CN211858582U - 一种三管式准分子灯 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种三管式准分子灯，其特征在于：包括灯盒，所述灯盒下方设有滑动槽，所述滑动槽中间设有公用电极管，所述公用电极管两侧分别设有发光灯管，所述公用电极管外侧设有公用外管，所述公用电极外管内壁上设有金属镀层，所述发光管外侧设有发光外管，所述发光外管内壁一侧设有半圆镀层，所述发光灯外管内设有充气空间，所述充气空间内填充有发光气体，所述半圆镀层为半圆形，所述公用电极外管和发光灯外管分别各为透明石英材料，滑动槽使公用电极管和发光灯管之间的距离可以随意调节，解决了现有准分子放电灯的放电间距在制造过程中即被固定，出厂后无法改变的问题，使得灯管的放电间距、放电强度在出厂后按需要做出人为调整成为可能。

Description

一种三管式准分子灯

技术领域

本实用新型涉及准分子放电灯技术领域，具体涉及一种三管式准分子灯。

背景技术

准分子（Excimer）也叫受激二聚物，是指惰性气体、卤素气体、或者它们的双组份混合气体，在受到外来能量的激发过程中曾经形成但转瞬即逝的分子。准分子光通常是指受到电场激发的气态二聚物，由激发态返回基态时发生电子跃迁所辐射的紫外光。

通过采用不同的准分子气体配比，可以获得不同单色波长（172nm，193nm,207nm222nm，248nm或308nm等多种）的准分子紫外光。

准分子灯是上世纪七、八十年代开始发展的新光源技术，在国际上被誉为紫外光发生技术领域的一个里程碑，在微电子/半导体、医疗、材料科学、印刷和环境保护等领域已获得广泛和独特地应用。

现有的准分子放电灯，其结构形式都是单管一体式的，灯管由内层外层双层结构的透明容器构成，配比气体被充填在内外层容器构成的夹层中，放电灯的放电间距在制造过程中即被固定，出厂后无法改变，使得灯管的放电间距、放电强度在出厂后无法按需要做出人为调整，其次，现有的准分子放电灯的灯管外电极裸露在外，在腐蚀性气体条件下长期使用存在损坏报废的风险。

发明内容

（一）要解决的技术问题

为了克服现有技术不足，现提出一种三管式准分子灯，解决现有准分子放电灯的以下不足：其结构形式都是单管一体式的，放电灯的放电间距在制造过程中即被固定，出厂后无法改变，使得灯管的放电间距、放电强度在出厂后无法按需要做出人为调整；其次，现有的准分子放电灯的灯管，其外电极在腐蚀性气体条件下长期使用存在损坏报废的风险的问题。

（二）技术方案

本实用新型通过如下技术方案实现：本实用新型提出了一种三管式准分子灯，其特征在于：包括灯盒，所述灯盒下方设有滑动槽，所述滑动槽中间设有公用电极管，所述公用电极管两侧分别各设有发光灯管，所述公用电极管外侧设有公用电极外管，所述公用电极外管内壁上设有金属镀层，所述发光灯管外侧设有发光外管，所述发光外管内壁一侧设有半圆镀层，所述发光外管内设有充气空间，所述充气空间内填充有发光气体。

进一步的，所述半圆镀层为半圆形。

进一步的，所述公用电极管和发光外管分别各为透明石英材料。

（三）有益效果

本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：

1、为解决现有准分子放电灯，其结构形式都是单管一体式的，放电灯的放电间距在制造过程中即被固定，出厂后无法改变，使得灯管的放电间距、放电强度在出厂后无法按需要做出人为调整的问题，本实用新型通过设置滑动槽，使公用电极管和发光灯管之间的距离可以随意调节，解决了现有准分子放电灯的放电间距在制造过程中即被固定，出厂后无法改变的问题，使得灯管的放电间距、放电强度在出厂后按需要做出人为调整成为可能；

2、为解决现有的准分子放电灯的灯管在腐蚀性气体条件下长期使用存在损坏报废的风险的问题，本实用新型通过将电极设于容器内壁，无外电极，解决了灯管在腐蚀性气体条件下长期使用的问题。

附图说明

图1是本实用新型所述一种三管式准分子灯的结构示意图；

图2是本实用新型所述一种全新结构形式的三管式准分子放电灯中公用电极管和发光灯管的关系示意图。

附图标记说明如下：

1、灯盒；2、滑动槽；3、公用电极管；4、发光灯管；5、公用电极外管；6、金属镀层；7、发光外管；8、半圆镀层；9、充气空间；10、发光气体。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1-图2所示，本实施例中的一种三管式准分子灯，其特征在于：包括灯盒1，所述灯盒1下方设有滑动槽2，所述滑动槽2中间设有公用电极管3，所述公用电极管3两侧分别各设有发光灯管4，所述公用电极管3外侧设有公用电极外管5，所述公用电极外管5内壁上设有金属镀层6，所述发光灯管4外侧设有发光外管7，所述发光外管7内壁一侧设有半圆镀层8，所述发光外管7内设有充气空间9，所述充气空间9内填充有发光气体10。

进一步的，所述半圆镀层8为半圆形。

进一步的，所述公用电极外管5和发光外管7分别各为透明石英材料。

本实施例的具体实施过程如下：滑动公用电极管3和发光灯管4调整间距，通电后，金属镀层6作为公用电极，两侧的半圆镀层8作为内电极，金属镀层6和两侧的半圆镀层8开始形成高频高压交变电场，在高频高压交变电场的作用下，激发各自容器内的发光气体10，发出准分子紫外光，解决了现有准分子放电灯的放电间距在制造过程中即被固定，出厂后无法改变的问题，使得灯管的放电间距、放电强度在出厂后按需要做出人为调整成为可能，另外金属镀层6和半圆镀层8设于管内，无外电极，解决了灯管在腐蚀性气体条件下长期使用的问题。

上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本实用新型的保护范围，本实用新型请求保护的技术内容，已经全部记载在权利要求书中。

Claims (3)

1.一种三管式准分子灯，其特征在于：包括灯盒（1），所述灯盒（1）下方设有滑动槽（2），所述滑动槽（2）中间设有公用电极管（3），所述公用电极管（3）两侧分别各设有发光灯管（4），所述公用电极管（3）外侧设有公用电极外管（5），所述公用电极外管（5）内壁上设有金属镀层（6），所述发光灯管（4）外侧设有发光外管（7），所述发光外管（7）内壁一侧设有半圆镀层（8），所述发光外管（7）内设有充气空间（9），所述充气空间（9）内填充有发光气体（10）。

2.根据权利要求1所述的一种三管式准分子灯，其特征在于：所述半圆镀层（8）为半圆形。

3.根据权利要求1所述的一种三管式准分子灯，其特征在于：所述公用电极外管（5）和发光外管（7）分别各为透明石英材料。

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