CN211612272U - 一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体切割研磨水过滤的技术领域，尤其是涉及一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统。一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，包括原液罐、过滤罐、过滤组件、滤清液罐和原料泵，所述过滤组件包括用于连通所述滤清液罐与所述过滤罐的连接管，所述连接管悬伸至所述过滤罐内，所述连接管于所述过滤罐内连接有过滤器，所述过滤罐的下方设置有排渣阀，所述过滤罐上设置有震动泵。原液罐内的原液通过原料泵加入至过滤罐内，并通过过滤组件的过滤进入到滤清液罐内储存，从而完成过滤。启动震动泵，震动泵带动过滤罐及过滤罐内的过滤器震动，从而使泥饼从过滤器上掉落，并从排渣口处将泥渣排出。

Description

一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统

技术领域

本实用新型涉及半导体切割研磨水过滤的技术领域，尤其是涉及一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统。

背景技术

随着社会经济的不断发展和科技的进步，电子产品发展速度越来越快，而半导体材料是很多电子产品中不可或缺的原材料。半导体材料在加工成各种零部件的过程中，需要根据产品要求及设定的尺寸大小，进行研磨和切割处理，在研磨和切割过程中需要使用超纯水进行冲洗，因而产生了大量的切割研磨水。

切割研磨水中主要的污染物为悬浮颗粒（硅粉、铜粉等），此类废水的特点是悬浮物浓度高，质量轻，极难沉淀，外观浑浊，在没有外加化学品的情况下，其有机物、氮、磷含量很低，几乎可以忽略不计。在现有的切割研磨水处理系统中，最为广泛采用的是化学混凝沉淀处理方式，工艺设备复杂，占地面积大，投资及运行费用高，操作复杂，对极细小的悬浮物处理效果不佳。

因而，在现有技术中，采用微孔过滤技术对切割研磨水进行过滤，在微孔过滤的过程中，会在滤芯的表面产生泥饼，泥饼会逐渐堵塞滤芯上的微孔，因而导致过滤效率逐渐降低，因而需要在一段时间后，对泥饼进行清理，现有技术中，通常利用大量的水将泥饼从滤芯表面冲洗掉，造成了清水的大量浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其优势在于，既能够减少清水的浪费，也能够提升清理泥饼的效率。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，包括原液罐、与所述原液罐相连通的过滤罐、安装在所述过滤罐内的过滤组件、与所述过滤组件相连通的滤清液罐和为过滤提供动力的原料泵，所述过滤组件包括用于连通所述滤清液罐与所述过滤罐的连接管，所述连接管悬伸至所述过滤罐内，所述连接管于所述过滤罐内连接有过滤器，所述过滤罐的下方设置有排渣阀，所述过滤罐上设置有震动泵。

通过采用上述技术方案，原液罐内的原液通过原料泵加入至过滤罐内，并通过过滤组件的过滤进入到滤清液罐内储存，从而完成过滤。启动震动泵，震动泵带动过滤罐及过滤罐内的过滤器震动，从而使泥饼从过滤器上掉落，并从排渣口处将泥渣排出。

作为优选，所述连接管上连接有加药泵，所述加药泵通过一加药管连通至一加药罐，加药罐内填充有助溶剂。

通过采用上述技术方案，在需要清理过滤器时，通过加药泵将助溶剂加入到过滤器内，助溶剂有助于将覆盖在过滤器表面的泥饼进行反应，使泥渣变成容易溶解于水的小颗粒。同时，对泥饼进行反冲洗，将泥饼冲掉，加快泥饼的清理。

作为优选，所述过滤罐上设置有辅助排渣管，所述辅助排渣管上设置有辅助排渣阀。

通过采用上述技术方案，通过辅助排渣管的设置，在助溶剂加入到过滤器中，并完成反洗之后，由于助溶剂通常是酸性或碱性助剂，因而通过辅助排渣管将含有助溶剂的废液排出，与普通泥渣进行分别处理，防止污染的发生。

作为优选，所述辅助排渣管连通至废液处理池。

通过采用上述技术方案，通过废液处理池的设置，对含有助溶剂的废液进行中和处理，再进行排放，有助于废液的集中处理，降低处理成本，提高处理效率。

作为优选，所述连接管上连接有水反洗泵。

通过采用上述技术方案，通过反洗泵的设置，通过反洗泵能够对过滤器进行反洗，从而便于将堵塞在微孔内的泥渣冲出，提高泥渣排出的效率。

作为优选，所述水反洗泵连通至所述滤清液罐。

通过采用上述技术方案，滤清液罐为水反洗提供水源，因而无需另外提供水源，一方面减少了水的浪费，另一方面使过滤系统结构紧凑，使用方便。

作为优选，所述微孔过滤系统还包括吹气组件，所述吹气组件包括压缩空气储气罐，所述压缩空气储气罐通过一正吹管连通至所述过滤罐内，所述正吹管正对过滤器，所述正吹管上设置有正吹阀。

通过采用上述技术方案，通过吹气组件的设置，在需要对泥饼进行清理时，能够先利用压缩空气储气罐内的高压空气对过滤器进行正吹，一方面高压空气能够将部分的泥饼直接吹掉，另一方面，高压空气能够迅速带走泥饼内的水分，从而使泥饼干燥，减少其对过滤器的粘附力，甚至开裂破碎，更有利于泥饼的清理。

作为优选，所述压缩空气储气罐通过一反吹管连通至连接管，所述反吹管上设置有反吹阀。

通过采用上述技术方案，在对过滤器进行正吹后，再进行反吹，一方面高压空气能够将堵塞在微孔内的泥渣吹出，另一方面，反吹能够将残留在过滤器上的泥饼继续吹落。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

1.占地面积小，结构紧凑，可集成并联多个过滤罐形成过滤系统；

2.泥饼清理速度快，保证了较高的过滤效率。

附图说明

图1是一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统的结构示意图。

图中，1、原液罐；2、过滤组件；21、连接管；22、过滤器；23、循环阀；24、滤清液流量计；25、循环管； 3、滤清液罐；31、水反洗泵；32、水反洗管；4、原料泵；5、排渣阀；6、过滤罐；61、残液处理泵；62、残液管；63、残液喷淋口；64、残液流量计；65、排气管；66、排气阀；67、检测流量计；68、辅助排渣管；69、废液处理池；7、吹气组件；71压缩空气储气罐；72、正吹管；73、正吹阀；74、反吹管；75、反吹阀；8、过滤助剂罐；81、加料泵；82、加料循环阀；9、加药罐；91、加药泵；92、加药管；a、震动泵；b、辅助排渣阀。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

参照图1，为本实用新型公开的一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统，包括原液罐1、过滤罐6、过滤组件2、滤清液罐3和原料泵4。过滤罐6与滤清液罐3之间通过过滤组件2相连通，原液罐1与过滤罐6相连通，原料泵4为原液罐1内的原液向滤清液罐3流动提供动力。

过滤组件2包括连接管21和过滤器22，连接管21用于连通滤清液罐3和过滤罐6，连接管21悬伸于过滤罐6的上部，过滤器22安装于在过滤罐6内的连接管21的下侧。过滤器22包括多组并联设置的滤芯，滤芯内填充有微孔薄膜，微孔薄膜上均布有孔径为0.5μm的微孔。

连接管21上设置有滤清液流量计24，通过滤清液流量计24的设置，能够通过滤清液流量计24的示数变化了解过滤的速率，当滤清液流量计24的示数小于某一预设值时，即可说明需要进行过滤器22的清理。

过滤罐6的下部直径逐渐减小呈漏斗状，过滤罐6的底部设置有排渣阀5，排渣阀5用于废渣的排出。滤清液罐3连接有水反洗泵31，水反洗泵31通过一水反洗管32连通至连接管21。利用水反洗泵31对过滤器22进行反洗，从而将过滤器22上小孔内的泥渣冲出，同时，将泥饼从过滤器22上冲掉，以实现过滤组件2的过滤顺畅。同时，对过滤器22进行反洗的水来自于滤清液罐3内，因而无需另外提供水源，一方面减少了水的浪费，另一方面使过滤系统结构紧凑，使用方便。

过滤罐6的底部设置有连接有残液处理泵61，残液处理泵61通过一残液管62连通至过滤罐6的顶部，残液管62的端部设置有残液喷淋口63，残液喷淋口63位于过滤器22的正上方。因而，通过残液处理泵61、残液管62及残液喷淋口63能够将残液运输至过滤器22的上方，并对过滤器22进行喷淋，从而进一步对过滤器22的表面进行清理，减少泥饼的残留。喷淋后的残液继续流到过滤罐6的底部，再利用残液处理泵61继续泵送残液对过滤器22进行循环喷淋。

残液管62上设置有残液流量计64，通过残液流量计64能够了解残液处理泵61泵送残液的速率，以判断残液内的含水量，当残液的含水量高于80%时，可与原液混合直接参与过滤。当残液的含水量低于80%时，需要将残液排出。

微孔过滤系统还包括吹气组件7，吹气组件7包括压缩空气储气罐71，压缩空气储气罐71通过一正吹管72连通至过滤罐6内。正吹管72正对过滤器22，正吹管72上设置有正吹阀73。在正吹时，正吹管72正对过滤器22，从而能够更快的将过滤器22上的泥饼吹干，同时，也将部分泥饼吹掉。

压缩空气储气罐71通过一反吹管74连通至连接管21，从而能够实现对过滤器22的反吹。一方面高压空气能够将堵塞在微孔内的泥渣吹出，另一方面，反吹能够将残留在过滤器22上的泥饼继续吹落。

过滤罐6的顶部设置有与过滤罐6连通的排气管65，排气管65上设置有排气阀66与对液体流量进行检测的检测流量计67。通过检测流量计67的设置，能够对正吹时排出的气体中的含水量进行检测，因而当含水量降低为零后，说明泥饼已经完全吹干，此时再进行反吹，能够有效提升反吹吹落泥饼的效率。

微孔过滤系统还包括过滤助剂罐8，过滤助剂罐8上内填充有膨松剂，过滤助剂罐8连接有加料泵81，加料泵81连通至过滤罐6内。加料泵81能够泵送膨松剂进入到过滤罐6内。膨松剂能够堵塞在微孔内的泥渣快速溶解或快速反应生成可溶性物质，或迅速降解，使泥渣成为细小且与微孔粘附性较小的颗粒，便于反吹与水反洗时，将泥渣从微孔内带出。

连接管21上连通有循环管25，循环管25连通至原液罐1中，循环管25靠近原液罐1的一侧设置有循环阀23。过滤助剂罐8也连通至循环管25，过滤助剂罐8与循环管25之间设置有加料循环阀82。

连接管21上还连通有加药泵91，加药泵91通过一加药管92连接有加药罐9。加药罐9内填充有助溶剂，助溶剂为酸/碱/次氯酸钠，酸/碱/次氯酸钠的浓度均为1%。过滤罐6的下部还设置有辅助排渣管68，辅助排渣管68上设置有辅助排渣阀b。

半导体切割研磨水的微孔过滤工艺，具体步骤如下：

S1：原液罐1内的原液进入到过滤罐6内，原液经过过滤器22的过滤并经过连接管21进入到滤清液罐3；

S2：当需要对过滤器22上的泥饼进行清理时，启动震动泵a，将过滤助剂罐8内的膨松剂加入到过滤罐6内进行过滤，并将液体全部排至滤清液罐3内；

S3：打开正吹阀73与排气阀66，利用压缩空气管储气罐内的高压空气对过滤器22外进行正吹，直至检测流量计67检测不到排气管65内有液体排出；

S4：关闭正吹阀73，开启反吹阀75，对过滤器22进行反吹；

S5：将排渣阀5打开，进行排渣。

S6：关闭反吹阀75及排气阀66，利用水反洗泵31对过滤器22进行水反洗；

S7：利用残液处理泵61将残液运送至过滤器22的上方进行喷淋；

S8：将残液经过循环管25送入原液罐1内继续参与正常的过滤循环。

通过采用上述技术方案，通过S1，能够对原液进行过滤，并将过滤后的液体储存在滤清液罐3内。

通过S2，膨松剂与原液共同加入到过滤器22内，膨松剂能够堵塞在微孔内的泥渣快速溶解或快速反应生成可溶性物质，或迅速降解，使泥渣成为细小且与微孔粘附性较小的颗粒。开启震动泵a后，使得过滤罐6及过滤器22进行震动，从而便于泥饼在经过膨松剂作用后从过滤器22上掉落。

通过S3，利用压缩空气储气罐71内的高压空气对过滤器22进行正吹，一方面高压空气能够将部分的泥饼直接吹掉，另一方面，高压空气能够迅速带走泥饼内的水分，从而使泥饼干燥，减少其对过滤器22的粘附力，甚至开裂破碎，更有利于泥饼的清理。

通过S4, 在对过滤器22进行正吹后，再进行反吹，一方面高压空气能够将堵塞在微孔内的泥渣吹出，另一方面，反吹能够将残留在过滤器22上的泥饼继续吹落。

通过S5，将排渣阀5打开，大多数的泥饼已经通过正吹与反吹吹落，将大多数的泥饼排出过滤罐6内。

通过S6，利用水反洗泵31对过滤器22进行反洗，从而将过滤器22上小孔内的泥渣冲出，同时，将残留的泥饼从过滤器22上冲掉，以实现过滤组件2的过滤顺畅。

通过S7, 通过残液处理泵61、残液管62及喷淋口的设置，能够将残液运输至过滤器22的上方，并对过滤器22进行喷淋，从而进一步对过滤器22的表面进行清理，减少泥饼的残留。

通过S8，由于残液中仅含少量的泥渣，因而可直接加入到原液罐1内继续进行过滤，从而对残液中的水进行回收，减少水的浪费。

当通过多次正吹、反吹、水反洗仍然无法使过滤顺畅后，加药泵91将助溶剂加入至过滤器22内，进行反洗，利用酸/碱/次氯酸钠与微孔内的泥渣进行反应，生成容易溶解的小颗粒。为避免酸/碱/次氯酸钠对过滤系统的侵蚀，在反洗结束后，通过辅助排渣阀b将废液排入废液处理池69，再经过中和处理后排入污水收集管网。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，包括原液罐（1）、与所述原液罐（1）相连通的过滤罐（6）、安装在所述过滤罐（6）内的过滤组件（2）、与所述过滤组件（2）相连通的滤清液罐（ 3）和为过滤提供动力的原料泵（4），其特征在于，所述过滤组件（2）包括用于连通所述滤清液罐（ 3）与所述过滤罐（6）的连接管（21），所述连接管（21）悬伸至所述过滤罐（6）内，所述连接管（21）于所述过滤罐（6）内连接有过滤器（22），所述过滤罐（6）的下方设置有排渣阀（5），所述过滤罐（6）上设置有震动泵（a）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述连接管（21）上连接有加药泵（91），所述加药泵（91）通过一加药管（92）连通至一加药罐（9），加药罐（9）内填充有助溶剂。

3.根据权利要求2所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述过滤罐（6）上设置有辅助排渣管（68），所述辅助排渣管上设置有辅助排渣阀（b）。

4.根据权利要求3所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述辅助排渣管（68）连通至废液处理池（69）。

5.根据权利要求1所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述连接管（21）上连接有水反洗泵（31）。

6.根据权利要求5所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述水反洗泵（31）连通至所述滤清液罐（ 3）。

7.根据权利要求1所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述微孔过滤系统还包括吹气组件（7），所述吹气组件（7）包括压缩空气储气罐（71），所述压缩空气储气罐（71）通过一正吹管（72）连通至所述过滤罐（6）内，所述正吹管（72）正对过滤器（22），所述正吹管（72）上设置有正吹阀（73）。

8.根据权利要求7所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述压缩空气储气罐（71）通过一反吹管（74）连通至连接管（21），所述反吹管（74）上设置有反吹阀（75）。

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