CN211734458U - 一种蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及薄膜成型技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。本实用新型提供的蒸镀装置，包括工作台、升降机构、装载平台和加热机构，装载平台通过升降机构可升降地设置在工作台上，装载平台上设置有多个间隔设置的通孔，通孔用于安装坩埚；加热机构包括驱动组件和加热组件，驱动组件能够驱动加热组件移动至通孔下方，用于对放置在通孔上的坩埚进行加热，从而实现一个加热机构对多个坩埚进行加热，降低设备成本，避免外部插拔电源，减少安全隐患。

Description

一种蒸镀装置

技术领域

本实用新型涉及薄膜成型技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。

背景技术

常规测试蒸镀设备，在蒸发多个源时，一般会采用两种方案：第一种就是将多个源的每个都配备一个蒸镀电源，第二种方案是通过外部直通插拔的方法给蒸镀源升温。针对第一种方案存在的问题是：每增加一个源就要增加一台电源，设备成本较高。针对第二种方案存在的问题是：一方面，可能会存在操作安全隐患，另一方面，在操作过程中可能存在忘记切换外部插头而导致蒸发错误的材料，影响实验，同时也有可能损坏材料。

因此，亟待需要一种新型的蒸镀装置以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蒸镀装置，以解决现有技术中存在的设备成本高以及安全性能低的问题。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

一种蒸镀装置，包括：

工作台；

升降机构，包括固定端和运动端；

装载平台，所述装载平台通过所述升降机构可升降地设置在所述工作台上，所述装载平台上设置有多个间隔设置的通孔，所述通孔用于安装坩埚；

加热机构，包括驱动组件和加热组件，所述驱动组件能够驱动所述加热组件移动至所述通孔下方，用于对放置在所述通孔上的坩埚进行加热。

作为蒸镀装置的优选方案，所述升降机构的运动端与所述装载平台固定连接，以驱动所述装载平台相对于所述工作台升降。

作为蒸镀装置的优选方案，所述升降机构包括：

丝杠，所述装载平台与所述丝杠上的螺母座固定连接；

升降电机，其运动端与所述丝杠固定连接，且能够驱动所述丝杠转动，以使所述装载平台沿所述丝杠升降。

作为蒸镀装置的优选方案，所述蒸镀装置还包括：

导向机构，包括导向柱和导向套，所述导向柱固定设置在所述工作台上且与所述丝杠平行设置，所述导向套可滑动地套设在所述导向柱上，且所述装载平台与所述导向套固定连接。

作为蒸镀装置的优选方案，所述丝杠的顶端设置有限位块；和/或所述导向柱的顶端设置有限位块。

作为蒸镀装置的优选方案，所述装载平台包括固定部和安装部，两个所述固定部对称设置在所述安装部的两侧，其中一个所述固定部与所述丝杠的螺母座固定连接，另一个所述固定部与所述导向套固定连接，所述通孔设置在所述安装部上。

作为蒸镀装置的优选方案，多个所述通孔均位于一个虚拟圆形的圆周线上，所述驱动组件为旋转机构，所述旋转机构设置在所述工作台上，所述旋转机构的运动端与所述加热组件固定连接，以驱动所述加热组件转动至每个所述通孔的下方，以对放置在所述通孔上的坩埚进行加热。

作为蒸镀装置的优选方案，所述旋转机构包括：

支撑臂，其一端用于安装所述加热组件；

旋转电机，设置在所述工作台上且位于所述虚拟圆形的圆心的正下方，所述旋转电机的运动端与所述支撑臂的另一端固定连接，且能够驱动所述支撑臂转动，以带动所述加热组件转动至每个所述通孔的下方，以对放置在所述通孔上的坩埚进行加热。

作为蒸镀装置的优选方案，所述加热机构还包括水冷组件，用于调节所述加热组件的温度。

作为蒸镀装置的优选方案，所述加热组件包括加热筒，用于容置坩埚。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供的蒸镀装置，包括工作台、升降机构、装载平台和加热机构，装载平台通过升降机构可升降地设置在工作台上，装载平台上设置有多个间隔设置的通孔，通孔用于安装坩埚；加热机构包括驱动组件和加热组件，驱动组件能够驱动加热组件移动至通孔下方，用于对放置在通孔上的坩埚进行加热，从而实现一个加热机构对多个坩埚进行加热，降低设备成本，避免外部插拔电源，减少安全隐患。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的蒸镀装置一个状态的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的蒸镀装置另一个状态的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的装载平台的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的加热机构的结构示意图；

图5本实用新型实施例提供的水冷组件设置在工作台上的结构示意图。

附图标记：

1-工作台；

2-装载平台；21-固定部；22-安装部；221-通孔；

3-坩埚；

4-升降机构；41-丝杠；

5-导向机构；51-导向柱；52-导向套；

6-旋转机构；61-支撑臂；

7-加热筒；

8-限位块；

9-水冷组件；91-水冷接口；92-循环管道；93-水冷套筒。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或是本产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，或者用于区分不同结构或部件，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-图2所示，本实施例提供了一种蒸镀装置，包括工作台1、升降机构4、装载平台2和加热机构，升降机构4包括固定端和运动端；装载平台2通过升降机构4可升降地设置在工作台1上，装载平台2上设置有多个间隔设置的通孔221，通孔221用于安装坩埚3；加热机构包括驱动组件和加热组件，驱动组件能够驱动加热组件移动至通孔221下方，用于对放置在通孔221上的坩埚3进行加热。该蒸镀装置通过加热机构和升降机构4的配合，能够实现对装载平台2上的多个坩埚3进行加热，能够降低设备成本，避免外部插拔电源，减少安全隐患。

优选地，升降机构4的固定端设置在工作台1上，升降机构4的运动端与装载平台2固定连接，以驱动装载平台2相对于工作台1升降。在其他实施例中，还可以是升降机构4的固定端与装载平台2固定连接，升降机构4的运动端与工作台1固定连接，通过驱动工作台1运动实现调整工作台1和装载平台2的距离，也可以实现配合加热机构对装载平台2上的坩埚3进行加热。

进一步地，升降机构4包括丝杠41和升降电机，装载平台2与丝杠41上的螺母座固定连接；升降电机的运动端与丝杠41固定连接，且能够驱动丝杠41转动，以使装载平台2沿丝杠41升降。

可选地，蒸镀装置还包括导向机构5，通过设置导向机构5能够保证装载平台2能够沿丝杠41平稳地升降。

优选地，导向机构5包括导向柱51和导向套52，导向柱51固定设置在工作台1上且与丝杠41平行设置，导向套52可滑动地套设在导向柱51上，且装载平台2与导向套52固定连接。当升降电机驱动丝杠41转动时，装载平台2与丝杠41配合的一端能够沿丝杠41升降，装载平台2与导向套52固定连接的一端能够沿导向柱51升降，以确保装载平台2平稳地升降。

示例性地，丝杠41的顶端设置有限位块8，以限制装载平台2的最大升降位移。进一步地，导向柱51的顶端也设置有限位块8，以限制装载平台2的最大升降位移。

优选地，如图3所示，装载平台2包括固定部21和安装部22，两个固定部21对称设置在安装部22的两侧，其中一个固定部21与丝杠41的螺母座固定连接，另一个固定部21与导向套52固定连接，通孔221设置在安装部22上。

示例性地，装载平台2为一体成型结构，其中安装部22的形状为圆形，多个通孔221沿安装部22的周向均匀布置，以便于实现一个加热机构对多个通孔221上安装的坩埚3进行加热。当然，安装部22的形状还可以是矩形、等边多边形或其他形状，只要保证其上的多个通孔221设置在一个虚拟圆形的轮廓线上即可，以便于实现一个加热机构对多个通孔221上安装的坩埚3进行加热。

优选地，多个通孔221均位于一个虚拟圆形的圆周线上，驱动组件为旋转机构6，旋转机构6设置在工作台1上，旋转机构6的运动端与加热组件固定连接，以驱动加热组件转动至每个通孔221的下方，以对放置在通孔221上的坩埚3进行加热。

可选地，如图4所示，旋转机构6包括支撑臂61和旋转电机，支撑臂61的一端用于安装加热组件；旋转电机设置在工作台1上且位于多个通孔221所在圆的圆心的正下方，旋转电机的运动端与支撑臂61的另一端固定连接，且能够驱动支撑臂61转动，以带动加热机构旋转至每个通孔221的下方，以对放置在通孔221上的坩埚3进行加热。

示例性地，通孔221的数量为四个，四个通孔221沿安装部22的周向均匀布置。进一步地，旋转电机为伺服电机，且该伺服电机采用绝对定位，误差小。

具体而言，支撑臂61的长度与虚拟圆形的半径长度相等，加热组件的移动轨迹即为虚拟圆形的圆周线，以便于加热组件对放置在通孔221上的坩埚3进行加热。

优选地，如图4所示，加热组件包括加热筒7，用于容置坩埚3，以对坩埚3的底部和侧壁同时进行加热，使坩埚3内的材料受热均匀。加热组件可以为感应加热装置或电热丝加热装置。工作时，旋转机构6驱动加热组件移动至对应坩埚下方，升降机构4驱动装载平台2下降，带动坩埚3下降并容置在加热筒7内；加热筒4升温，进行蒸镀工作，在蒸镀达到预定的膜厚之后，关闭该坩埚3的挡板，升降机构4抬升装载平台2，使坩埚3脱离加热筒7；然后使加热筒7下降至预定温度后，旋转机构6驱动加热筒7移动到另一个需要加热的坩埚3下方，进行下一轮蒸镀工作。

进一步地，如图5所示，加热机构还包括水冷组件9，用于快速调节加热组件的温度，使得加热组件的温度快速下降至设定温度，避免加热组件需等待自然冷却将至室温，节约时间；同时加热组件下降至合理温度，保持一定余温，可以减少能源损失，减少升温的时间。具体地，可通过水冷组件9对加热筒7进行降温，当下降至预定温度后，旋转机构6驱动加热筒7移动到另一个需要加热的坩埚3下方，进行下一轮蒸镀工作。

具体而言，水冷组件9包括水冷接口91、循环管道92和水冷套筒93，水冷接口91、循环管道92和水冷套筒93均设置在工作台1上，其中水冷套筒93可升降地设置在工作台1上，循环管道92与水冷套筒93相连通，循环管道92通过水冷接口91外接水源。进一步地，水冷套筒93设置在通孔221所在的虚拟圆形的圆周上，当需要对加热组件(加热筒7)进行降温时，驱动组件驱动加热组件移动至水冷套筒93处，水冷套筒93升起并将加热筒7容置在水冷套筒93内，从而实现水冷组件9对加热组件(加热筒7)的降温处理；水冷完成后，水冷套筒93降低以便加热组件移动，避免水冷套筒93与加热组件发生干涉。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所说的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

工作台(1)；

升降机构(4)，包括固定端和运动端；

装载平台(2)，所述装载平台(2)通过所述升降机构(4)可升降地设置在所述工作台(1)上，所述装载平台(2)上设置有多个间隔设置的通孔(221)，所述通孔(221)用于安装坩埚(3)；

加热机构，包括驱动组件和加热组件，所述驱动组件能够驱动所述加热组件移动至所述通孔(221)下方，用于对放置在所述通孔(221)上的坩埚(3)进行加热。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述升降机构(4)的运动端与所述装载平台(2)固定连接，以驱动所述装载平台(2)相对于所述工作台(1)升降。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述升降机构(4)包括：

丝杠(41)，所述装载平台(2)与所述丝杠(41)上的螺母座固定连接；

升降电机，其运动端与所述丝杠(41)固定连接，且能够驱动所述丝杠(41)转动，以使所述装载平台(2)沿所述丝杠(41)升降。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括：

导向机构(5)，包括导向柱(51)和导向套(52)，所述导向柱(51)固定设置在所述工作台(1)上且与所述丝杠(41)平行设置，所述导向套(52)可滑动地套设在所述导向柱(51)上，且所述装载平台(2)与所述导向套(52)固定连接。

5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述丝杠(41)的顶端设置有限位块(8)；和/或所述导向柱(51)的顶端设置有限位块(8)。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述装载平台(2)包括固定部(21)和安装部(22)，两个所述固定部(21)对称设置在所述安装部(22)的两侧，其中一个所述固定部(21)与所述丝杠(41)的螺母座固定连接，另一个所述固定部(21)与所述导向套(52)固定连接，所述通孔(221)设置在所述安装部(22)上。

7.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，多个所述通孔(221)均位于一个虚拟圆形的圆周线上，所述驱动组件为旋转机构(6)，所述旋转机构(6)设置在所述工作台(1)上，所述旋转机构(6)的运动端与所述加热组件固定连接，以驱动所述加热组件转动至每个所述通孔(221)的下方，以对放置在所述通孔(221)上的坩埚(3)进行加热。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述旋转机构(6)包括：

支撑臂(61)，其一端用于安装所述加热组件；

旋转电机，设置在所述工作台(1)上且位于所述虚拟圆形的圆心的正下方，所述旋转电机的运动端与所述支撑臂(61)的另一端固定连接，且能够驱动所述支撑臂(61)转动，以带动所述加热组件转动至每个所述通孔(221)的下方，以对放置在所述通孔(221)上的坩埚(3)进行加热。

9.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热机构还包括水冷组件(9)，用于调节所述加热组件的温度。

10.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热组件包括加热筒(7)，用于容置坩埚(3)。

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