CN211529911U - 一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构，包括底座，底座的两个邻边安装有固定夹板，固定夹板包括一体成型连接的底板和顶板，固定夹板上安装有柔性夹持组件，柔性夹持组件包括定位气囊和压紧气囊，定位气囊连接底板的侧壁上，压紧气囊连接顶板的底部边缘，定位气囊和压紧气囊间通过气管连通，定位气囊远离底板的侧壁上固定安装定位板，定位气囊内腔套接复位弹簧，底座的另外两个邻边顶部安装活动夹板。电极板放在底座上，电极板邻边贴合定位板进行定位，通过活动夹板挤压电极板另两个邻边，定位气囊压缩，压紧气囊膨胀压紧在电极板边缘顶部，便于将电极板夹紧，且定位气囊和压紧气囊均为柔性组件，避免夹坏电极板。

Description

一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构

技术领域

本实用新型涉及等离子刻蚀技术领域，具体为一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构。

背景技术

电极板进行等离子刻蚀时需要对其进行夹持，目前的夹持方法都是采用气缸推动夹持块夹持在电极板的四周侧壁上，但是，电极板本身较为薄弱，通过气缸夹持侧壁时的夹紧力难以控制，容易将电极板夹坏，为此我们提出一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构，包括底座，所述底座的两个邻边顶部固定安装有固定夹板，所述固定夹板包括一体成型连接的底板和顶板，所述底板固定安装在底座上，所述底板和顶板成U型结构，所述底板和顶板间安装有柔性夹持组件，所述柔性夹持组件包括定位气囊和压紧气囊，所述定位气囊的一侧侧壁固定连接底板的侧壁上，所述压紧气囊的顶部外壁固定连接顶板的底部边缘，所述底板和顶板内固定套接气管，所述气管的两端分别连通定位气囊和压紧气囊的内腔，所述定位气囊远离底板的侧壁上固定安装定位板，所述定位气囊内腔套接复位弹簧，且所述复位弹簧的两端分别固定连接定位板和底板处的定位气囊内壁，所述底座的另外两个邻边顶部安装活动夹板。

优选的，所述固定夹板沿底座的边缘均匀分布有多个，且多个固定夹板到底座外壁的距离相同，所述顶板长度等于底板和定位气囊的长度之和，且顶板靠近压紧气囊的一端侧壁为倾斜结构，所述复位弹簧始终处于压缩状态，所述压紧气囊的底部外壁设有网状防滑纹。

优选的，所述活动夹板包括固定板，所述底座的另外两个邻边顶部固定安装多个固定板，所述固定板上通过螺纹结构套接调节螺柱，所述调节螺柱靠近固定夹板的一端转动卡接在滑板的外壁上，所述滑板远离固定板的一侧外壁底部固定安装限位板，所述限位板的顶部通过螺纹结构连接锁紧螺栓，所述锁紧螺栓上套接压紧板，所述压紧板的外壁紧密贴合滑板。

优选的，所述压紧板的长度大于限位板的长度，所述限位板的高度等于底板的高度，所述压紧板远离滑板的一侧外壁为倾斜结构，且所述压紧板远离滑板的一侧底部固定安装夹紧垫。

优选的，所述固定板处的底座顶部开有导向槽，所述限位板的底部固定安装导向块，所述导向块滑动卡接在导向槽内，且导向块和导向槽为相配合的T型结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：夹持电极板前，复位弹簧弹力使定位气囊膨胀，此时压紧气囊收缩，多个定位板位于同一直线上，将电极板放在底座上，并将电极板的两个邻边贴合定位板进行定位，使得电极板正对等离子刻蚀组件，便于刻蚀；通过活动夹板推动电极板移动，从而使得电极板挤压定位气囊，使得定位气囊压缩，则定位气囊内的气体通过气管进入压紧气囊内，压紧气囊膨胀压紧在电极板边缘顶部，随着活动夹板的逐渐推动电极板移动，压紧气囊对电极板的压紧阻力增大，同时定位气囊和复位弹簧的弹性阻力增大，便于将电极板夹紧，且定位气囊和压紧气囊均为柔性组件，避免夹坏电极板；压紧板通过弹性橡胶的夹紧垫压紧电极板边缘顶部，实现电极板完全夹紧，且避免夹坏电极板，压紧板和顶板侧壁均为倾斜结构，减小压紧板和限位板对电极板的视觉遮挡，便于观察刻蚀进度。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型主视剖面结构示意图；

图3为本实用新型图2中A处放大结构示意图；

图4为本实用新型到导向块处左视剖面结构示意图。

图中：1底座、2固定夹板、21底板、22顶板、3柔性夹持组件、31定位气囊、32定位板、33复位弹簧、34气管、35压紧气囊、4活动夹板、41固定板、42滑板、43调节螺柱、44限位板、45压紧板、46锁紧螺栓、5夹紧垫、6导向槽、7导向块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构，包括底座1，底座1的两个邻边顶部固定安装有固定夹板2，固定夹板2包括一体成型连接的底板21和顶板22，底板21固定安装在底座1上，底板21和顶板22成U型结构，底板21和顶板22间安装有柔性夹持组件3，柔性夹持组件3包括定位气囊31和压紧气囊35，定位气囊31的一侧侧壁固定连接底板21的侧壁上，压紧气囊35的顶部外壁固定连接顶板22的底部边缘，底板21和顶板22内固定套接气管34，气管34的两端分别连通定位气囊31和压紧气囊35的内腔，定位气囊31远离底板21的侧壁上固定安装定位板32，定位气囊31内腔套接复位弹簧33，且复位弹簧33的两端分别固定连接定位板32和底板21处的定位气囊31内壁，底座1的另外两个邻边顶部安装活动夹板4。夹持电极板前，复位弹簧33弹力使定位气囊31膨胀，此时压紧气囊35收缩，多个定位板32位于同一直线上，将电极板放在底座1上，并将电极板的两个邻边贴合定位板32进行定位，使得电极板正对等离子刻蚀组件，便于刻蚀，通过活动夹板4挤压电极板另两个邻边，则电极板挤压定位气囊31，使得定位气囊31压缩，则定位气囊31内的气体通过气管34进入压紧气囊35内，压紧气囊35膨胀压紧在电极板边缘顶部，随着活动夹板4的逐渐推动电极板移动，压紧气囊35对电极板的压紧阻力增大，同时定位气囊31和复位弹簧33的弹性阻力增大，便于将电极板夹紧，且定位气囊31和压紧气囊35均为柔性组件，避免夹坏电极板。

固定夹板2沿底座1的边缘均匀分布有多个，且多个固定夹板2到底座1外壁的距离相同，顶板22长度等于底板21和定位气囊31的长度之和，则夹持前，定位气囊31膨胀使得定位板32与顶板22边缘平齐，便于电极板侧壁接触定位板32进行定位，在定位气囊31受压缩后压紧气囊35膨胀压紧电极板，减小电极板顶部被遮挡部位面积，便于进行刻蚀，且顶板22靠近压紧气囊35的一端侧壁为倾斜结构，减小顶板22对电极板的视觉遮挡，便于观察刻蚀进度，复位弹簧33始终处于压缩状态，压紧气囊35的底部外壁设有网状防滑纹，从而增加压紧气囊35和电极板间的摩擦力，便于夹紧电极板。

活动夹板4包括固定板41，底座1的另外两个邻边顶部固定安装多个固定板41，固定板41上通过螺纹结构套接调节螺柱43，调节螺柱43靠近固定夹板2的一端转动卡接在滑板42的外壁上，滑板42远离固定板41的一侧外壁底部固定安装限位板44，限位板44的顶部通过螺纹结构连接锁紧螺栓46，锁紧螺栓46上套接压紧板45，压紧板45的外壁紧密贴合滑板42，转动调节螺柱43，从而推动滑板42，使得限位板44推动电极板移动进行边缘夹紧，在通过锁紧螺栓46将压紧板45压紧在电极板顶部进行顶部压紧。

压紧板45的长度大于限位板44的长度，便于压紧板45接触电极板顶部，限位板44的高度等于底板21的高度，压紧板45远离滑板42的一侧外壁为倾斜结构，且压紧板45远离滑板42的一侧底部固定安装夹紧垫5，限位板44推动电极板移动从而压缩定位气囊31，不会将电极板压坏，压紧板45通过弹性橡胶的夹紧垫5接触电极板，同样避免将电极板压坏。

固定板41处的底座1顶部开有导向槽6，限位板44的底部固定安装导向块7，导向块7滑动卡接在导向槽6内，且导向块7和导向槽6为相配合的T型结构，从而对限位板44和滑板42进行导向和限位。

工作原理：本实用新型使用时，夹持电极板前，复位弹簧33弹力使定位气囊31膨胀，此时压紧气囊35收缩，多个定位板32位于同一直线上，将电极板放在底座1上，并将电极板的两个邻边贴合定位板32进行定位，使得电极板正对等离子刻蚀组件，便于刻蚀，转动调节螺柱43，从而推动滑板42，使得限位板44推动电极板移动，电极板挤压定位气囊31，使得定位气囊31压缩，则定位气囊31内的气体通过气管34进入压紧气囊35内，压紧气囊35膨胀压紧在电极板边缘顶部，随着活动夹板4的逐渐推动电极板移动，压紧气囊35对电极板的压紧阻力增大，同时定位气囊31和复位弹簧33的弹性阻力增大，便于将电极板夹紧，且定位气囊31和压紧气囊35均为柔性组件，避免夹坏电极板，再通过锁紧螺栓46将压紧板45压紧在电极板另两个邻边的顶部，实现电极板的完全夹紧。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的两个邻边顶部固定安装有固定夹板（2），所述固定夹板（2）包括一体成型连接的底板（21）和顶板（22），所述底板（21）固定安装在底座（1）上，所述底板（21）和顶板（22）成U型结构，所述底板（21）和顶板（22）间安装有柔性夹持组件（3），所述柔性夹持组件（3）包括定位气囊（31）和压紧气囊（35），所述定位气囊（31）的一侧侧壁固定连接底板（21）的侧壁上，所述压紧气囊（35）的顶部外壁固定连接顶板（22）的底部边缘，所述底板（21）和顶板（22）内固定套接气管（34），所述气管（34）的两端分别连通定位气囊（31）和压紧气囊（35）的内腔，所述定位气囊（31）远离底板（21）的侧壁上固定安装定位板（32），所述定位气囊（31）内腔套接复位弹簧（33），且所述复位弹簧（33）的两端分别固定连接定位板（32）和底板（21）处的定位气囊（31）内壁，所述底座（1）的另外两个邻边顶部安装活动夹板（4）。

2.根据权利要求1所述的一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构，其特征在于：所述固定夹板（2）沿底座（1）的边缘均匀分布有多个，且多个固定夹板（2）到底座（1）外壁的距离相同，所述顶板（22）长度等于底板（21）和定位气囊（31）的长度之和，且顶板（22）靠近压紧气囊（35）的一端侧壁为倾斜结构，所述复位弹簧（33）始终处于压缩状态，所述压紧气囊（35）的底部外壁设有网状防滑纹。

3.根据权利要求1所述的一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构，其特征在于：所述活动夹板（4）包括固定板（41），所述底座（1）的另外两个邻边顶部固定安装多个固定板（41），所述固定板（41）上通过螺纹结构套接调节螺柱（43），所述调节螺柱（43）靠近固定夹板（2）的一端转动卡接在滑板（42）的外壁上，所述滑板（42）远离固定板（41）的一侧外壁底部固定安装限位板（44），所述限位板（44）的顶部通过螺纹结构连接锁紧螺栓（46），所述锁紧螺栓（46）上套接压紧板（45），所述压紧板（45）的外壁紧密贴合滑板（42）。

4.根据权利要求3所述的一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构，其特征在于：所述压紧板（45）的长度大于限位板（44）的长度，所述限位板（44）的高度等于底板（21）的高度，所述压紧板（45）远离滑板（42）的一侧外壁为倾斜结构，且所述压紧板（45）远离滑板（42）的一侧底部固定安装夹紧垫（5）。

5.根据权利要求3所述的一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构，其特征在于：所述固定板（41）处的底座（1）顶部开有导向槽（6），所述限位板（44）的底部固定安装导向块（7），所述导向块（7）滑动卡接在导向槽（6）内，且导向块（7）和导向槽（6）为相配合的T型结构。

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