CN211867464U - 一种抛光盘的驱动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种抛光盘的驱动装置，其包括固定盘、旋转机构、机架和平移机构，固定盘内设有冷却流道，固定盘上连接有抛光盘；旋转机构包括主轴和用于驱动主轴转动的第一驱动组件，固定盘连接于主轴的上端，主轴内穿设有与冷却流道相连通的冷却管，主轴的转动能带动固定盘和抛光盘同步转动；机架上设有支撑架，第一驱动组件连接于机架上；平移机构包括移动板和第二驱动组件，移动板套设于主轴的外部并与支撑架相接，第二驱动组件与移动板相接并能驱动移动板水平往复移动，移动板的移动能带动机架同步移动。本实用新型的抛光盘的驱动装置，既能对抛光盘冷却降温，又能充分利用抛光垫使用面积，避免同一位置抛光造成抛光垫过度损耗。

Description

一种抛光盘的驱动装置

技术领域

本实用新型涉及硅片抛光技术领域，特别涉及一种抛光盘的驱动装置。

背景技术

在半导体加工工艺中，对晶圆(硅片)进行无应力抛光处理时，控制晶圆表面抛光的均匀度，尽可能地保证晶圆表面各处，尤其是晶圆的中心和边缘区域抛去的厚度相当，对后续工艺的顺利进行以及对产品良品率的提高均具有非凡的意义。

但是目前使用的抛光盘的平面度难以保证，使置于其上的抛光垫与抛光头轴心线产生偏差，且在工作中无法有效冷却，进而造成硅片表面受力不均和温度偏差，甚至导致变形和碎裂，从而影响硅片抛光质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种能够进行冷却处理的抛光盘的驱动装置。

为达到上述目的，本实用新型提供了一种抛光盘的驱动装置，其包括：

固定盘，其内设有冷却流道，所述固定盘的上表面连接有抛光盘；

旋转机构，其包括主轴和第一驱动组件，所述固定盘连接于所述主轴的上端，所述主轴内穿设有与所述冷却流道相连通的冷却管，所述第一驱动组件连接于所述主轴的下端并能驱动所述主轴转动，所述主轴的转动能带动所述固定盘和所述抛光盘同步转动；

机架，其上设有支撑架，所述第一驱动组件连接于所述机架上；

平移机构，其包括移动板和第二驱动组件，所述移动板套设于所述主轴的外部并连接于所述支撑架的上端，所述第二驱动组件与所述移动板相接并能驱动所述移动板水平往复移动，所述移动板的移动能带动所述机架同步移动。

如上所述的抛光盘的驱动装置，其中，所述第一驱动组件包括第一驱动电机和减速机，所述第一驱动电机的输出轴与所述减速机的输入轴相接，所述减速机的输出轴与所述主轴的下端相接。

如上所述的抛光盘的驱动装置，其中，所述第一驱动电机的输出轴通过第一带传动机构与所述减速机的输入轴相接，所述减速机的输出轴通过第二带传动机构与所述主轴的下端相接。

如上所述的抛光盘的驱动装置，其中，所述第二驱动组件包括：

固定架，其位于所述移动板的下方，所述固定架的上端连接有两间隔且平行的直线形轨道，两所述直线形轨道分别位于所述主轴的两侧，所述移动板的下表面设有多个与各所述直线形轨道相对应的滑块，所述滑块连接于所述直线形轨道上并能沿所述直线形轨道滑动；

丝杠，其能转动的连接于所述固定架上，且所述丝杠平行于所述直线形轨道；

第二驱动电机，其连接于所述固定架上，所述第二驱动电机的输出轴与所述丝杠相接并能驱动所述丝杠转动；

驱动螺母，其旋接于所述丝杠上，所述驱动螺母通过连接板与所述移动板相接，所述丝杠的转动能驱动所述驱动螺母沿所述丝杠移动，所述驱动螺母的移动能带动所述移动板水平往复移动。

如上所述的抛光盘的驱动装置，其中，所述固定架上连接有间隔设置的固定座和支撑座，所述丝杠能转动与所述固定座和所述支撑座相接，所述驱动螺母能在所述固定座与所述支撑座之间移动。

如上所述的抛光盘的驱动装置，其中，所述固定盘上设有真空流道，所述真空流道连通所述固定盘的上表面和下表面，所述主轴内穿设有与所述真空流道相连通的气管，所述固定盘的上表面设有与所述真空流道相连通的气槽，所述抛光盘能与所述气槽围合形成真空吸附腔。

如上所述的抛光盘的驱动装置，其中，所述冷却管的下端连接有旋转接头，所述固定盘包括下定盘和盖接于所述下定盘的上表面的上定盘，所述下定盘的上表面设有冷却槽，所述上定盘与所述冷却槽围合形成所述冷却流道，所述抛光盘连接于所述上定盘的上表面。

如上所述的抛光盘的驱动装置，其中，所述主轴的外部套设有套管，所述套管通过轴承组件与所述主轴相接，所述移动板套接于所述套管的外部，所述轴承组件包括由上至下依次设置的第一轴承、轴环和第二轴承。

如上所述的抛光盘的驱动装置，其中，所述固定盘通过连接座连接于所述主轴的上端，所述冷却管贯穿所述连接座与所述冷却流道相连通，所述固定盘与所述移动板之间连接有支撑组件，所述支撑组件包括内支撑座和外支撑座，所述内支撑座套设于所述连接座的外部并与所述固定盘相接，所述外支撑座套设于所述内支撑座的外部并与所述移动板相接，且所述内支撑座与所述外支撑座之间连接有第三轴承。

如上所述的抛光盘的驱动装置，其中，所述连接座的下端沿周向连接有多个间隔设置的凸轮轴承随动器，所述主轴的上端设有凹槽，各所述凸轮轴承随动器的滚轮与所述凹槽的表面相接触。

与现有技术相比，本实用新型的优点如下：

本实用新型的抛光盘的驱动装置，通过在固定盘内设置冷却流道，并在主轴内穿设冷却管，使得固定盘能够对抛光盘冷却降温；

本实用新型的抛光盘的驱动装置，通过设置平移机构驱动机架移动，能够对抛光盘的位置进行调整，能充分利用抛光垫使用面积，避免同一位置抛光造成抛光垫过度损耗，从而提高了制成的硅片的平面度和成品率；

本实用新型的抛光盘的驱动装置，通过丝杠与驱动螺母的配合带动移动板水平往复移动，能够较准确的控制移动板的移动距离；

本实用新型的抛光盘的驱动装置，通过减速机连接第一驱动电机和主轴，减速电机能够将第一驱动电机输出的扭矩提高后输送给主轴，确保了主轴能够带动固定盘和抛光盘同步转动。

附图说明

以下附图仅旨在于对本实用新型做示意性说明和解释，并不限定本实用新型的范围。其中：

图1是本实用新型的抛光盘的驱动装置的结构示意图；

图2是图1所示的抛光盘的驱动装置去除主轴后的侧视结构示意图；

图3是移动板与平移机构(去除固定架后)相接的结构示意图。

附图标号说明：

100、固定盘；110、下定盘；120、上定盘；130、连接座；

200、抛光盘；

300、旋转机构；

310、主轴；311、凸棱；

320、第一驱动组件；321、第一驱动电机；322、减速机；

330、套管；

340、轴承组件；341、压紧螺母；342、上压盖；343、第一轴承；344、轴环；345、第二轴承；346、下压盖；

350、冷却管；351、旋转接头；

400、平移机构；

410、移动板；411、滑块；

420、第二驱动组件；421、固定架；4211、直线形轨道；4212、固定座；4213、支撑座；422、第二驱动电机；423、丝杠；424、驱动螺母；425、连接板；426、联轴器；

500、机架；510、支撑架；520、套管支架；

600、支撑组件；

610、内支撑座；620、外支撑座；630、第三轴承；631、第一压盖；632、第二压盖；

700、凸轮轴承随动器；

800、凹槽。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术方案、目的和效果有更清楚的理解，现结合附图说明本实用新型的具体实施方式。其中，形容词性或副词性修饰语“水平”和“竖直”、“上”和“下”、“内”和“外”的使用仅是为了便于多组术语之间的相对参考，且并非描述对经修饰术语的任何特定的方向限制。另外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

如图1所示，本实用新型提供了一种抛光盘的驱动装置，其包括固定盘100、旋转机构300、平移机构400和机架500，其中：

固定盘100内设有冷却流道(图中未示出)，冷却流道内能容置冷却液，固定盘100的上表面连接有抛光盘200，固定盘100能够带动抛光盘200同步转动或者移动，且在抛光盘200工作时，冷却液能够与抛光盘200进行换热，以降低抛光盘200的热量；

旋转机构300包括主轴310和第一驱动组件320，固定盘100连接于主轴310的上端，主轴310内穿设有与冷却流道相连通的冷却管350，外部的冷却液能通过冷却管350进入冷却流道，冷却流道内的冷却液也能通过冷却管350排出，以使得冷却流道内的冷却液能够持续地与抛光盘200进行换热，第一驱动组件320连接于主轴310的下端并能驱动主轴310转动，即抛光盘200、固定盘100、主轴310和第一驱动组件320由上至下依次连接，且第一驱动组件320能驱动主轴310以主轴310的轴线为轴转动，主轴310的转动能带动固定盘100和抛光盘200同步转动，即固定盘100和抛光盘200均能以主轴310的轴线为轴转动；

机架500上设有支撑架510，第一驱动组件320连接于机架500上，即抛光盘200、固定盘100、主轴310和第一驱动组件320由上至下依次连接于机架500上，使得机架500能够对旋转机构300、固定盘100和抛光盘200起到支撑作用，且机架500能带动旋转机构300、固定盘100和抛光盘200移动；

平移机构400包括移动板410和第二驱动组件420，移动板410大体呈矩形，移动板410套设于主轴310的外部并连接于支撑架510的上端，主轴310能相对移动板410转动，第二驱动组件420与移动板410相接并能驱动移动板410水平往复移动，移动板410的移动能带动机架500同步移动，具体的，移动板410的移动会带动与其相接的支撑架510同步移动，支撑架510移动会带动机架500同步移动，机架500移动会带动连接于其上的旋转机构300、固定盘100和抛光盘200同步移动，以调整抛光盘200的位置，避免抛光盘200上的抛光垫与抛光头的轴心线偏离，从而保证了制成的硅片的品质。

本实用新型的抛光盘的驱动装置，通过在固定盘100内设置冷却流道，并在主轴310内穿设冷却管350，使得固定盘100能够对抛光盘200冷却降温；通过设置平移机构400驱动机架500移动，能够对抛光盘200的位置进行调整，以充分利用抛光垫使用面积，避免同一位置抛光造成抛光垫过度损耗，从而提高了制成的硅片的平面度和成品率。

进一步，固定盘100上设有真空流道(图中未示出)，真空流道连通固定盘100的上表面和下表面，主轴310内穿设有与真空流道相连通的气管(图中未示出)，固定盘100的上表面设有与真空流道相连通的气槽(图中未示出)，抛光盘能与气槽围合形成真空吸附腔，将抽真空装置与气管相接，通过抽真空装置对抛光盘200与固定盘100围合形成的真空吸附腔进行抽真空处理，使抛光盘200负压吸附在固定盘100上，从而将抛光盘200连接于固定盘100上，以使得固定盘100能够带动抛光盘200同步转动或者移动，当需要拆卸抛光盘200时，只需停止抽真空装置对真空吸附腔的抽真空处理，以使真空吸附腔内的压力与外部压力大致相等，即可将抛光盘200拆下。

当然，抛光盘200也可以通过螺栓能拆装的连接于固定盘100上，在此不再赘述。

进一步，如图1所示，冷却管350的下端连接有旋转接头351，冷却管350通过旋转接头351与外部的冷却液存储装置相接通，以便于冷却液的循环流动，其中，旋转接头351的具体工作原理为现有技术，在此不再赘述，固定盘100包括下定盘110和盖接于下定盘110的上表面的上定盘120，下定盘110与上定盘120通过螺栓连接，气槽设置于上定盘120的上表面，下定盘110的上表面设有冷却槽(图中未示出)，具体的，冷却槽可以呈螺旋状、环状或者正弦曲线状，冷却管350的上端与冷却槽相连通，上定盘120与冷却槽围合形成冷却流道，即通过上定盘120将冷却槽的开口端密封以形成冷却流道，且为了保证冷却流道的密封性，可以在上定盘120与下定盘110的连接处设置密封圈，抛光盘200连接于上定盘120的上表面。

进一步，如图1所示，主轴310的外部套设有套管330，套管330能够对主轴310起到支撑和导向作用，套管330通过轴承组件340与主轴310相接，以使得主轴310能够相对套管330顺畅的转动，移动板410套接于套管330的外部，即移动板410套设于套管330的外部并通过螺栓与套管330相接，优选的，移动板410连接于套管330的上部，移动板410通过与套管330相接，提高了移动板410带动机架500同步移动的可靠性；轴承组件340包括由上至下依次设置的第一轴承343、轴环344和第二轴承345，具体的，主轴310的上部旋接有压紧螺母341，第一轴承343的内圈抵接于压紧螺母341的下端，套管330的上端连接有上压盖342，第一轴承343的外圈抵接于上压盖342的下端，套管330的下端连接有下压盖346，第二轴承345的外圈抵接于下压盖346的上端，主轴310的下部外周面设有向外凸出的凸棱311，第二轴承345的内圈抵接于凸棱311，轴环344夹设于第一轴承343与第二轴承345之间，即通过压紧螺母341、上压盖342、下压盖346和凸棱311，将第一轴承343、轴环344和第二轴承345限位于主轴310与套管330之间。

再进一步，机架500上设有套管支架520，套管330的下端连接于套管支架520上，套管支架520能对套管330起到支撑作用，从而使得套管330能稳定的套设于主轴310的外部。

进一步，如图1所示，固定盘100通过连接座130连接于主轴310的上端，具体的，固定盘100的下定盘110的下表面连接有连接座130，主轴310的上端与连接座130相接，冷却管350贯穿连接座130与冷却流道相连通，固定盘100与移动板410之间连接有支撑组件600，支撑组件600能够对固定盘100起到支撑作用，以使得固定盘100的转动更加稳定，支撑组件600包括内支撑座610和外支撑座620，内支撑座610套设于连接座130的外部并与固定盘100相接，外支撑座620套设于内支撑座610的外部并与移动板410相接，且内支撑座610与外支撑座620之间连接有第三轴承630，具体的，内支撑座610通过螺栓与固定盘100相接，外支撑座620通过螺栓与移动板410相接，外支撑环板上连接有第一压盖631，第三轴承630的外圈抵接第一压盖631，内支撑环板上连接有第二压盖632，第三轴承630的内圈抵接第二压盖632，第三轴承630的设置使得内支撑座610能够随固定盘100相对于外支撑座620转动，从而不会影响主轴310带动固定盘100同步转动。

再进一步，如图1所示，连接座130的下端沿周向连接有多个间隔设置的凸轮轴承随动器700，主轴310的上端设有凹槽800，各凸轮轴承随动器700的滚轮与凹槽800的表面相接触，即凸轮轴承随动器700的滚轮能沿凹槽800的表面滚动，以起到传递扭矩的作用。

在本实用新型的一种实施方式中，如图1和图2所示，第一驱动组件320包括第一驱动电机321和减速机322，第一驱动电机321的输出轴与减速机322的输入轴相接，减速机322的输出轴与主轴310的下端相接，减速机322能够将第一驱动电机321输出的扭矩提高后输送给主轴310，以确保主轴310能够带动固定盘100和抛光盘200同步转动。

进一步，如图1和图2所示，第一驱动电机321的输出轴通过第一带传动机构(图中未示出)与减速机322的输入轴相接，减速机322的输出轴通过第二带传动机构(图中未示出)与主轴310的下端相接，其中，第一带传动机构和第二带传动机构均包括主动轮、从动轮和张紧在两轮上的环形带，其具体连接方式为现有技术，在此不再赘述，带传动具有结构简单、传动平稳、能缓冲吸振、可以在大的轴间距和多轴间传递动力，且造价低廉、不需润滑、维护容易等优点，减速机322通过第一带传动机构和第二带传动机构分别与第一驱动电机321和减速机322相接，即能保证扭矩传递的可靠性，又便于调整减速机322和第一驱动电机321的位置，以便于抛光盘的驱动装置的整体布局。

在本实用新型的一种实施方式中，如图1、图2和图3所示，第二驱动组件420包括固定架421、第二驱动电机422、丝杠423和驱动螺母424，其中：

固定架421位于移动板410的下方，固定架421的上端连接有两间隔且平行设置的直线形轨道4211，两直线形轨道4211分别位于主轴310的两侧，移动板410的下表面设有多个与各直线形轨道4211相对应的滑块411，滑块411连接于直线形轨道4211上并能沿直线形轨道4211滑动，具体的，在本实施例中，各直线形轨道4211上分别连接有两个间隔设置的滑块411，以确保滑块411沿直线形轨道4211滑动时的稳定性，此外，滑块411与直线形轨道4211的配合，还能对移动板410的移动起到支撑和导向作用，以使得移动板410能更加稳定的移动；

丝杠423能转动的连接于固定架421上，且丝杠423平行于直线形轨道4211，即丝杠423仅能相对于固定架421转动，不能相对固定架421移动；

第二驱动电机422连接于固定架421上，即第二电机不会相对固定架421移动，第二驱动电机422的输出轴与丝杠423相接并能驱动丝杠423转动，具体的，第二驱动电机422的输出轴与丝杠423的第一端相接，丝杠423在第二驱动电机422的驱动下沿丝杠423的轴线转动；

驱动螺母424旋接于丝杠423上，驱动螺母424通过连接板425与移动板410相接，由于丝杠423不能相对固定架421移动，因此，丝杠423的转动会驱动驱动螺母424沿丝杠423移动，驱动螺母424的移动能通过连接板425带动移动板410水平往复移动，且移动板410的移动方向为丝杠423的轴向方向，并且丝杠423与驱动螺母424的配合，能够较准确的控制移动板410水平移动的距离。

其中，固定架421不会随移动板410水平移动。

当然，第二驱动组件420也可以包括上述固定架421和设置于固定架421上的驱动气缸，驱动气缸的活塞杆与移动板410相接，通过驱动气缸的活塞杆的伸出缸筒或者缩回缸筒，驱动移动板410水平往复移动。

进一步，如图2和图3所示，第二驱动电机422的输出轴通过联轴器426与丝杠423的第一端相接，联轴器426能够对丝杠423起到过载保护作用，以提高第二驱动组件420在工作过程中的安全性。

进一步，如图3所示，固定架421上连接有间隔设置的固定座4212和支撑座4213，丝杠423能转动与固定座4212和支撑座4213相接，驱动螺母424能在固定座4212与支撑座4213之间移动，具体的，固定座4212设置于丝杠423的第二端，丝杠423可以通过轴承能转动与固定座4212相接，固定座4212能够对丝杠423起到定位作用，支撑座4213设置于丝杠423的靠近联轴器426的一侧，丝杠423可以通过轴承能转动与支撑座4213相接，也可以在丝杠423的靠近联轴器426的一侧设置卡环，支撑座4213既能对丝杠423起到支撑作用，又能对丝杠423起到定位作用，以确保丝杠423不会相对固定座4212移动。

再进一步，抛光盘的驱动装置还包括控制器(图中未示出)，控制器优选为PLC控制器，控制器与第一驱动电机321和第二驱动电机422电连接，控制器能够驱动第一驱动电机321和第二驱动电机422的动作，从而使得驱动旋转机构300和平移机构400动作的操作简单方便。

进一步，移动板410上连接有用于检测移动板410的移动距离的位移传感器，位移传感器与控制器电连接，当控制器接收到位移传感器的检测信号时，控制第二驱动电机422停止工作。

下面结合附图具体说明本实用新型的抛光盘的驱动装置的工作过程：

如图1所示，在工作时，控制器驱动第一驱动电机321动作和第二驱动电机422同时动作，其中：

第一驱动电机321通过减速机322带动主轴310转动，主轴310转动带动固定盘100以主轴310为中心旋转，固定盘100旋转带动抛光盘200同步旋转；

第二驱动电机422驱动丝杠423转动，使驱动螺母424沿丝杠423往复移动，驱动螺母424通过连接板425带动移动板410水平往复移动，移动板410的移动带动机架500移动，机架500的移动带动抛光盘200水平往复运动，以增大连接于抛光盘200上的抛光垫的使用面积；

同时，冷却水从旋转接头351进入冷却管350，通过冷却管350进入下定盘110与上定盘120形成的冷却流道内，冷却水与抛光盘200热交换后通过冷却管350流至旋转接头351，再通过旋转接头351排出；

抛光工艺结束后，控制器驱动第一驱动电机321动作和第二驱动电机422同时停止工作。

综上所述，本实用新型的抛光盘的驱动装置，通过在固定盘内设置冷却流道，并在主轴内穿设冷却管，使得固定盘能够对抛光盘冷却降温；

本实用新型的抛光盘的驱动装置，通过设置平移机构驱动机架移动，能够对抛光盘的位置进行调整，以充分利用抛光垫使用面积，避免同一位置抛光造成抛光垫过度损耗，从而提高了制成的硅片的平面度和成品率；

本实用新型的抛光盘的驱动装置，通过丝杠与驱动螺母的配合带动移动板水平往复移动，能够较准确的控制移动板的移动距离；

本实用新型的抛光盘的驱动装置，通过减速机连接第一驱动电机和主轴，减速电机能够将第一驱动电机输出的扭矩提高后输送给主轴，确保了主轴能够带动固定盘和抛光盘同步转动。

以上所述仅为本实用新型示意性的具体实施方式，并非用以限定本实用新型的范围。任何本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改，均应属于本实用新型保护的范围。而且需要说明的是，本实用新型的各组成部分并不仅限于上述整体应用，本实用新型的说明书中描述的各技术特征可以根据实际需要选择一项单独采用或选择多项组合起来使用，因此，本实用新型理所当然地涵盖了与本案发明点有关的其它组合及具体应用。

Claims (10)

1.一种抛光盘的驱动装置，其特征在于，所述抛光盘的驱动装置包括：

固定盘，其内设有冷却流道，所述固定盘的上表面连接有抛光盘；

旋转机构，其包括主轴和第一驱动组件，所述固定盘连接于所述主轴的上端，所述主轴内穿设有与所述冷却流道相连通的冷却管，所述第一驱动组件连接于所述主轴的下端并能驱动所述主轴转动，所述主轴的转动能带动所述固定盘和所述抛光盘同步转动；

机架，其上设有支撑架，所述第一驱动组件连接于所述机架上；

平移机构，其包括移动板和第二驱动组件，所述移动板套设于所述主轴的外部并连接于所述支撑架的上端，所述第二驱动组件与所述移动板相接并能驱动所述移动板水平往复移动，所述移动板的移动能带动所述机架同步移动。

2.根据权利要求1所述的抛光盘的驱动装置，其特征在于，

所述第一驱动组件包括第一驱动电机和减速机，所述第一驱动电机的输出轴与所述减速机的输入轴相接，所述减速机的输出轴与所述主轴的下端相接。

3.根据权利要求2所述的抛光盘的驱动装置，其特征在于，

所述第一驱动电机的输出轴通过第一带传动机构与所述减速机的输入轴相接，所述减速机的输出轴通过第二带传动机构与所述主轴的下端相接。

4.根据权利要求1所述的抛光盘的驱动装置，其特征在于，

所述第二驱动组件包括：

固定架，其位于所述移动板的下方，所述固定架的上端连接有两间隔且平行的直线形轨道，两所述直线形轨道分别位于所述主轴的两侧，所述移动板的下表面设有多个与各所述直线形轨道相对应的滑块，所述滑块连接于所述直线形轨道上并能沿所述直线形轨道滑动；

丝杠，其能转动的连接于所述固定架上，且所述丝杠平行于所述直线形轨道；

第二驱动电机，其连接于所述固定架上，所述第二驱动电机的输出轴与所述丝杠相接并能驱动所述丝杠转动；

驱动螺母，其旋接于所述丝杠上，所述驱动螺母通过连接板与所述移动板相接，所述丝杠的转动能驱动所述驱动螺母沿所述丝杠移动，所述驱动螺母的移动能带动所述移动板水平往复移动。

5.根据权利要求4所述的抛光盘的驱动装置，其特征在于，

所述固定架上连接有间隔设置的固定座和支撑座，所述丝杠能转动与所述固定座和所述支撑座相接，所述驱动螺母能在所述固定座与所述支撑座之间移动。

6.根据权利要求1所述的抛光盘的驱动装置，其特征在于，

所述固定盘上设有真空流道，所述真空流道连通所述固定盘的上表面和下表面，所述主轴内穿设有与所述真空流道相连通的气管，所述固定盘的上表面设有与所述真空流道相连通的气槽，所述抛光盘能与所述气槽围合形成真空吸附腔。

7.根据权利要求1所述的抛光盘的驱动装置，其特征在于，

所述冷却管的下端连接有旋转接头，所述固定盘包括下定盘和盖接于所述下定盘的上表面的上定盘，所述下定盘的上表面设有冷却槽，所述上定盘与所述冷却槽围合形成所述冷却流道，所述抛光盘连接于所述上定盘的上表面。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的抛光盘的驱动装置，其特征在于，

所述主轴的外部套设有套管，所述套管通过轴承组件与所述主轴相接，所述移动板套接于所述套管的外部，所述轴承组件包括由上至下依次设置的第一轴承、轴环和第二轴承。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的抛光盘的驱动装置，其特征在于，

所述固定盘通过连接座连接于所述主轴的上端，所述冷却管贯穿所述连接座与所述冷却流道相连通，所述固定盘与所述移动板之间连接有支撑组件，所述支撑组件包括内支撑座和外支撑座，所述内支撑座套设于所述连接座的外部并与所述固定盘相接，所述外支撑座套设于所述内支撑座的外部并与所述移动板相接，且所述内支撑座与所述外支撑座之间连接有第三轴承。

10.根据权利要求9所述的抛光盘的驱动装置，其特征在于，

所述连接座的下端沿周向连接有多个间隔设置的凸轮轴承随动器，所述主轴的上端设有凹槽，各所述凸轮轴承随动器的滚轮与所述凹槽的表面相接触。

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