CN211826241U - 一种四探针测试仪的定位支架 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种全自动化的四探针测试仪的定位支架对测试仪进行移动定位，解决移动过程中稍有不慎造成事故的问题，使其移动距离更为精确。一种四探针测试仪的定位支架，包括底座，底座上固定连接有竖杆，竖杆上活动套设有第一套筒，竖杆顶部用于控制第一套筒上下移动的升降装置；第一套筒通过第一连接臂与探头固定连接；竖杆底部通过活动座与底座滑动连接，底座靠近竖杆的相邻两侧边分别开设有第一滑动槽和第二滑动槽，第一滑动槽内滑动设有横向滑动座，第二滑动槽内滑动设有纵向滑动座，且横向滑动座和纵向滑动座分别通过第二连接臂和第三连接臂与活动座固定连接。
Description
技术领域
本实用新型涉及生产检测设备领域，具体涉及一种四探针测试仪的定位支架。
背景技术
四探针测试仪是在半导体单晶生产过程中用来测试单晶断面及表皮电阻率的测试仪器，但在实际使用过程中存在一定的不便，单晶硅的断面往往需要测试中心点，公告号CN206193061U提出了一种四探针测试仪，解决在单晶硅生产检测过程中，随着单晶重量的增加，单晶段不但越来越难以移动，且在移动过程中稍有不慎，容易造成事故的问题。但是，此专利中对其连接臂的调节均为手动调节，在手动调节时容易使力不均产生大幅度摆动或使单晶移动。
基于此，特提出了一种四探针测试仪的定位支架。
实用新型内容
针对上述现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是：提出了一种全自动化的四探针测试仪的定位支架对测试仪进行移动定位，解决移动过程中稍有不慎造成事故的问题，使其移动距离更为精确。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下的技术方案：一种四探针测试仪的定位支架，包括底座，所述底座上固定连接有竖杆，其关键在于：所述竖杆上活动套设有第一套筒，所述竖杆顶部用于控制所述第一套筒上下移动的升降装置；所述第一套筒通过第一连接臂与探头固定连接；所述竖杆底部通过活动座与所述底座滑动连接，所述底座靠近所述竖杆的相邻两侧边分别开设有第一滑动槽和第二滑动槽，第一滑动槽内滑动设有横向滑动座，第二滑动槽内滑动设有纵向滑动座，且所述横向滑动座和所述纵向滑动座分别通过第二连接臂和第三连接臂与所述活动座固定连接。
优选的，所述第一连接臂与所述探头栓接。
优选的，所述升降装置、横向滑动座和纵向滑动座分别与控制器连接。
优选的，所述探头电连接有显示器。
优选的，所述控制器分别控制第一电机、第二电机和第三电机与所述升降装置、横向滑动座和纵向滑动座连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：通过升降装置对第一套筒上下移动，横向滑动座和纵向滑动座对竖杆进行两个方向移动，配合使用能够达到三个方向的移动，并且通过控制器控制能够精确的控制移动。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为图1底板上滑动槽及滑动座的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的详细说明。
具体实施时：如图1至2所示：一种四探针测试仪的定位支架，包括底座1，所述底座1上固定连接有竖杆2，所述竖杆2上活动套设有第一套筒3，所述竖杆2顶部用于控制所述第一套筒3上下移动的升降装置4；所述第一套筒3通过第一连接臂5与探头6固定连接；所述竖杆2底部通过活动座7与所述底座1滑动连接，所述底座1靠近所述竖杆2的相邻两侧边分别开设有第一滑动槽8和第二滑动槽9，第一滑动槽8内滑动设有横向滑动座10，第二滑动槽9内滑动设有纵向滑动座11，且所述横向滑动座10和所述纵向滑动座11分别通过第二连接臂12和第三连接臂13与所述活动座7固定连接。所述第一连接臂5与所述探头6栓接。所述升降装置4、横向滑动座10和纵向滑动座11分别与控制器连接。所述探头6电连接有显示器。所述控制器分别控制第一电机、第二电机和第三电机与所述升降装置4、横向滑动座10和纵向滑动座11连接。
通过第一电机控制升降装置4连接的第一套筒3上下移动、第二电机控制横向滑动座10连接的活动座7横向移动，第三电机控制纵向滑动座11连接的活动座7纵向移动，不仅能够对测试仪调整位移，自动化控制还更为精确。
以上仅是本实用新型优选的实施方式，需指出的是，对于本领域技术人员在不脱离本技术方案的前提下，作出的若干变形和改进的技术方案应同样视为落入本权利要求书要求保护的范围。
Claims (5)
1.一种四探针测试仪的定位支架，包括底座(1)，所述底座(1)上固定连接有竖杆(2)，其特征在于：所述竖杆(2)上活动套设有第一套筒(3)，所述竖杆(2)顶部用于控制所述第一套筒(3)上下移动的升降装置(4)；所述第一套筒(3)通过第一连接臂(5)与探头(6)固定连接；所述竖杆(2)底部通过活动座(7)与所述底座(1)滑动连接，所述底座(1)靠近所述竖杆(2)的相邻两侧边分别开设有第一滑动槽(8)和第二滑动槽(9)，第一滑动槽(8)内滑动设有横向滑动座(10)，第二滑动槽(9)内滑动设有纵向滑动座(11)，且所述横向滑动座(10)和所述纵向滑动座(11)分别通过第二连接臂(12)和第三连接臂(13)与所述活动座(7)固定连接。
2.根据权利要求1所述一种四探针测试仪的定位支架，其特征在于：所述第一连接臂(5)与所述探头(6)栓接。
3.根据权利要求1所述一种四探针测试仪的定位支架，其特征在于：所述升降装置(4)、横向滑动座(10)和纵向滑动座(11)分别与控制器连接。
4.根据权利要求1所述一种四探针测试仪的定位支架，其特征在于：所述探头(6)电连接有显示器。
5.根据权利要求3所述一种四探针测试仪的定位支架，其特征在于：所述控制器分别控制第一电机、第二电机和第三电机与所述升降装置(4)、横向滑动座(10)和纵向滑动座(11)连接。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113466557A (zh) * | 2021-05-19 | 2021-10-01 | 包头稀土研究院 | 钕铁硼电阻率测量系统及其测量方法 |
| CN113484562A (zh) * | 2021-07-20 | 2021-10-08 | 江苏纳沛斯半导体有限公司 | 一种半导体晶圆凸块电阻测试装置及使用方法 |
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2020
- 2020-03-12 CN CN202020300654.7U patent/CN211826241U/zh not_active Expired - Fee Related
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