂22设有一沟槽23及一迫紧件24，该迫紧件24可移动地锁固于该悬臂22，该沟槽23可供设置该探针2于内，该迫紧件24可供朝该沟槽23的方向松脱地迫紧该探针2，以利于快速拆、装该探针2，及紧固该探针2。

该探针座20于至少二相异端面各设有一导线沟25及至少一定位件26，于本实施例中该探针座20于三相异端面27a,27b,27c各设有该导线沟25及该至少一定位件26，该导线沟25供一导线3设置于内，各该定位件26可移动地锁固于该探针座20，各该定位件26可供朝该导线沟25的方向松脱地迫紧该导线3，以利于快速拆、装定位该导线3及提供紧固定位效果。

此外，该测试结构1另包括一供设于一检测台4的主体80及一可移动地连接于该主体80的连接座90，该基座10可移动地连接于该连接座90，该主体80设有一X轴转轮91及一Y轴转轮92，调整该X轴转轮91可使该连接座90带动该基座10朝X方向位移，调整该Y轴转轮92可使该连接座90带动该基座10朝Y方向位移；该连接座90设有一Z轴转轮93，调节该Z轴转轮93可直接带动该基座10朝Z方向位移。

请参考图8，其提供另一种测试结构1a，其显示本实用新型的一第二较佳实施例，其与本实用新型的该第一实施例的差异在于，该探针座20a以一枢部11为转动轴心而可相对该基座10a旋摆，该枢部11例如为一插销，通过旋转该探针座20a可以短的活动行程，使该探针2达到较大的位移距离。详细地说，该探针座20a及该探针2为实线的部分是位于该第一位置，该探针座20a及该探针2为虚线的部分是位于该第二位置。

请参考图9至图11，其提供再一种测试结构1b，其显示本实用新型的一第三较佳实施例，其与本实用新型的该第一实施例的差异在于，该基座10’包括一第一滑卡结构40’；该探针座20’包括一第二滑卡结构50’，该第二滑卡结构50’滑设于该第一滑卡结构40’，该第一滑卡结构40’包括一第一滑抵斜面41，该第二滑卡结构50’包括一与该第一滑抵斜面41相互滑靠的第二滑抵斜面57。该第一滑卡结构40’及该第二滑卡结构50’其中一者为一滑槽、另一者为滑设于该滑槽的滑块，于本实施例中，该第一滑卡结构40’为该滑块，该第二滑卡结构50’为该滑槽。该基座10包括至少一第一限位结构12，该探针座20包括至少一第二限位结构28，各该第一限位结构12及各该第二限位结构28其中一者为一滑孔、另一者为可滑移于该滑槽内的凸柱。较佳地，该至少一第一限位结构12的数量为二，该至少一第二限位结构28的数量为二，其中一该第一限位结构12’为该凸柱，其中一该第二限位结构28’为该滑孔，该凸柱设有一抵缘121，该抵缘121于该第一方向于该滑孔外抵挡该探针座20而该探针座20不能朝该第一方向脱离该基座10，得以稳定地调整该探针座20相对该基座10朝斜向移动，如此以简单的结构使该探针2可同时朝靠近该基座10及向上移动。

本实用新型另提供一种探针装置，其包括复数上述的测试结构1，其中于该第二位置时，其中一该测试机构1的探针2与相邻的至少一该测试机构1’的探针2’错位设置。

请参考图1至图7，在使用时，该复数测试结构1,1’通常呈例如环形设置，欲拆、装该探针2,2’时，仅需往上移动该探针座20，使该探针2,2’与相邻的该测试结构1,1’上的探针2,2’错位，便可利于拆、装；接着于拆、装完探针2,2’后移动该探针座20复位，以达到快速拆、装替换、又不会干扰及拉扯电性连接该探针2,2’的该导线3。

以上所述是本实用新型较佳实施例及其所运用的技术原理，对于本领域的技术人员来说，在不背离本实用新型的精神和范围的情况下，任何基于本实用新型技术方案基础上的等效变换、简单替换等显而易见的改变，均属于本实用新型保护范围之内。

Claims (14)

1.一种测试结构，其特征在于，包括：

一基座；

一测试机构，包括一可活动地设于该基座的探针座及一设于该探针座的探针；

其中，调整该探针座可带动该探针于一第一位置及一第二位置之间移动，该第一位置及该第二位置的间距为2.00mm。

2.如权利要求1所述的测试结构，其特征在于，该探针座可线性移动定位地设于该基座，该基座包括一第一滑卡结构；该探针座包括一第二滑卡结构，该第二滑卡结构滑设于该第一滑卡结构，该第二滑卡结构与该第一滑卡结构于一垂直于该探针座的一滑移路线的第一方向上相卡抵而不能相互脱离。

3.如权利要求2所述的测试结构，其特征在于，该测试机构另包括一调节件，该调节件可移动地螺设于该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者并可松脱地迫紧另一者。

4.如权利要求3所述的测试结构，其特征在于，该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者设有二于该滑移路线上间隔设置的孔槽，该调节件可选择地插入其中一该孔槽。

5.如权利要求2所述的测试结构，其特征在于，该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者为鸠尾槽、另一者为鸠尾凸，该鸠尾槽与该鸠尾凸的形状相同，该鸠尾凸朝该鸠尾槽的槽底方向渐扩，该鸠尾凸于相对二侧设有二侧部，各该侧部包括一斜面段及一横向于该斜面段的侧面段，各该侧部的斜面段可于该第一方向上抵于该鸠尾槽。

6.如权利要求5所述的测试结构，其特征在于，该鸠尾凸朝该第一方向凸出该鸠尾槽。

7.如权利要求2所述的测试结构，其特征在于，该第二滑卡结构可拆卸地设于该探针座。

8.如权利要求3所述的测试结构，其特征在于，该探针座另以二固接件可拆卸地连接该第二滑卡结构，该探针座另定义二平行于该滑移路线的第一垂直线，该二第一垂直线各通过其中一该固接件的中心，由该第一方向观之，该调节件的轴心位于该二第一垂直线之间。

9.如权利要求8所述的测试结构，其特征在于，该调节件可移动地螺设于该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者并朝该第一方向迫紧另一者；该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者为鸠尾槽、另一者为鸠尾凸，该鸠尾槽与该鸠尾凸的形状相同，该鸠尾凸朝该鸠尾槽的槽底方向渐扩，该鸠尾凸于相对二侧设有二侧部，各该侧部包括一斜面段及一横向于该斜面段的侧面段，各该侧部的斜面段可于该第一方向上抵于该鸠尾槽；该侧面段为一朝第一方向延伸的直面；该探针座另包括一朝该第一方向延伸的悬臂，该悬臂设有一沟槽及一迫紧件，该迫紧件可移动地锁固于该悬臂，该沟槽可供设置该探针于内，该迫紧件可供朝该沟槽的方向松脱地迫紧该探针；该探针座于至少二相异端面各设有一导线沟及至少一定位件，该导线沟供一导线设置于内，各该定位件可移动地锁固于该探针座，各该定位件可供朝该导线沟的方向松脱地迫紧该导线；该探针座另包括二贯孔，该第二滑卡结构设有二于该滑移路线上间隔设置的锁孔组，各该锁孔组包括二可选择地对应该贯孔的锁孔，该二固接件穿锁该二贯孔及其中一该锁孔组的该二锁孔。

10.如权利要求1所述的测试结构，其特征在于，该探针座以一枢部为转动轴心而可相对该基座旋摆。

11.如权利要求1所述的测试结构，其特征在于，该探针座于一滑移路线可线性移动定位地设于该基座，该基座包括一第一滑卡结构；该探针座包括一第二滑卡结构，该第二滑卡结构滑设于该第一滑卡结构，该第一滑卡结构包括一第一滑抵斜面，该第二滑卡结构包括一与该第一滑抵斜面相互滑靠的第二滑抵斜面。

12.如权利要求11所述的测试结构，其特征在于，该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者为一滑槽、另一者为滑设于该滑槽的滑块，该基座包括至少一第一限位结构，该探针座包括至少一第二限位结构，各该第一限位结构及各该第二限位结构其中一者为一滑孔、另一者为可滑移于该滑槽内的凸柱。

13.如权利要求12所述的测试结构，其特征在于，该至少一第一限位结构的数量为二，该至少一第二限位结构的数量为二，其中一该第一限位结构为该凸柱，其中一该第二限位结构为该滑孔，该凸柱设有一抵缘，该抵缘于一垂直于该滑移路线的第一方向于该滑孔外抵挡该探针座而该探针座不能朝该第一方向脱离该基座。

14.一种探针装置，其包括复数如权利要求1至13其中任一项所述的测试结构，其特征在于，该探针座于该第二位置时，其中一该测试机构的探针与相邻的至少一该测试机构的探针错位设置。

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