CN211715943U - 一种用于pvd设备的配管 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种用于PVD设备的配管,涉及PVD设备技术领域,包括第一法兰、第二法兰和连接第一法兰和第二法兰的管体,所述第一法兰与所述管体的一端密封连接,所述第二法兰与所述管体的另一端密封连接,所述管体设有45°折弯段。通过将真空环境供应设备的真空传输配管设置45°折弯段,替换原有的90°折弯段,大幅降低了真空传输管道的流体阻力,有效提升了真空环境供应设备的生产效率,降低了PVD设备整体的生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及PVD设备技术领域,特别涉及一种用于PVD设备的配管。
背景技术
PVD设备,常需要密闭真空环境进行特殊的加工作业,对于真空环境的供应设备要求越来较高。现有PVD设备常用的真空环境供应设备主要包括真空传输管道和压缩机,随着工艺要求越来越高,对真空环境供应设备使用频率越来越高,生产成本逐步增加。如何进一步提升真空环境供应设备的生产效率进而降低PVD设备整体的生产成本成为了一个亟待解决的问题。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于PVD设备的配管,可有效提升PVD设备的生产效率,节约特殊气体资源和能源。
为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案如下:
本实用新型提供一种用于PVD设备的配管,包括第一法兰、第二法兰和连接第一法兰和第二法兰的管体,所述第一法兰与所述管体的一端密封连接,所述第二法兰与所述管体的另一端密封连接,所述管体设有45°折弯段。
上述方案的进一步方案为,所述管体还设有90°折弯段,所述90°折弯段位于所述45°折弯段的左侧。
上述方案的进一步方案为,所述45°折弯段包括第一45°折弯段和第二 45°折弯段,所述第一45°折弯段位于所述90°折弯段和所述第二45°折弯段之间。
上述方案的进一步方案为,所述90°折弯段、所述第一45°折弯段和所述第二45°折弯段为一体成型结构。
上述方案的进一步方案为,所述第一法兰、所述第二法兰和所述管体为一体成型结构。
上述方案的进一步方案为,所述第一法兰的内径与所述管体的内径相同,所述第二法兰的内径和所述管体的内径相同。
上述方案的进一步方案为,所述第一法兰和所述第二法兰上还设置有螺栓孔,所述螺栓孔的数量不少于6个。
上述方案的进一步方案为,所述螺栓孔的数量为8个。
与现有技术相比,本实用新型提供的技术方案具有如下优点和有益效果:本实用新型提供一种用于PVD设备的配管,包括第一法兰、第二法兰和连接第一法兰和第二法兰的管体,所述第一法兰与所述管体的一端密封连接,所述第二法兰与所述管体的另一端密封连接,所述管体设有45°折弯段。通过将真空环境供应设备的真空传输配管设置45°折弯段,替换原有的90°折弯段,大幅降低了真空传输管道的流体阻力,有效提升了真空环境供应设备的生产效率,降低了PVD设备整体的生产成本。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为实施例中配管的主视图;
图2为实施例中配管的仰视图。
图中:100-配管;1-第一法兰;2-第二法兰;3-管体;31-90°折弯段;32- 第一45°折弯段;33-第二45°折弯段;4-螺栓孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“水平”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系均为基于附图所示的方位或位置关系,仅仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“连接”、“安装”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
实施例
如图1-2所示,本实用新型提供本实用新型提供一种用于PVD设备的配管 100,包括第一法兰1、第二法兰2和连接第一法兰和第二法兰的管体3,所述第一法兰1与所述管体3的一端密封连接,所述第二法兰2与所述管体3的另一端密封连接,所述管体3设有45°折弯段。
上述密封连接方式可以是焊接密封或其他方式,本实施例对具体密封连接方式不做限定;通过设置45°折弯段,替换现有的90°折弯,大幅降低了管体 3的流体阻力,提升真空环境供应设备整体的生产效率,可以不增加真空环境生产设备的能耗的前提下,提升真空环境生产设备的生产效率。
本实施例中,所述管体3还设有90°折弯段31,所述90°折弯段31位于所述45°折弯段的左侧。左侧仅仅针对实施例图中所指,实际生产作业中,90°折弯段31与45°折弯段的位置还可以用其他方位词进行适合的描述。
本实施例中,所述45°折弯段包括第一45°折弯段32和第二45°折弯段 33,所述第一45°折弯段32位于所述90°折弯段31和所述第二45°折弯段 33之间。
本实施例中,所述90°折弯段31、所述第一45°折弯段32和所述第二45°折弯段33为一体成型结构。
本实施例中,所述第一法兰1、所述第二法兰2和所述管体3为一体成型结构。
一体成型结构,相对于焊接等其他密封连接方式,连接体之间具有更强的机械强度和更好的密封性能。
本实施例中,所述第一法兰1的内径与所述管体3的内径相同,所述第二法兰2的内径和所述管体3的内径相同。
本实施例中,所述第一法兰1和所述第二法兰2上还设置有螺栓孔,所述螺栓孔的数量不少于6个,优选为8个。
本实施例提供的配管,与现有技术相比,具有如下优点和有益效果:
1、采用45°折弯段替代现有的90°折弯,大幅降低了管体3的流体阻力,在不增加真空环境供应设备的能耗的情况下,有效提升了真空环境供应设备的生产效率;
2、配管各个连接体之间采用一体成型结构,进一不加强了配管本身的机械强度,同时进一步提升了连接体之间的密封效果。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种用于PVD设备的配管,其特征在于,包括第一法兰、第二法兰和连接第一法兰和第二法兰的管体,所述第一法兰与所述管体的一端密封连接,所述第二法兰与所述管体的另一端密封连接,所述管体设有45°折弯段;
所述管体还设有90°折弯段,所述90°折弯段位于所述45°折弯段的左侧;
所述45°折弯段包括第一45°折弯段和第二45°折弯段,所述第一45°折弯段位于所述90°折弯段和所述第二45°折弯段之间。
2.根据权利要求1所述的用于PVD设备的配管,其特征在于,所述90°折弯段、所述第一45°折弯段和所述第二45°折弯段为一体成型结构。
3.根据权利要求1所述的用于PVD设备的配管,其特征在于,所述第一法兰、所述第二法兰和所述管体为一体成型结构。
4.根据权利要求1所述的用于PVD设备的配管,其特征在于,所述第一法兰的内径与所述管体的内径相同,所述第二法兰的内径和所述管体的内径相同。
5.根据权利要求1所述的用于PVD设备的配管,其特征在于,所述第一法兰和所述第二法兰上还设置有螺栓孔,所述螺栓孔的数量不少于6个。
6.根据权利要求5所述的用于PVD设备的配管,其特征在于,所述螺栓孔的数量为8个。
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