CN211921748U - 一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备，包括机箱，所述机箱的一侧表面固定设置有语音交互控制模块，所述机箱的内部一侧固定设置有控制部，所述语音交互控制模块的下部位置固定设置有人机控制模块，所述机箱的正表面背离连接语音交互控制模块和人机控制模块的一侧转动连接有开关门，所述机箱的内部另一侧固定设置有陶瓷腔体，所述陶瓷腔体的内部一侧侧壁固定设置有变频发热单元，所述陶瓷腔体的内部后壁表面固定连接有撑板，所述撑板板身一侧中部位置固定连接有马达。本实用新型中，设语音交互控制模块和人机控制模块，实现语音智能控制作业，也实现人机控制作业，设多个托盘，减少蓝宝石堆积，底部设马达，实现对蓝宝石的均匀加热。

Description

一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备

技术领域

本实用新型涉及退火设备领域，尤其涉及一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备。

背景技术

随着光电子领域对蓝宝石品质的质量要求越来越严，目前市场上2寸蓝宝石衬底片是主导，但随着技术的改进，4寸及更大尺寸的蓝宝石越来越受到专注，在开发4寸衬底片的过程中，按照2寸的工艺要求退火大尺寸晶片时，越来越多的难题暴露出来，因蓝宝石表面受热不均，退火后的蓝宝石翘曲不良问题尤为突出，严重的翘曲会在后道加工过程产生破片，影响整个加工循环的晶片质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备，包括机箱，所述机箱的一侧表面固定设置有语音交互控制模块，所述机箱的内部一侧固定设置有控制部，所述语音交互控制模块的下部位置固定设置有人机控制模块，所述机箱的正表面背离连接语音交互控制模块和人机控制模块的一侧转动连接有开关门，所述机箱的内部另一侧固定设置有陶瓷腔体，所述陶瓷腔体的内部一侧侧壁固定设置有变频发热单元，所述陶瓷腔体的内部后壁表面固定连接有撑板，所述撑板板身一侧中部位置固定连接有马达，所述马达的制动端固定向上设置，所述撑板的上方转动设置有托盘，且托盘底表面中部位置固定与马达的制动端连接，所述陶瓷腔体的内部上表面一侧固定连接有温度传感器。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述机箱内部设置陶瓷腔体的下部位置固定设置有制动部，所述制动部的内部一侧固定设置有真空泵，所述制动部的另一侧固定设置有氮气罐，所述真空泵的制动端固定连接有抽气管，所述氮气罐的制动端固定连接有进气管，且抽气管和进气管均贯穿陶瓷腔体的底表面。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述撑板固定设置为矩形板，所述马达的上部外表面固定卡合连接在撑板的板身中部，所述马达的中心位置到陶瓷腔体后部壁身距离小于托盘的盘径。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述变频发热单元在陶瓷腔体的内部左右侧壁固定设置有两个，且变频发热单元固定设置为硅钼棒，所述托盘固定设置为圆盘，且托盘的直径设置小于两个变频发热单元之间的距离。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述撑板在陶瓷腔体的后侧壁自上而下等距设置有三个，三个所述撑板的板身连接结构设置为相同。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述温度传感器在陶瓷腔体的内部上表面两侧固定设置有两个，且温度传感器型号为PT100。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型结构表面设置有语音交互控制模块和人机控制模块，既可以实现语音智能控制作业，也可以实现人机控制作业，增加控制方式多样性，也可以面对不同状况实现备用控制的功能。

2、本实用新型结构内部设置有多个托盘，可以减少蓝宝石的堆积，底部设置有转动马达，从而实现对蓝宝石的均匀加热作业。

3、本实用新型结构底部固定设置有氮气罐，在真空泵将内部抽至真空时，可向装置内部充入氮气进行保护作业。

附图说明

图1为一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备的主视剖面图；

图2为一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备的主视图；

图3为一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备的俯视剖面图。

图例说明：

1、机箱；2、控制部；3、陶瓷腔体；4、语音交互控制模块；5、人机控制模块；6、变频发热单元；7、撑板；8、马达；9、托盘；10、温度传感器； 11、真空泵；12、氮气罐；13、抽气管；14、进气管；15、开关门。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备，包括机箱1，提供机身，机箱1的一侧表面固定设置有语音交互控制模块4，实现智能语音控制，机箱1的内部一侧固定设置有控制部2，语音交互控制模块4的下部位置固定设置有人机控制模块5，提供人机控制面板，机箱1的正表面背离连接语音交互控制模块4和人机控制模块5的一侧转动连接有开关门15，实现内部放置作业的开关，提供内部控制元件的放置安装作业，机箱1的内部另一侧固定设置有陶瓷腔体3，陶瓷腔体3的内部一侧侧壁固定设置有变频发热单元6，提供加热源，陶瓷腔体3的内部后壁表面固定连接有撑板7，提供内部支撑，撑板7板身一侧中部位置固定连接有马达8，提供转动制动作业，马达8的制动端固定向上设置，撑板7的上方转动设置有托盘9，提供蓝宝石托置板身，且托盘9底表面中部位置固定与马达8的制动端连接，实现托盘9的转动作业，陶瓷腔体3的内部上表面一侧固定连接有温度传感器10，感应内部温度。

机箱1内部设置陶瓷腔体3的下部位置固定设置有制动部，制动部的内部一侧固定设置有真空泵11，实现内部的真空制造，制动部的另一侧固定设置有氮气罐12，提供内部的保护气体，真空泵11的制动端固定连接有抽气管13，氮气罐12的制动端固定连接有进气管14，且抽气管13和进气管14均贯穿陶瓷腔体3的底表面，撑板7固定设置为矩形板，马达8的上部外表面固定卡合连接在撑板7的板身中部，马达8的中心位置到陶瓷腔体3后部壁身距离小于托盘9的盘径，保证托盘9的正常转动，变频发热单元6在陶瓷腔体3的内部左右侧壁固定设置有两个，保证内部温度恒温，且变频发热单元6 固定设置为硅钼棒，受热能力强，托盘9固定设置为圆盘，且托盘9的直径设置小于两个变频发热单元6之间的距离，保证托盘9的正常转动，撑板7 在陶瓷腔体3的后侧壁自上而下等距设置有三个，三个撑板7的板身连接结构设置为相同，温度传感器10在陶瓷腔体3的内部上表面两侧固定设置有两个，保证温度传感的正常作业，且温度传感器10型号为PT100。

工作原理：在蓝宝石加工退火作业时，将蓝宝石放置在陶瓷腔体3的内部托盘9的上表面，关闭开关门15使内部密封，启动底部的真空泵11，实现内部的真空，再打开氮气罐12使得陶瓷腔体3的内部实现保护作业，通过语音交互控制模块4或者人机控制模块5实现内部的变频发热单元6进行加热作业，在加热过程中启动马达8，实现托盘带动蓝宝石进行转动作业，从而实现蓝宝石本身受热均匀，陶瓷腔体3内部两个温度传感器10的设置，可以保证内部温度传感准确，也可以避免一个损坏无法对内部进行继续控制，从而实现大尺寸蓝宝石退火作业。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备，包括机箱(1)，其特征在于：所述机箱(1)的一侧表面固定设置有语音交互控制模块(4)，所述机箱(1)的内部一侧固定设置有控制部(2)，所述语音交互控制模块(4)的下部位置固定设置有人机控制模块(5)，所述机箱(1)的正表面背离连接语音交互控制模块(4)和人机控制模块(5)的一侧转动连接有开关门(15)，所述机箱(1)的内部另一侧固定设置有陶瓷腔体(3)，所述陶瓷腔体(3)的内部一侧侧壁固定设置有变频发热单元(6)，所述陶瓷腔体(3)的内部后壁表面固定连接有撑板(7)，所述撑板(7)板身一侧中部位置固定连接有马达(8)，所述马达(8)的制动端固定向上设置，所述撑板(7)的上方转动设置有托盘(9)，且托盘(9)底表面中部位置固定与马达(8)的制动端连接，所述陶瓷腔体(3)的内部上表面一侧固定连接有温度传感器(10)。

2.根据权利要求1所述的一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备，其特征在于：所述机箱(1)内部设置陶瓷腔体(3)的下部位置固定设置有制动部，所述制动部的内部一侧固定设置有真空泵(11)，所述制动部的另一侧固定设置有氮气罐(12)，所述真空泵(11)的制动端固定连接有抽气管(13)，所述氮气罐(12)的制动端固定连接有进气管(14)，且抽气管(13)和进气管(14)均贯穿陶瓷腔体(3)的底表面。

3.根据权利要求1所述的一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备，其特征在于：所述撑板(7)固定设置为矩形板，所述马达(8)的上部外表面固定卡合连接在撑板(7)的板身中部，所述马达(8)的中心位置到陶瓷腔体(3)后部壁身距离小于托盘(9)的盘径。

4.根据权利要求1所述的一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备，其特征在于：所述变频发热单元(6)在陶瓷腔体(3)的内部左右侧壁固定设置有两个，且变频发热单元(6)固定设置为硅钼棒，所述托盘(9)固定设置为圆盘，且托盘(9)的直径设置小于两个变频发热单元(6)之间的距离。

5.根据权利要求1所述的一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备，其特征在于：所述撑板(7)在陶瓷腔体(3)的后侧壁自上而下等距设置有三个，三个所述撑板(7)的板身连接结构设置为相同。

6.根据权利要求1所述的一种新型实用大尺寸蓝宝石退火设备，其特征在于：所述温度传感器(10)在陶瓷腔体(3)的内部上表面两侧固定设置有两个，且温度传感器(10)型号为PT100。

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