CN211812401U - 用于硅片自动取送机构的取片机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及用于硅片自动取送机构的取片机构，包括伺服电机，伺服电机的输出端通过带传动机构与第一传动轴连接，第一传动轴的两端分别与一对传动安装侧板连接，第一传动轴伸出传动安装侧板的端部均配合第二驱动轮，各第二驱动轮通过第三输送带分别绕接第一被动轮、第二被动轮、第三被动轮，所述第三被动轮通过转轴安装在被动轮安装板外侧；还包括一块取料舌板，在取料舌板的底部还固接第一移动板，第一移动板的背面分别与滑动机构的滑动端及无杆气缸的活塞连接。本实用新型结构简单，使用方便，通过本实用新型可实现硅片的自动取出及自动传输，省时省力，不仅降低了劳动人员的工作强度，还降低了企业的人力资源投入，大大提高了生产效率。

Description

用于硅片自动取送机构的取片机构

技术领域

本实用新型涉及机械自动化设备领域，尤其涉及用于硅片自动取送机构的取片机构。

背景技术

目前，在丝印生产线的前端需要将硅片从满料花篮中取出送到丝印机机台中进行丝印工作，传统方法均是通过人工手动将硅片从花篮中取出并送入丝印机机台，但是这种人工取出硅片的方式费时费力，不仅增加了工人的劳动强度，还增加了企业的人力资源投入，严重影响了企业的生产效率。

实用新型内容

本申请人针对上述现有问题，进行了研究改进，提供用于硅片自动取送机构的取片机构，其能实现硅片的自动取出，具有自动化程度高的优点。

本实用新型所采用的技术方案如下：

用于硅片自动取送机构的取片机构，包括伺服电机，所述伺服电机的输出端通过带传动机构与第一传动轴连接，所述第一传动轴的两端分别与带有轴承的一对传动安装侧板连接，所述第一传动轴伸出传动安装侧板的端部均配合第二驱动轮，各第二驱动轮通过第三输送带分别绕接第一被动轮、第二被动轮、第三被动轮，所述第三被动轮通过转轴安装在被动轮安装板外侧；还包括一块取料舌板，所述第二被动轮通过第二传动轴安装在取料舌板的尾部，所述第一被动轮通过转轴安装在被动轮安装块的外侧，所述被动轮安装块固接于取料舌板的底部，在所述取料舌板的底部还固接第一移动板，所述第一移动板的背面分别与滑动机构的滑动端及无杆气缸的活塞连接。

其进一步技术方案在于：

在相邻传动安装侧板之间还固接第一中间连接板，在相邻被动轮安装板之间连接第二中间连接板，所述传动安装侧板、中间连接板、被动轮安装板及第二中间连接板均固接于底板上；

所述所述滑动机构包括滑轨和滑台，所述滑台与滑轨滑动连接，所述滑轨固接于一块传动安装侧板的内侧，所述滑台构成滑动机构的滑动端；

所述无杆气缸也通过气缸固定板安装在一块传动安装侧板的内侧。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型结构简单，使用方便，通过本实用新型可实现硅片的自动取出及自动传输，省时省力，不仅降低了劳动人员的工作强度，还降低了企业的人力资源投入，大大提高了生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图Ⅰ。

图2为本实用新型的结构示意图Ⅱ。

其中：101、伺服电机；102、底板；103、传动安装侧板；104、第一中间连接板；105、第一同步轮；106、同步带；107、第二同步轮；108、第一传动轴；109、驱动轮；110、取料舌板；111、输送带；112、第一被动轮；1121、被动轮安装块；113、第二被动轮；114、第二传动轴；115、第三被动轮；1151、被动轮安装板；1152、第二中间连接板；116、无杆气缸；117、活塞；118、滑轨；119、滑台；120、移动板。

具体实施方式

下面说明本实用新型的具体实施方式。

如图1、图2所示，用于硅片自动取送机构的取片机构包括伺服电机101，伺服电机101的输出端通过带传动机构与第一传动轴108连接，第一传动轴108的两端分别与带有轴承的一对传动安装侧板103连接，第一传动轴108伸出传动安装侧板103的端部均配合第二驱动轮109，各第二驱动轮109通过输送带111分别绕接第一被动轮112、第二被动轮113、第三被动轮115，第三被动轮115通过转轴安装在被动轮安装板1151外侧；还包括一块取料舌板110，第二被动轮113通过第二传动轴114安装在取料舌板110的尾部，第一被动轮112通过转轴安装在被动轮安装块1121的外侧，被动轮安装块1121固接于取料舌板110的底部，在取料舌板110的底部还固接第一移动板120，第一移动板120的背面分别与滑动机构的滑动端及无杆气缸116的活塞117连接。

如图1、图2所示，上述带传动机构包括第一同步轮105，第一同步轮105安装在伺服电机101的输出端，第一同步轮105通过同步带106与第二同步轮107连接，第二同步轮107与第一传动轴108配合。

如图1、图2所示，在相邻传动安装侧板103之间还固接第一中间连接板104，在相邻被动轮安装板1151之间连接第二中间连接板1152，传动安装侧板103、第一中间连接板104、被动轮安装板1151及第二中间连接板1152均固接于底板102上。滑动机构包括滑轨118和滑台119，滑台119与滑轨118滑动连接，滑轨118固接于一块传动安装侧板103的内侧，滑台119构成滑动机构的滑动端。无杆气缸116也通过气缸固定板安装在一块传动安装侧板103的内侧。

本实用新型的具体工作过程如下：

如图1、图2所示，当需要取出料篮中的硅片时，无杆气缸116启动并通过活塞117带动移动板120及滑台119相对于滑轨118作直线运动，由于移动板120与取料舌板110固接，使取料舌板110随动，取料舌板110随动过程中带动第一被动轮112、第二被动轮113同步移动，使得输送带111始终封闭绕接于驱动轮109、第一被动轮112、第二被动轮113及第三被动轮115之间，取料舌板110伸入料篮后输送带111接触硅片下表面，伺服电机101启动，伺服电机101的输出端传递动力并通过第一同步轮105、同步带106、第二同步轮107传递至第一传动轴108，使驱动轮109转动，驱动轮109转动带动输送带111及第一被动轮112、第二被动轮113及第三被动轮115转动。输送带111转动并带动硅片传输，此时无杆气缸116的活塞117复位，使得取料舌板110复位回退，通过输送带111将硅片输送至下一工位。

本实用新型结构简单，使用方便，通过本实用新型可实现硅片的自动取出及自动传输，省时省力，不仅降低了劳动人员的工作强度，还降低了企业的人力资源投入，大大提高了生产效率。

以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，本实用新型所限定的范围参见权利要求，在不违背本实用新型的基本结构的情况下，本实用新型可以作任何形式的修改。

Claims (5)

1.用于硅片自动取送机构的取片机构，其特征在于：包括伺服电机(101)，所述伺服电机(101)的输出端通过带传动机构与第一传动轴(108)连接，所述第一传动轴(108)的两端分别与带有轴承的一对传动安装侧板(103)连接，所述第一传动轴(108)伸出传动安装侧板(103)的端部均配合第二驱动轮(109)，各第二驱动轮(109)通过第三输送带(111)分别绕接第一被动轮(112)、第二被动轮(113)、第三被动轮(115)，所述第三被动轮(115)通过转轴安装在被动轮安装板(1151)外侧；还包括一块取料舌板(110)，所述第二被动轮(113)通过第二传动轴(114)安装在取料舌板(110)的尾部，所述第一被动轮(112)通过转轴安装在被动轮安装块(1121)的外侧，所述被动轮安装块(1121)固接于取料舌板(110)的底部，在所述取料舌板(110)的底部还固接第一移动板(120)，所述第一移动板(120)的背面分别与滑动机构的滑动端及无杆气缸(116)的活塞(117)连接。

2.如权利要求1所述的用于硅片自动取送机构的取片机构，其特征在于：在相邻传动安装侧板(103)之间还固接第一中间连接板(104)，在相邻被动轮安装板(1151)之间连接第二中间连接板(1152)，所述传动安装侧板(103)、中间连接板(104)、被动轮安装板(1151)及第二中间连接板(1152)均固接于底板(102)上。

3.如权利要求1所述的用于硅片自动取送机构的取片机构，其特征在于：所述带传动机构包括第一同步轮(105)、同步带(106)和第二同步轮(107)，所述第一同步轮(105)安装在伺服电机(101)的输出端，所述第二同步轮(107)安装在第一传动轴(108)的外周，在相邻第一同步轮(105)和第二同步轮(107)之间连接同步带(106)。

4.如权利要求1所述的用于硅片自动取送机构的取片机构，其特征在于：所述滑动机构包括滑轨(118)和滑台(119)，所述滑台(119)与滑轨(118)滑动连接，所述滑轨(118)固接于一块传动安装侧板(103)的内侧，所述滑台(119)构成滑动机构的滑动端。

5.如权利要求1所述的用于硅片自动取送机构的取片机构，其特征在于：所述无杆气缸(116)也通过气缸固定板安装在一块传动安装侧板(103) 的内侧。

Images