CN211656497U - 用于电子束引出窗的支撑格栅结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于电子束引出窗的支撑格栅结构，包括：支撑铜板，其上设置有至少一组支撑格栅，且各组支撑格栅在空间上分别构成电子束的引出窗口；其中，各引出窗口上的支撑格栅在空间上呈弯曲状。本实用新型提供一种用于电子束引出窗的支撑格栅结构，其能够通过采用弯曲格栅结构，在不减少占空比的前提下，解决了支撑格栅随机形变产生的隐患，同时增强了格栅的抗压性能，延长了窗膜和格栅的使用寿命。

Description

用于电子束引出窗的支撑格栅结构

技术领域

本实用新型涉及电子加速器领域。更具体地说，本实用新型涉及一种用在电子加速器中电子束引出窗的支撑格栅情况下支撑格栅结构。

背景技术

电子加速器引出窗采用薄窗膜时，会采用格栅结构支撑窗膜，格栅承受窗膜传递过来的大气压力，因此，格栅的抗压性能至关重要。同时，格栅的存在会遮挡部分电子束的引出，又需要格栅尽可能窄，格栅间距尽可能大，占空比尽可能高，电子束利用率才能高。但是，格栅越窄，格栅间距越大，抗压性能越差。因此需要在抗压性能和引出效率之间仔细权衡。目前的格栅结构都是采用直线型结构，在承受压力的时候，形变方向是随机的，各个格栅变形方向不一致，可能造成某些局部的格栅间距过大的现象，此处的窗膜温升过高，应力过大，很容易损坏。

目前常用的方法是格栅中间加筋连接，见专利CN 207589258 U《一种电子加速器水冷格栅结构》，CN 208063543 U《电子加速器钛箔支撑法兰结构》，CN 206948700 U《低能电子加速器用束流引出窗》，有效增加了格栅的抗压性能，减少格栅的形变量，随机形变产生的问题依然无法避免，同时，还减少了格栅的占空比，引出效率略有降低，窗膜的温升也略有增加。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

本实用新型还有一个目的是提供一种用于电子束引出窗的支撑格栅结构，其能够通过采用弯曲格栅结构，在不减少占空比的前提下，解决了支撑格栅随机形变产生的隐患，同时增强了格栅的抗压性能，延长了窗膜和格栅的使用寿命。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种用于电子束引出窗的支撑格栅结构，包括：

支撑铜板，其上设置有至少一组支撑格栅，且各组支撑格栅在空间上分别构成电子束的引出窗口；

其中，各引出窗口上的支撑格栅在空间上呈弯曲状。

优选的是，各引出窗口上的支撑格栅被配置为呈S型或弧形结构。

优选的是，支撑格栅的弧形顶点到支撑格栅端部两点连线之间的距离被配置为1mm～5mm。

优选的是，所述支撑铜板内部设置有对支撑铜板、各组支撑格栅、窗膜进行冷却的冷却水通道。

优选的是，所述支撑格栅的厚度被配置为0.3mm～3mm，长度被配置为30～100mm，高度被配置为2～30mm。

优选的是，所述支撑格栅中部设置有加强筋。

优选的是，在支撑铜板上的引出窗口大于两个时，所述冷却水通道在各引出窗口的两侧都设置有供冷却水流通的通路。

本实用新型至少包括以下有益效果：其一，本实用新型能够通过采用弯曲格栅结构，将支撑格栅加工成弧形或者S型，在不减少占空比的前提下，解决了支撑格栅随机形变产生的隐患，同时增强了格栅的抗压性能，延长了窗膜和格栅的使用寿命。

其二，本实用新型通过在弯曲格栅的中间设置加强筋，进一步增加弯曲格栅的抗压性能，进而使得弯曲格栅可以相对于现有的直线形格栅来说，其可以进一步减薄，提高占空比，提高电子束的引出效率。

本实用新型的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本实用新型的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。

附图说明

图1为本实用新型的另一个实施例用于电子束引出窗的支撑格栅结构中弧形支撑格栅的俯视结构示意图；

图2为图1的侧面结构示意图

图3为本实用新型的另一个实施例用于电子束引出窗的支撑格栅结构中S形支撑格栅的俯视结构示意图；

图4为图3设置了加强筋的俯视结构示意图；

图5为图1设置了加强筋的俯视结构示意图。

图6为图1设置设置成双窗结构的俯视结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。

需要说明的是，在本实用新型的描述中，术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，并不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

图1示出了根据本实用新型的一种用于电子束引出窗的支撑格栅结构实现形式，其中包括：

支撑铜板1，其可以设置铜制材料以制备得到，其上设置有至少一组支撑格栅2，且各组支撑格栅在空间上分别构成电子束的引出窗口，支撑铜板上每设置一组支撑格栅就会构成一个可供电子束通过的引出窗；

其中，各引出窗口上的支撑格栅在空间上呈弯曲状，在这种方案中，将传统的直线形格栅改成弯曲状，使得其在具体应用在电子束引出窗时，还包括与支撑格栅相配合的窗膜3，进而在引出窗口的位置上得到真空侧A，大气侧B；而在真空侧抽真空时，大气压力将窗膜紧压在支撑铜板1和弯曲格栅2上，弯曲格栅2按照原有的弯曲方向继续发生轻微形变，不会产生不可控的随机变形，保持弯曲格栅2之间的间距恒定不变，通过采用弯曲格栅结构，在不减少占空比的前提下，解决了支撑格栅随机形变产生的隐患，同时增强了格栅的抗压性能，延长了窗膜和格栅的使用寿命，即在这种方案中将电子束引出窗支撑格栅制作成弯曲结构，控制支撑格栅在大气压力下的变形方向，保证支撑格栅在压力下变形方向一致，格栅间距保持不变，防止出现直线形格栅结构存在的随机形变造成的局部间距过大，局部应力增大和局部温升增加的问题，延长了窗膜的使用寿命。

在另一种实例中，各引出窗口上的支撑格栅被配置为呈S型或弧形结构，在不减少占空比的前提下，解决了支撑格栅随机形变产生的隐患，同时增强了格栅的抗压性能，延长了窗膜和格栅的使用寿命，而采用这种方案，将支撑格栅的弯曲形式设置成S型或弧形结构只是选择两种易于加工，且形变可控性好的结构形式，而其它任意将格栅的直线结构变成其它弯曲结构的形式，以使其在工作中能产生可控形变的方式，均是本方案通过结构改进想带来的功能效果，属于本方案的保护思想。

在另一种实例中，支撑格栅的弧形顶点到支撑格栅端部两点连线之间的距离被配置为1mm～5mm，本方案通过对支撑格栅中对弧形顶点到支撑格栅端部两点连线之间的距离进行限定，是为了保证其占空比更大，结构稳定性好，抗压性能强的具化。

如图1，在另一种实例中，所述支撑铜板内部设置有对支撑铜板、各支撑格栅、窗膜进行冷却的冷却水通道4，通过在支撑铜板内部设置有冷却水通道，使得其能在工作中对支撑铜板、各组支撑格栅、窗膜进行冷却，冷却水通道结构可以设置成如图1中的U形布局，以保证其工作的稳定性，且内置的结构设计，使得其与设备集成的效果更好，在实际操作中，弯曲格栅可以两组或多组并排构成两个引出窗，使其引出电子束成倍增加，而冷却水管道可以设置成U形、蛇形、S形结构中的一种，将两个引出窗口都包含进去。

在另一种实例中，所述支撑格栅的厚度被配置为0.3mm～3mm，长度被配置为30～100mm，高度被配置为2～30mm，采用弯曲格栅的结构形式，使得其相对于现的直线形格栅来说，其各性能指标的选择性更宽，可以适应不同的工作环境，满足不同的工作参数，适应性更好，即其厚度可以在直线形格栅厚度的基础上，进一步减薄，提高占空比，提高电子束引出效率。

在另一种实例中，所述支撑格栅中部设置有加强筋5，其进一步增强弯曲格栅的抗压性能，进而保证格栅的使用寿命和结构稳定性。

如图6，在另一种实例中，在支撑铜板上的引出窗口大于两个时，所述冷却水通道在各引出窗口的两侧都设置有供冷却水流通的通路6，即当支撑铜板上具有两个或多个引出窗并排时，各引出窗的两侧都有冷却水通道，对支撑铜板、支撑格栅和窗膜进行冷却，在这种结构下的冷却水通道可以设置成蛇形或S形弯曲结构，以使每一个引出窗口的两侧都有流通的冷却水对其进行冷却，也可以设置成其它能对引出窗两侧均进行冷却的功能结构形式。

以上各方案均只是一种较佳实例的说明，但并不局限于此。在实施本实用新型时，可以根据使用者需求进行适当的替换和/或修改。

这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本实用新型的说明的。对本实用新型的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域。对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改。因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (7)

1.一种用于电子束引出窗的支撑格栅结构，其特征在于，包括：

支撑铜板，其上设置有至少一组支撑格栅，且各组支撑格栅在空间上分别构成电子束的引出窗口；

其中，各引出窗口上的支撑格栅在空间上呈弯曲状。

2.如权利要求1所述的用于电子束引出窗的支撑格栅结构，其特征在于，各引出窗口上的支撑格栅被配置为呈S型或弧形结构。

3.如权利要求2所述的用于电子束引出窗的支撑格栅结构，其特征在于，支撑格栅的弧形顶点到支撑格栅端部两点连线之间的距离被配置为1mm～5mm。

4.如权利要求1所述的用于电子束引出窗的支撑格栅结构，其特征在于，所述支撑铜板内部设置有对支撑铜板、各组支撑格栅、窗膜进行冷却的冷却水通道。

5.如权利要求1所述的用于电子束引出窗的支撑格栅结构，其特征在于，所述支撑格栅的厚度被配置为0.3mm～3mm，长度被配置为30～100mm，高度被配置为2～30mm。

6.如权利要求1所述的用于电子束引出窗的支撑格栅结构，其特征在于，所述支撑格栅中部设置有加强筋。

7.如权利要求4所述的用于电子束引出窗的支撑格栅结构，其特征在于，在支撑铜板上的引出窗口大于两个时，所述冷却水通道在各引出窗口的两侧都设置有供冷却水流通的通路。

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