CN211839215U - 一种半导体设备PCXT装置Lower shield部件超高压冲洗治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体设备PCXT装置Lower shield部件超高压冲洗治具，包括底座、部件支撑架和夹持装置，所述的夹持装置通过部件支撑架与底座连接，包括圆形放置面板和顶出装置，所述的顶出装置包括夹板、梯形螺杆和手轮，所述梯形螺杆通过T字钢固定在放置面板工作面边沿，梯形螺杆一端与手轮连接，另一端与夹板连接，本实用新型采用三爪旋转夹紧的方式不仅能满足不同尺寸规格产品的夹紧需求也可以保证夹紧的稳定性；手轮连接的螺杆是导程较高的梯形螺杆，这很好的解决了手轮旋紧过程中导程太小工作效率低的问题；跟部件接触的夹板采用的是特氟龙材质，且夹板内部做了圆弧凹槽可以提高和圆形部件的接触面积防止部件滑动。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体设备PCXT装置Lower shield部件超高压冲洗治具。
背景技术
在对半导体行业设备洗净再生恢复的过程中会常用到超高压冲洗这一物理去膜去杂方法，但是这种方法必须要有合适的夹具固定装夹好部件才能开始超高压作业。传统的夹具不是装夹不紧造成作业时部件晃动较大表面划伤就是装夹太紧造成部件变形，给现场作业带来很大困扰。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体设备PCXT装置Lower shield部件超高压冲洗治具，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体设备PCXT装置Lowershield部件超高压冲洗治具，包括底座、部件支撑架和夹持装置，所述的夹持装置通过部件支撑架与底座连接，包括圆形放置面板和顶出装置，所述的顶出装置包括夹板、梯形螺杆和手轮，所述梯形螺杆通过T字钢固定在放置面板工作面边沿，梯形螺杆一端与手轮连接，另一端与夹板连接。
优选的，顶出装置最少有3个，均匀分布在放置面板上。
优选的，夹板是特氟龙材质，其工作面上设有顶头，顶头是聚氨酯材质。
优选的，夹板与顶头连接面上设有圆弧凹槽。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.三爪旋转夹紧的方式不仅能满足不同尺寸规格产品的夹紧需求也可以保证夹紧的稳定性；
2.手轮连接的螺杆是导程较高的梯形螺杆，这很好的解决了手轮旋紧过程中导程太小工作效率低的问题；
3.跟部件接触的夹板采用的是特氟龙材质，且夹板内部做了圆弧凹槽可以提高和圆形部件的接触面积防止部件滑动。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2是本实用新型的俯视图。
图中：1夹板，2顶头，3底座，4梯形螺杆，5放置面板，6部件支撑架， 7手轮。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体设备PCXT装置 Lowershield部件超高压冲洗治具，包括底座3、部件支撑架6和夹持装置，所述的夹持装置通过部件支撑架6与底座3连接，包括圆形放置面板5和顶出装置，所述的顶出装置包括夹板1、梯形螺杆4和手轮7，所述梯形螺杆4通过 T字钢固定在放置面板5工作面边沿，梯形螺杆4一端与手轮7连接，另一端与夹板1连接，手轮7连接的螺杆是导程较高的梯形螺杆4，这很好的解决了手轮7旋紧过程中导程太小工作效率低的问题。
顶出装置最少有3个，均匀分布在放置面板5上，三爪旋转夹紧的方式不仅能满足不同尺寸规格产品的夹紧需求也可以保证夹紧的稳定性。
夹板1是特氟龙材质，其工作面上设有顶头2，顶头2是聚氨酯材质，且夹板1内部做了圆弧凹槽可以提高和圆形部件的接触面积防止部件滑动。
工作原理：
将待洗净冲洗的PCXT装置Lower shield部件放进已经打开的夹板1的放置面板5上，在将三个夹板1通过手轮7和梯形螺杆4将部件装夹固定，并检查装夹稳定无异常，人工操作高压水枪在需要的位置冲洗作业，冲洗后将本治具取下，可重复使用。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (4)
1.一种半导体设备PCXT装置Lower shield部件超高压冲洗治具，其特征是：包括底座(3)、部件支撑架(6)和夹持装置，所述的夹持装置通过部件支撑架(6)与底座(3)连接，包括圆形放置面板(5)和顶出装置，所述的顶出装置包括夹板(1)、梯形螺杆(4)和手轮(7)，所述梯形螺杆(4)通过T字钢固定在放置面板(5)工作面边沿，梯形螺杆(4)一端与手轮(7)连接，另一端与夹板(1)连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体设备PCXT装置Lower shield部件超高压冲洗治具，其特征是：所述顶出装置最少有3个，均匀分布在放置面板(5)上。
3.根据权利要求1所述的一种半导体设备PCXT装置Lower shield部件超高压冲洗治具，其特征是：所述夹板(1)是特氟龙材质，其工作面上设有顶头(2)，顶头(2)是聚氨酯材质。
4.根据权利要求1所述的一种半导体设备PCXT装置Lower shield部件超高压冲洗治具，其特征是：所述夹板(1)与顶头(2)连接面上设有圆弧凹槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922129091.XU CN211839215U (zh) | 2019-12-03 | 2019-12-03 | 一种半导体设备PCXT装置Lower shield部件超高压冲洗治具 |
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Publications (1)
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| CN211839215U true CN211839215U (zh) | 2020-11-03 |
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2019
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