CN211443406U - 一种旋转溅射靶材管口保护装置 - Google Patents
一种旋转溅射靶材管口保护装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN211443406U CN211443406U CN201922330026.3U CN201922330026U CN211443406U CN 211443406 U CN211443406 U CN 211443406U CN 201922330026 U CN201922330026 U CN 201922330026U CN 211443406 U CN211443406 U CN 211443406U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sputtering target
- pipe orifice
- rotary sputtering
- protection device
- ring cover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种旋转溅射靶材管口保护装置，管口保护装置包括一用于盖合旋转溅射靶材的管口的环盖，环盖的内侧壁与旋转溅射靶材管口的外侧壁之间设置有紧固结构，环盖通过紧固结构紧固连接于旋转溅射靶材的管口，环盖的外侧朝中心凸出成型有凸肩，凸肩的内侧与旋转溅射靶材的管口面抵顶配合。与现有技术相比，本实用新型通过在旋转溅射靶材的管口安装环抱型的环盖，使旋转溅射靶材在运输过程中，避免旋转溅射靶材管口受到直接碰撞，导致管口以及表面结构受损。
Description
技术领域
本实用新型涉及旋转溅射靶材生产设备技术领域，尤其是涉及一种旋转溅射靶材管口保护装置。
背景技术
在旋转靶材出货前，需要在管口部位开设螺纹，以用作于溅射设备的工装连接。但是，由于在靶材运输过程中，靶材管口部分容易发生磕碰，导致管口以及安装螺纹的损坏，则无法继续正常使用，需要返厂维修，耗时耗力；另外，溅射设备常常需要在无尘车间内进行运作，在不设保护的情况下，管内容易积聚灰尘，污染车间，影响溅射工作的顺利进行，而且旋转靶材的管内难以清洁，所以在管口位置设置阻挡结构尤为重要。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种旋转溅射靶材管口保护装置，避免运输磕碰导致旋转靶材管口的损坏，安装方便，成本低，同时，封盖旋转靶材的管口，避免管内积聚尘埃。
为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种旋转溅射靶材管口保护装置，管口保护装置包括一用于盖合旋转溅射靶材的管口的环盖，环盖的内侧壁与旋转溅射靶材管口的外侧壁之间设置有紧固结构，环盖通过紧固结构紧固连接于旋转溅射靶材的管口，环盖的外侧朝中心凸出成型有凸肩，凸肩的内侧与旋转溅射靶材的管口面抵顶配合。本实用新型通过环盖对旋转溅射靶材的管口进行保护，使旋转溅射靶材在运输过程中，避免旋转溅射靶材管口受到直接碰撞，导致管口以及表面结构受损。
在进一步的技术方案中，紧固结构设置为螺纹连接结构或卡扣结构或咬合结构。
在进一步的技术方案中，环盖的内侧壁成型有内螺纹，旋转溅射靶材管口的外壁成型有外螺纹，环盖的内螺纹与旋转溅射靶材管口的外螺纹螺纹咬合，凸肩的内侧活动抵顶于旋转溅射靶材的管口面。
在进一步的技术方案中，环盖的内侧固定有一质软的保护层，保护层夹设于环盖与旋转溅射靶材管口之间。
在进一步的技术方案中，保护层由硅胶材料制成的薄膜，薄膜胶接于环盖的内侧，薄膜覆盖内螺纹以及凸肩的内侧。该结构通过在环盖内侧设置具有缓冲作用的保护层，使旋转溅射靶材管口的螺纹结构得到柔性保护，避免降低螺纹精度，进一步加强了管口保护装置的保护性能。
在进一步的技术方案中，旋转溅射靶材管口的外壁成型有外螺纹，环盖设置有多个弹性扣脚，各弹性扣脚的端部凸出成型有扣部，各弹性扣脚的扣部分别卡扣连接于旋转溅射靶材管口的外螺纹的螺纹槽。
在进一步的技术方案中，旋转溅射靶材管口的外壁成型有外螺纹，环盖的内侧固定有软胶圈，环盖盖合于旋转溅射靶材的管口，软胶圈的内侧与旋转溅射靶材管口的外壁过盈配合。
在进一步的技术方案中，管口保护装置包括有一用作覆盖旋转溅射靶材的管口的盖板，盖板呈圆片状设置，盖板的直径大于旋转溅射靶材管口的内径，且盖板的直径不大于环盖的内径，盖板嵌入安装于环盖的内侧，盖板的内侧面盖覆于旋转溅射靶材的管口，盖板的外侧边缘与环盖的凸肩限位配合。该结构通过设置在环盖内侧的盖板封堵旋转溅射靶材的管口，避免外部灰尘的侵入，减少旋转溅射靶材内部尘埃的聚积。
在进一步的技术方案中，盖板的内侧面覆盖设置有一质软的保护层，保护层夹设于旋转溅射靶材的管口面与盖板的内侧面之间。
在进一步的技术方案中，环盖的外侧设置有防滑结构，防滑结构包括有多个沿圆周反向均匀分布的凹槽，形成波浪式的环盖表面。
采用上述结构后，本实用新型和现有技术相比所具有的优点是：本实用新型通过环盖对旋转溅射靶材的管口进行保护，使旋转溅射靶材在运输过程中，避免旋转溅射靶材管口受到直接碰撞，导致管口以及表面结构受损；本实用新型通过在环盖内侧设置具有缓冲作用的保护层，使旋转溅射靶材管口的螺纹结构得到柔性保护，避免降低螺纹精度，进一步加强了管口保护装置的保护性能；本实用新型通过设置在环盖内侧的盖板封堵旋转溅射靶材的管口，避免外部灰尘的侵入，减少旋转溅射靶材内部尘埃的聚积。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的分解示意图。
图3是本实用新型的环盖的结构示意图。
图4是本实用新型的环盖的截面示意图。
图中：
1-环盖、11-凹槽、12-凸肩、13-保护层、2-盖板、3-旋转溅射靶材。
具体实施方式
以下仅为本实用新型的较佳实施例，并不因此而限定本实用新型的保护范围。
一种旋转溅射靶材管口保护装置，如图1至图4所示，管口保护装置包括一用于盖合旋转溅射靶材3的管口的环盖1，环盖1的内侧壁与旋转溅射靶材3管口的外侧壁之间设置有紧固结构，环盖1通过紧固结构紧固连接于旋转溅射靶材3的管口，环盖1的外侧朝中心凸出成型有凸肩12，凸肩12的内侧与旋转溅射靶材3的管口面抵顶配合。本实用新型通过环盖对旋转溅射靶材3的管口进行保护，使旋转溅射靶材3在运输过程中，避免旋转溅射靶材3的管口受到直接碰撞，导致管口以及表面结构受损。其技术原理是，当旋转溅射靶材3的管口部分受到碰撞作用时，外部碰撞物对环盖1进行直接撞击，环盖1与旋转溅射靶材3的管口之间环抱式连接，冲击力分别分散均匀作用于旋转溅射靶材3的管口的圆周部，从而避免旋转溅射靶材3受直接撞击以及管口表面结构的损坏。
优选地，紧固结构设置为螺纹连接结构，环盖1的内侧壁成型有内螺纹，旋转溅射靶材3的管口的外壁成型有外螺纹，环盖1的内螺纹与旋转溅射靶材3的管口的外螺纹螺纹咬合，凸肩12的内侧活动抵顶于旋转溅射靶材3的管口面。环盖1的连接结构根据旋转溅射靶材3的管口工装螺纹而设置成型，连接结构稳定可靠，保护管口工装螺纹，避免工装螺纹精度受影响，降低返工率。
具体地，环盖1的内侧固定有一质软的保护层13，保护层13夹设于环盖1与旋转溅射靶材3的管口之间。该结构在旋转溅射靶材3的管口的工装螺纹之间设置缓冲螺纹连接结构，避免旋转溅射靶材3发生磕碰时，工装螺纹被环盖1所碰坏。
具体地，保护层13由硅胶材料制成的薄膜，薄膜胶接于环盖1的内侧，薄膜覆盖内螺纹以及凸肩12的内侧。
当然，紧固结构也可以设置为卡扣结构，旋转溅射靶材3的管口的外壁成型有外螺纹，环盖1设置有多个弹性扣脚，各弹性扣脚的端部凸出成型有扣部，各弹性扣脚的扣部分别卡扣连接于旋转溅射靶材3的管口的外螺纹的螺纹槽。
另外，紧固结构还可以设置为咬合结构，旋转溅射靶材3的管口的外壁成型有外螺纹，环盖1的内侧固定有软胶圈，环盖1盖合于旋转溅射靶材3的管口，软胶圈的内侧与旋转溅射靶材3管口的外壁过盈配合。
具体地，管口保护装置包括有一用作覆盖旋转溅射靶材3的管口的盖板2，盖板2呈圆片状设置，盖板2的直径大于旋转溅射靶材3的管口的内径，且盖板2的直径不大于环盖1的内径，盖板2嵌入安装于环盖1的内侧，盖板2的内侧面盖覆于旋转溅射靶材3的管口，盖板2的外侧边缘与环盖1的凸肩12限位配合。该结构通过盖板2对旋转溅射靶材3的管口进行阻挡保护，避免外界灰尘的侵入，减少旋转溅射靶材3内部的尘埃积聚。
具体地，盖板2的内侧面覆盖设置有一质软的保护层13，保护层13夹设于旋转溅射靶材3的管口面与盖板2的内侧面之间。该结构通过在盖板2的内侧面设置缓冲保护层结构，使
具体地，环盖1的外侧设置有防滑结构，防滑结构包括有多个沿圆周反向均匀分布的凹槽11，形成波浪式的环盖表面，能够提高环盖1的表面对手的静摩擦力，起防滑作用，使用更方便。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (10)
1.一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：管口保护装置包括一用于盖合旋转溅射靶材(3)的管口的环盖(1)，环盖(1)的内侧壁与旋转溅射靶材(3)管口的外侧壁之间设置有紧固结构，环盖(1)通过紧固结构紧固连接于旋转溅射靶材(3)的管口，环盖(1)的外侧朝中心凸出成型有凸肩(12)，凸肩(12)的内侧与旋转溅射靶材(3)的管口面抵顶配合。
2.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述紧固结构设置为螺纹连接结构或卡扣结构或咬合结构。
3.根据权利要求2所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述环盖(1)的内侧壁成型有内螺纹，所述旋转溅射靶材(3)的管口的外壁成型有外螺纹，环盖(1)的内螺纹与旋转溅射靶材(3)的管口的外螺纹螺纹咬合，所述凸肩(12)的内侧活动抵顶于旋转溅射靶材(3)的管口面。
4.根据权利要求3所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述环盖(1)的内侧固定有一质软的保护层(13)，保护层(13)夹设于环盖(1)与所述旋转溅射靶材(3)的管口之间。
5.根据权利要求4所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述保护层(13)由硅胶材料制成的薄膜，薄膜胶接于所述环盖(1)的内侧，薄膜覆盖所述内螺纹以及所述凸肩(12)的内侧。
6.根据权利要求2所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述旋转溅射靶材(3)的管口的外壁成型有外螺纹，所述环盖(1)设置有多个弹性扣脚，各弹性扣脚的端部凸出成型有扣部，各弹性扣脚的扣部分别卡扣连接于旋转溅射靶材(3)的管口的外螺纹的螺纹槽。
7.根据权利要求2所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述旋转溅射靶材(3)的管口的外壁成型有外螺纹，所述环盖(1)的内侧固定有软胶圈，环盖(1)盖合于旋转溅射靶材(3)的管口，软胶圈的内侧与旋转溅射靶材(3)管口的外壁过盈配合。
8.根据权利要求3、6和7中的任一项所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述管口保护装置包括有一用作覆盖旋转溅射靶材(3)的管口的盖板(2)，盖板(2)呈圆片状设置，盖板(2)的直径大于旋转溅射靶材(3)的管口的内径，且盖板(2)的直径不大于所述环盖(1)的内径，盖板(2)嵌入安装于环盖(1)的内侧，盖板(2)的内侧面盖覆于旋转溅射靶材(3)的管口，盖板(2)的外侧边缘与环盖(1)的凸肩(12)限位配合。
9.根据权利要求8所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述盖板(2)的内侧面覆盖设置有一质软的保护层(13)，保护层(13)夹设于所述旋转溅射靶材(3)的管口面与盖板(2)的内侧面之间。
10.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材管口保护装置，其特征在于：所述环盖(1)的外侧设置有防滑结构，防滑结构包括有多个沿圆周反向均匀分布的凹槽(11)，形成波浪式的环盖表面。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922330026.3U CN211443406U (zh) | 2019-12-23 | 2019-12-23 | 一种旋转溅射靶材管口保护装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922330026.3U CN211443406U (zh) | 2019-12-23 | 2019-12-23 | 一种旋转溅射靶材管口保护装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN211443406U true CN211443406U (zh) | 2020-09-08 |
Family
ID=72320626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201922330026.3U Active CN211443406U (zh) | 2019-12-23 | 2019-12-23 | 一种旋转溅射靶材管口保护装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN211443406U (zh) |
-
2019
- 2019-12-23 CN CN201922330026.3U patent/CN211443406U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN211443406U (zh) | 一种旋转溅射靶材管口保护装置 | |
| CN201747923U (zh) | 一种新型排气装置 | |
| CN101125522A (zh) | 一种汽车轮胎压力监测系统中发射器用气门嘴 | |
| CN105000164A (zh) | 一种防渗水飞机安全检查口盖及口盖的制作方法 | |
| CN103574075A (zh) | 软密封伸缩蝶阀 | |
| CN111219488A (zh) | 防脱型橡胶密封圈 | |
| CN204568361U (zh) | 冷媒连接管的封口塞 | |
| US20160033062A1 (en) | Connector Structure Capable of Effectively Preventing Broken Water Pipe from Spraying Water | |
| CN216375779U (zh) | 一种防摔油管保护环 | |
| CN216103725U (zh) | 一种旋转溅射靶材管口保护装置 | |
| CN218760721U (zh) | 一种简易连接型浮动接头 | |
| CN207018557U (zh) | 一种抽杆式闸阀 | |
| CN211366359U (zh) | 一种收卷机红外线保护装置 | |
| CN102068274A (zh) | 一种便携式医疗器械及防尘装置 | |
| JP3670739B2 (ja) | 内視鏡の防水構造 | |
| US20190160863A1 (en) | End cover for vehicle non-driven wheel hub assembly | |
| CN218468534U (zh) | 一种环保硅胶件 | |
| CN209743585U (zh) | 一种电动推杆密封单元及电动推杆 | |
| CN215908169U (zh) | 一种带有保护软套的氮气缸 | |
| CN215491760U (zh) | 一种编码器快速定位安装装置 | |
| CN218207398U (zh) | 一种平头内六角螺丝 | |
| CN217927673U (zh) | 一种高压气动四位阀装置 | |
| CN203474686U (zh) | 防粉尘空气隔离装置 | |
| CN213922286U (zh) | 一种旋转溅射靶材管口保护装置 | |
| CN213064324U (zh) | 压轮轴承 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |