CN211649419U - 用于水气两用的旋转接头组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种用于水气两用的旋转接头组件，属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本用于水气两用的旋转接头组件包括轴套和轴体，上述轴体上沿其轴向具有进水路和出水路，上述轴套套在轴体外侧且两者轴向固连，上述轴套侧部具有贯穿的进水口和出水口，上述进水路与进水口相连通，上述出水口与出水路相连通，所述轴套上端与轴体密封连接，所述轴套下端与轴体密封连接。本用于水气两用的旋转接头组件稳定性高。
Description
技术领域
本实用新型属于机械技术领域，涉及一种用于水气两用的旋转接头组件。
背景技术
在半导体抛光工艺中，保持抛光盘温度稳定显得尤为重要，抛光盘温差会影响硅片抛光质量，同时抛光盘常采用真空吸附方式固定，此工况下需要水气两用的旋转接头。
其中，市面上现有的旋转接头孔路分布凌乱，易出现安装出错的情况，同时拆卸也不方便；水气路密封不可靠，易出现泄露状况。
发明内容
本实用新型的目的是针对现有技术存在的上述问题，提供一种稳定性高且便于装卸的用于水气两用的旋转接头组件。
本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：
一种用于水气两用的旋转接头组件，其特征在于，包括轴套和轴体，上述轴体上沿其轴向具有进水路和出水路，上述轴套套在轴体外侧且两者轴向固连，上述轴套侧部具有贯穿的进水口和出水口，上述进水路与进水口相连通，上述出水口与出水路相连通，所述轴套上端与轴体密封连接，所述轴套下端与轴体密封连接。
在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述轴体上具有贯穿其两端的进气通道。
冷却水经进水口进入设备内，冷却完成后经出水口完成循环；气路从中间的近气通道通过；工作时转轴跟随设备旋转，套管则通过固定在对应的机架上，方便拆卸，水气两用。
在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述轴套与轴体之间具有轴承。
在轴承的作用下轴体能相对于轴套顺畅转动。
在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述轴承的数量为两个，两个轴承分别位于轴套的上端和下端处。
多个轴承能进一步提高轴体的转动顺畅性。
在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述轴套内侧具有环形凹入的定位槽，上述轴承外侧嵌于定位槽内。
通过定位槽能将轴承稳定的定位在轴套内侧。
在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述轴套内侧与轴体之间具有油封，所述油封的数量为若干个且若干油封沿轴体的轴线方向排列设置。
通过油封能对轴套的上端以及下端处稳定密封。
在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述进水口位于相邻两油封之间。
在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述出水口位于相邻两油封之间。
在上述的用于水气两用的旋转接头组件中，所述轴体下端处连接有锁紧螺母。
通过锁紧螺母能对轴套限位，避免轴套与轴体脱离。
与现有技术相比，本用于水气两用的旋转接头组件水气两用，密封可靠、方便拆卸且结构紧凑可靠。
附图说明
图1是本用于水气两用的旋转接头组件的剖视结构示意图。
图中，1、轴套；1a、进水口；1b、出水口；1c、定位槽；2、轴体；3、进水路；4、出水路；5、进气通道；6、轴承；7、油封；8、锁紧螺母。
具体实施方式
如图1所示，本用于水气两用的旋转接头组件，包括轴套1和轴体2，上述轴体2上沿其轴向具有进水路3和出水路4，上述轴套1套在轴体2外侧且两者轴向固连，上述轴套1侧部具有贯穿的进水口1a和出水口1b，上述进水路3与进水口4相连通，上述出水口1b与出水路4相连通，所述轴套1上端与轴体2密封连接，所述轴套1下端与轴体2密封连接。
所述轴体2上具有贯穿其两端的进气通道5。
所述轴套1与轴体之间具有轴承6。
所述轴承6的数量为两个，两个轴承6分别位于轴套1的上端和下端处。
所述轴套1内侧具有环形凹入的定位槽1c，上述轴承6外侧嵌于定位槽1c内。
所述轴套1内侧与轴体2之间具有油封7，所述油封7的数量为若干个且若干油封7沿轴体2的轴线方向排列设置。
所述进水口1a位于相邻两油封7之间。
所述出水口1b位于相邻两油封7之间。
所述轴体2下端处连接有锁紧螺母8。
冷却水经进水口进入设备内，冷却完成后经出水口完成循环；气路从中间的近气通道通过；工作时转轴跟随设备旋转，套管则通过固定在对应的机架上，方便拆卸，水气两用。
Claims (9)
1.一种用于水气两用的旋转接头组件，其特征在于，包括轴套和轴体，上述轴体上沿其轴向具有进水路和出水路，上述轴套套在轴体外侧且两者轴向固连，上述轴套侧部具有贯穿的进水口和出水口，上述进水路与进水口相连通，上述出水口与出水路相连通，所述轴套上端与轴体密封连接，所述轴套下端与轴体密封连接。
2.根据权利要求1所述的用于水气两用的旋转接头组件，其特征在于，所述轴体上具有贯穿其两端的进气通道。
3.根据权利要求2所述的用于水气两用的旋转接头组件，其特征在于，所述轴套与轴体之间具有轴承。
4.根据权利要求3所述的用于水气两用的旋转接头组件，其特征在于，所述轴承的数量为两个，两个轴承分别位于轴套的上端和下端处。
5.根据权利要求4所述的用于水气两用的旋转接头组件，其特征在于，所述轴套内侧具有环形凹入的定位槽，上述轴承外侧嵌于定位槽内。
6.根据权利要求5所述的用于水气两用的旋转接头组件，其特征在于，所述轴套内侧与轴体之间具有油封，所述油封的数量为若干个且若干油封沿轴体的轴线方向排列设置。
7.根据权利要求6所述的用于水气两用的旋转接头组件，其特征在于，所述进水口位于相邻两油封之间。
8.根据权利要求7所述的用于水气两用的旋转接头组件，其特征在于，所述出水口位于相邻两油封之间。
9.根据权利要求8所述的用于水气两用的旋转接头组件，其特征在于，所述轴体下端处连接有锁紧螺母。
Applications Claiming Priority (2)
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Publications (1)
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Family
ID=72704045
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202020031422.6U Active CN211649419U (zh) | 2019-12-31 | 2020-01-07 | 用于水气两用的旋转接头组件 |
Country Status (1)
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|---|---|
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2020
- 2020-01-07 CN CN202020031422.6U patent/CN211649419U/zh active Active
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Legal Events
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