CN211426244U - 基于抛物线的工业oct检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开一种基于抛物线的工业OCT检测装置，包括第一组件、多组抛物线反射镜组和多组等光程传播单元组；每组所述抛物线反射镜组对应一组所述等光程传播单元组；所述第一组件包括光束整形单元和旋转反射镜；每组所述抛物线反射镜组包括多个抛物线反射镜；每组所述等光程传播单元组包括多个等光程传播单元；各组所述抛物线反射镜组分别位于不同的抛物线；所述第一组件可运动；所述旋转反射镜可旋转；所述等光程传播单元用于将所述抛物线反射镜反射的光照射至待测样品；所述抛物线反射镜和所述等光程传播单元在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。本申请可提高工业检测的准确率。

Description

基于抛物线的工业OCT检测装置

技术领域

本申请涉及光学相干层析成像(OCT，Optical Coherence Tomography)技术领域，特别涉及一种基于抛物线的工业OCT检测装置。

背景技术

品质控制已成为制造业最重要的工作之一，提高品控工作的效率和质量是提高产品品质从而扩大产品市场占有率的重要抓手。

工业检测一般通过人工进行检测，例如检测手机框边的螺丝孔中的胶水残留或者加工残留的金属屑等。品控人员将手机框边放在高倍显微镜下，用肉眼观察每一个螺丝孔并判断是否有胶水残留。对于手机框边内部的螺丝孔的检测，螺丝孔数量多、孔小且深度深，常见的工业检测方式严重依赖人力，需要耗费大量的人力以及需要花费较长时间，使得检测速度慢，准确率取决于品控人员责任心，出错率高。

以上背景技术内容的公开仅用于辅助理解本申请的发明构思及技术方案，其并不必然属于本申请的现有技术，在没有明确的证据表明上述内容在本申请的申请日已经公开的情况下，上述背景技术不应当用于评价本申请的新颖性和创造性。

实用新型内容

本申请提供一种基于抛物线的工业OCT检测装置，可以实现待测样品上不同方位不同角度的位置的检测，可提高工业检测的准确率。

第一方面，本申请实施例提供一种基于抛物线的工业OCT检测装置，包括样品臂；所述样品臂包括第一组件、多组抛物线反射镜组和多组等光程传播单元组；每组所述抛物线反射镜组对应一组所述等光程传播单元组；

所述第一组件包括沿光的入射方向设置的光束整形单元和旋转反射镜；

每组所述抛物线反射镜组包括多个抛物线反射镜；每组所述等光程传播单元组包括多个等光程传播单元；各组所述抛物线反射镜组分别位于不同的抛物线；

所述第一组件可运动；所述旋转反射镜可旋转；从而可使光入射至任意一组所述抛物线反射镜组；

所述等光程传播单元用于将所述抛物线反射镜反射的光照射至待测样品；所述抛物线反射镜和所述等光程传播单元在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。

在一种可能的实现方式中，所述等光程传播单元组的各个所述等光程传播单元的至少一部分位于同一条直线上；所述直线与所述抛物线反射镜组对应的所述抛物线的准线重合，或者所述直线与所述抛物线反射镜组对应的所述抛物线的准线平行且垂直于所述抛物线的对称轴。

在一种可能的实现方式中，所述旋转反射镜的反射点可位于不同的所述抛物线的焦点或者从所述旋转反射镜出射的光可经过不同的所述抛物线的焦点。

在一种可能的实现方式中，所述第一组件可沿自身的光轴平动。

在一种可能的实现方式中，通过所述第一组件的所述平动以及所述旋转反射镜的所述旋转，可实现对所述待测样品的二维OCT检测。

在一种可能的实现方式中，所述旋转反射镜可绕所述第一组件的光轴旋转；或者，所述旋转反射镜可绕光的入射点向任意方向转动。

在一种可能的实现方式中，各个所述等光程传播单元包括多个反射镜；各个所述等光程传播单元的一个所述反射镜位于所述直线上。

在一种可能的实现方式中，各个所述等光程传播单元为一个反射镜。

在一种可能的实现方式中，所述反射镜的具体形式包括直角棱镜和平面反射镜。

在一种可能的实现方式中，所述光束整形单元包括沿光的入射方向设置的一个或多个透镜；所述光束整形单元还包括光纤头，所述光纤头用于与光纤连接以使光照射至所述透镜。

在一种可能的实现方式中，所述多组抛物线反射镜组的光路错开；所述多组等光程传播单元组的光路错开。

第二方面，本申请实施例提供一种工业检测方法，该方法采用上述工业OCT检测装置获得待测样品的OCT图像并基于所述待测样品的OCT图像对所述待测样品进行检测。

第三方面，本申请实施例提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质中存储有程序指令，所述程序指令被计算机的处理器执行时，使所述处理器执行上述方法。

与现有技术相比，本申请的有益效果有：

第一组件可运动，旋转反射镜可旋转；如此，可使测量光入射至任意一组抛物线反射镜组及其对应的等光程传播单元组。根据各个待测样品的位置来设定抛物线反射镜和等光程传播单元在空间中的位置和角度，使得测量光从旋转反射镜经各个抛物线反射镜后，再到各个抛物线反射镜相应的等光程传播单元的光程均相等，可使得入射所有待测样品的光路等光程。多组抛物线反射镜组和多组等光程传播单元组的设置，利用抛物线特性，可方便地根据待测样品的位置设置光路中光学器件的位置，使得样品臂到不同位置的待测样品的光程相等，实现通过单部OCT设备即可对所有分布在不同空间位置的待测样品进行检测，从而起到快速扫描所有待测样品的作用，可以实现待测样品上不同方位不同角度的位置的检测，可实现工业检测自动化，可提高工业检测的准确率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或背景技术中的技术方案，下面将对本申请实施例或背景技术中所需要使用的附图进行说明。

图1示出本申请一个实施例的工业OCT检测装置的一部分结构；

图2示出本申请一个实施例的工业OCT检测装置的另一部分结构；

图3示出本申请一个实施例的一部分光路的几何关系；

图4示出本申请一个实施例的工业OCT检测装置的一种变型方式的一部分结构；

图5示出本申请一个实施例的手机框的结构；

图6示出本申请一个实施例的等光程传播单元与手机框的相对位置。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图1至图6对本申请作进一步地详细描述。

本申请的说明书、权利要求书及附图中的术语“第一”和“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

光学相干层析成像(OCT，Optical Coherence Tomography)是一种新兴的光学成像技术，相对于传统的临床成像手段具有分辨率高、成像速度快、无辐射损伤、价格适中、结构紧凑等优点，是基础医学研究和临床诊断应用的重要潜在工具。基于光学相干层析成像的高分辨率和高速成像的特点，在工业检测领域有很好的应用前景。

本实施例提供一种基于抛物线的工业OCT检测装置，采用光学相干层析成像技术(OCT)，利用测量光对待检测工业产品进行扫描，并接收返回的测量光信号，再对接收的测量光信号进行处理，从而检测待检测工业产品是否符合要求。参考图5和图6，本实施例以检测手机框30的螺丝孔31是否有胶水残留为例进行说明。在其它实施例中，工业OCT检测装置是对外壳、电路板或者面板上的孔进行检测。

参考图1和图2，本实施例的基于抛物线的工业OCT检测装置包括光源101、耦合器102、参考臂200、探测器106、计算机107和样品臂300。

在本实施例中，光源101为弱相干OCT光源；耦合器102为光纤耦合器。

参考图1，参考臂200包括沿光也即参考光入射方向依次设置的参考臂光路透镜104和参考臂反射镜105。

参考图1和图2，在本实施例中，样品臂300包括偏振控制器103、第一组件20、多组抛物线反射镜组40和多组等光程传播单元组50。其中，偏振控制器103是可选的。每组抛物线反射镜组40对应一组等光程传播单元组50。

参考图1和图2，在本实施例中，对于样品臂300，偏振控制器103、第一组件20、多组抛物线反射镜组40和多组等光程传播单元组50沿光也即测量光的入射方向依次设置。

参考图1和图2，光源101输出的光经过耦合器102分别向样品臂300和参考臂200提供测量光和参考光。参考臂200具有已知长度并通过参考臂反射镜105将参考光反射回到耦合器102中。样品臂300向待测样品提供测量光；其中，待测样品为手机框30的螺丝孔31。来自待测样品散射回来的测量光经过样品臂300，与参考臂200的反射回来的参考光在耦合器102中发生干涉，干涉光被探测器106探测到，再经过计算机107处理，最后显示出被测样品的OCT图像。

参考图2，第一组件20包括光束整形单元210和旋转反射镜202。光束整形单元210和旋转反射镜202沿光的入射方向依次设置。

光束整形单元210用于对来自偏振控制器103的光进行整形，以使光照射至旋转反射镜202。参考图1，在本实施例中，光束整形单元210包括沿测量光的入射方向依次设置的两个透镜和光纤头108，两个透镜分别为准直镜109和聚焦物镜110；在其它实施例中，光束整形单元210包括光纤头108和一个透镜，或者包括光纤头108和三个以上的透镜。

参考图2，在本实施例中，一共有四组抛物线反射镜组40。每组抛物线反射镜组40包括多个抛物线反射镜70；参考图3，抛物线反射镜70是沿抛物线701分布的反射镜；抛物线反射镜70的反射面可以是平面或者曲面，也即抛物线反射镜70可以是平面反射镜或者曲面反射镜。参考图5，四组抛物线反射镜组40位于空间中不同的抛物线；也就是，每组抛物线反射镜组40的各个抛物线反射镜70位于同一条抛物线，但各组抛物线反射镜组40位于不同的抛物线。其中，抛物线是虚拟的线。

参考图2，每组等光程传播单元组50包括多个等光程传播单元220。每个等光程传播单元220对应一个抛物线反射镜70。等光程传播单元50用于将对应的抛物线反射镜70反射的光照射至待测样品。

第一组件20可平动，也即光束整形单元210和旋转反射镜202作为一个整体平动；参考图2，在本实施例中，第一组件20是沿自身的光轴L3平动；如此，第一组件20的旋转反射镜202的反射点，比如中心，可位于不同组的抛物线反射镜组40对应的抛物线的焦点01。旋转反射镜202是可旋转的，能够切换光路；示例的，旋转反射镜202可绕沿光轴L3的光在旋转反射镜202上的入射点旋转或者光轴L3是旋转反射镜202的旋转轴；示例的，旋转反射镜202与光轴L3呈45°角分布；光轴L3垂直于手机框30边平面；具体的，参考图2，旋转反射镜202可将沿光轴L3射入(可以是近似于沿竖直或水平方向射入)的光线进行反射(可以是沿水平或竖直方向反射)；旋转反射镜202的底座是一个旋转部件，可以快速旋转，这样在一定时间内，光线的传播方向会在水平平面内做360度的旋转。如此，第一组件20可使光入射至任意一组抛物线反射镜组40，具体是使光入射至任一个抛物线反射镜70，从而可实现对各个待测样品的检测；其中，待测样品是手机框30的螺丝孔31。在其它实施例中还包括移动机构(图未示出)，移动机构用于使第一组件20平动。

在本实施例中，参考图2，等光程传播单元220为一个反射镜；反射镜具体可以是直角棱镜或者平面反射镜。对于一组等光程传播单元组50，各个等光程传播单元220的光路是错开的。各组抛物线反射镜组40的光路也是错开的。

参考图3，作为等光程传播单元220的反射镜位于同一条直线L0上。直线L0与抛物线的准线L1平行且垂直于抛物线701的对称轴L2。

抛物线是指平面内到一个定点(焦点)和一条定直线(准线)距离相等的点的轨迹。参考图3，利用抛物线的特性，从抛物线701的焦点O1出发，经抛物线反射后的等光程几何图形为等光程直线L0，该等光程直线L0垂直于抛物线的对称轴L2且与抛物线701的准线L1平行；也即，抛物线701与焦点O1处于同一平面，等光程线L0亦处于该平面。旋转反射镜202的反射点比如中心位于抛物线701的焦点O1。各个抛物线反射镜70分布于抛物线701上且针对不同位置的螺丝孔31进行相应的分布，具体是各个抛物线反射镜70的反射点分布于抛物线701上。作为等光程传播单元220的反射镜位于同一条直线，具体是位于经抛物线反射后的等光程直线L0，其中，该等光程直线L0垂直于抛物线701的对称轴L2且与抛物线701的准线L1平行。参考图3，准线L1上各个点到等光程直线L0的距离是相等的，均为L1L0；对于抛物线上的点A(某个抛物线反射镜70的反射点)，点A到准线L1的距离AL1与点A到焦点O1的距离AO1是相等的，点A到焦点O1的距离AO1与点A到等光程直线L0的距离AL0之和为距离O1AL0，距离O1AL0等于距离L1L0；对于抛物线701上的其他点比如B和C，也是距离O1BL0等于距离L1L0以及距离O1CL0等于距离L1L0；也就是说，距离O1AL0、距离O1BL0和距离O1CL0三者是相等的。如此，测量光从旋转反射镜202经各个抛物线反射镜70后，再到各个抛物线反射镜70相应的光传播单元220的光程均相等，等光程传播单元220到各个螺丝孔31的距离是相等的，可根据光的照射方向对抛物线反射镜70和等光程传播单元220在空间中的位置和角度进行调整，如此，可使得入射每个螺丝孔31的光程基本相等，也就是使测量各个待测样品的样品臂光程相等。

在其它实施例中，等光程直线L0与抛物线的准线L1重合，也能使得测量光从旋转反射镜202经各个抛物线反射镜70后，再到各个抛物线反射镜70相应的等光程传播单元220的光程均相等。

针对n个螺丝孔31，设置m个抛物线反射镜70和等光程传播单元220。一个抛物线反射镜70和一个等光程传播单元220可检测一个或多个螺丝孔31，因此有m≤n。通过使抛物线反射镜70的位置及角度与等光程传播单元220的位置及角度进行配合，也即设定抛物线反射镜70的位置及角度和设定等光程传播单元220的位置及角度，便能满足测量n个螺丝孔31的样品臂光程是基本相等的。

参考图1和图2，通过使第一组件20平动以及使旋转反射镜202旋转，可将测量光照射至不同的抛物线反射镜组40及其对应的等光程传播单元组50。另外，通过使第一组件20平动以及使旋转反射镜202旋转，可实现对螺丝孔31的二维OCT扫描成像，从而实现对螺丝孔31的二维OCT检测。当进行OCT成像时，经耦合器102向样品臂光路提供测量光。该测量光先经过偏振控制器103，后经光纤头108、准直镜109和聚焦物镜110出光，经旋转反射镜202选择对应编号的螺丝孔31的光路，将探测光打到相应的抛物线反射镜70上，经相应的等光程传播单元220入射样品。而样品反射及散射光源101的光，经样品臂光路回到耦合器102并与参考光发生干涉。耦合器102中的干涉光被探测器106探测到，再经过计算机107处理，最后显示出各个螺丝孔31的OCT图像，从而可获得各个螺丝孔31的OCT图像。

相应的，本实施例还提供一种工业检测方法。该方法采用本实施例的工业OCT检测装置获得螺丝孔31的OCT图像，然后基于螺丝孔31的OCT图像对螺丝孔31进行检测；具体是对手机框30上所有的螺丝孔31进行扫描探测并接受探测信号，然后再对探测信号做数据处理，进而判断手机框30的螺丝孔31中是否有胶水残留或者加工金属屑残留等。

根据上述可知，第一组件20可平动，可使旋转反射镜202的反射点位于不同抛物线反射镜组40对应的抛物线的焦点；旋转反射镜202可旋转；如此，可使测量光入射至任意一组抛物线反射镜组40及其对应的等光程传播单元组50。各个抛物线反射镜70均分布于抛物线701，旋转反射镜202的反射点比如中心位于抛物线的焦点O1，旋转反射镜202在焦点O1将测量光照射至各个抛物线反射镜70，作为等光程传播单元220的反射镜位于经抛物线701反射后的等光程直线L0，再根据各个待测样品的位置来设定等光程传播单元220的角度，如此，测量光从旋转反射镜202经各个抛物线反射镜70后，再到各个抛物线反射镜70相应的等光程传播单元220的光程均相等，可使得入射手机框30内部所有待测样品也即螺丝孔31的光路等光程。多组抛物线反射镜组40和多组等光程传播单元组50的设置，利用抛物线特性，可方便地根据螺丝孔31的位置设置光路中光学器件比如反射镜的位置，使得样品臂300到不同位置的螺丝孔31的光程相等，实现通过单部OCT设备即可对所有分布在不同空间位置的螺丝孔31进行检测，从而起到快速扫描手机框30内部所有螺丝孔31的作用。本实施例可以实现待测样品上不同方位不同角度的位置的检测，可实现工业检测自动化，可提高工业检测的准确率。

根据采集的螺丝孔31内部的二维扫描OCT图像，能够识别螺丝孔31的底部或侧壁是否存在杂质、胶水残留或金属加工残留物等，可提高检测的准确率。不同光路错开设置，可避免光学器件挡光的现象。

在其它实施例中，从旋转反射镜202出射的光经过抛物线701的焦点O1，而后经过抛物线反射镜70和相应的等光程传播单元220，这样也可使测量n个螺丝孔31的样品臂光程是基本相等的。

在其它实施例中，等光程传播单元220包括多个反射镜。这样，工业OCT检测装置可适用于对空间位置分布更加复杂的待测样品进行检测。

参考图5，本实施例的四组抛物线反射镜组分为长边抛物线反射镜组40和短边抛物线反射镜组40。长边抛物线反射镜组40的光路和短边抛物线反射镜组40的光路在空间中错开，比如四条抛物线在空间中的位置错开。四组等光程传播单元组50分为长边等光程传播单元组50和短边等光程传播单元组50。长边等光程传播单元组50的光路和短边等光程传播单元组50的光路在空间中错开。如此，可避免光路交叉所带来的影响。

以手机框30为例。参考图5，手机框30是矩形的，分为两条长边和两条短边；参考图5，两条长边分别为左右长边，两条短边分别为上下短边。相应的，长边抛物线反射镜组40和短边抛物线反射镜组40的组数均为两组；长边等光程传播单元组50和短边等光程传播单元组50的组数也均为两组。

参考图5，为了同时实现对手机框30的四条框边的多个螺丝孔的检测，针对四条框边设置了四条抛物线701A、701B、701C和701D。为了让抛物线反射镜不重叠，影响抛物线反射镜布置，可将长边抛物线反射镜组40和短边抛物线反射镜组40分布于不同的平面上，各平面均平行于手机框边。通过第一组件20的平动，使得经旋转反射镜202反射的光打到不同的抛物线反射镜上。

两组长边抛物线反射镜组40和两组长边等光程传播单元组50用于对位于手机框30的两条长边的待测样品进行检测；示例的，参考图4和图5，长边抛物线反射镜组40置于手机框30的长边上方一定距离处，长边等光程传播单元组50则将长边抛物线反射镜组40反射的光照射至指定的待测样品。

两组短边抛物线反射镜组40和两组短边等光程传播单元组50用于对位于手机框30的两条短边的待测样品进行检测；示例的，参考图5，短边抛物线反射镜组40置于手机框30的短边上方一定距离处，短边等光程传播单元组50则将短边抛物线反射镜组40反射的光照射至指定的待测样品。

参考图4，长边等光程传播单元组50的等光程传播单元为长边等光程传播单元220；长边等光程传播单元220包括多个反射镜，分别为第一长边反射镜205和第二长边反射镜204。对于手机框30左边的长边等光程传播单元组50，各个第一长边反射镜205位于同一条直线上，参考图3和图5，该直线为左边抛物线701A的等光程直线。对于手机框30右边的长边等光程传播单元组50，各个第一长边反射镜205位于同一条直线上，参考图5，该直线为右边抛物线701B的等光程直线。光线经过长边抛物线反射镜组40的抛物线反射镜70后会再经过第一长边反射镜205和第二长边反射镜204反射入螺丝孔31中。如此，可以保证每一束进入不同螺丝孔31中的光线的总光程是一致的。

参考图5和图4，左边抛物线701A上的长边抛物线反射镜组40的抛物线反射镜70全部放置于手机框30的左边上方一定距离处，那么测量光经过抛物线反射镜70反射后，打向手机框30右侧的上方，测量光反射至手机框30内部上方某处放置的第一长边反射镜205，测量光再反射至与螺丝孔31正对的第二长边反射镜204，如此，将测量光二次反射，测量光即可照射至手机框30左边的螺丝孔中。

同理，参考图5和图4，右边抛物线701B上的长边抛物线反射镜组40的抛物线反射镜70全部放置于手机框30的右边上方一定距离处，那么测量光经过长边抛物线反射镜组40的抛物线反射镜70打向手机框30左侧的上方，测量光反射至手机框30内部上方某处放置的第一长边反射镜205，测量光再反射至与螺丝孔31正对的第二长边反射镜204，如此，将测量光二次反射，测量光即可照射至手机框30右边的螺丝孔中。

参考图2，短边等光程传播单元组50的等光程传播单元为短边等光程传播单元220；短边等光程传播单元220为一个反射镜。对于手机框30上边的短边等光程传播单元组50，各个短边等光程传播单元220位于同一条直线上，参考图3和图5，该直线为上边抛物线701C的等光程直线。对于手机框30下边的短边等光程传播单元组50，各个短边等光程传播单元220位于同一条直线上，参考图5，该直线为下边抛物线701D的等光程直线。测量光经过短边抛物线反射镜组40的抛物线反射镜70后会再经过短边等光程传播单元220反射入螺丝孔中。如此，可以保证每一束进入不同螺丝孔31中的光线的总光程是一致的。

参考图5和图2，上边抛物线701C上的短边抛物线反射镜组40的抛物线反射镜70全部放置于手机框30的上边的上方一定距离处，按抛物线形逐个摆放，参考图2，测量光先射向短边等光程传播单元220，再由短边等光程传播单元220射向螺丝孔。

同理，参考图5和图2，下边抛物线701D上的短边抛物线反射镜组40的抛物线反射镜70全部放置于手机框30的下边的上方一定距离处，按抛物线形逐个摆放，参考图2，测量光先射向短边等光程传播单元220，再由短边等光程传播单元220射向螺丝孔。

这样，当旋转反射镜202旋转时，测量光就会照射至每一个螺丝孔中，获得相应的干涉信号，通过使用相关的算法进行数据分析，可判断螺丝孔中是否有胶水残留。如果手机框30的螺丝孔的位置发生了变化，只需要改动相应反射镜在抛物线上的位置即可获得信号，便可对不同的手机框30进行检测。

在其它实施例中，短边等光程传播单元220包括多个反射镜。

本实施例的基于抛物线的工业OCT检测装置还包括流水线(图未示出)和定位设备(图未示出)。流水线用于快速切换手机框30，以使不同的手机框30轮流被工业OCT检测装置检测。定位设备用于使各个手机框30定位到相同的位置。

本申请实施例采用一套组合反射镜组，结合一套OCT系统，对OCT光源发出的光进行反射，打入手机框的螺丝孔中；利用测量光对待检测工业产品(比如手机框)进行扫描，并接收返回的测量光信号，再对接收的测量光信号进行处理，从而检测待检测工业产品是否符合要求。检测装置进行扫描时，在短时间内就可扫过手机壳的每个螺丝孔，并能准确获得反射信号。本申请实施例可实现工业检测自动化，便于控制，节省人力、时间，且可实现工业检测判断标准的统一，从而可提高工业检测的准确率。

本领域普通技术人员可以理解实现实施例方法中的全部或部分流程，可以由计算机程序来指令相关的硬件完成，程序可存储于计算机可读取存储介质中，程序在执行时，可包括如各方法实施例的流程。而前述的存储介质包括：ROM或随机存储记忆体RAM、磁碟或者光盘等各种可存储程序代码的介质。

以上内容是结合具体/优选的实施方式对本申请所作的进一步详细说明，不能认定本申请的具体实施只局限于这些说明。对于本申请所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，其还可以对这些已描述的实施方式做出若干替代或变型，而这些替代或变型方式都应当视为属于本申请的保护范围。

Claims (10)

1.一种基于抛物线的工业OCT检测装置，其特征在于：包括样品臂；所述样品臂包括第一组件、多组抛物线反射镜组和多组等光程传播单元组；每组所述抛物线反射镜组对应一组所述等光程传播单元组；

所述第一组件包括沿光的入射方向设置的光束整形单元和旋转反射镜；

每组所述抛物线反射镜组包括多个抛物线反射镜；每组所述等光程传播单元组包括多个等光程传播单元；各组所述抛物线反射镜组分别位于不同的抛物线；

所述第一组件可运动；所述旋转反射镜可旋转；从而可使光入射至任意一组所述抛物线反射镜组；

所述等光程传播单元用于将所述抛物线反射镜反射的光照射至待测样品；所述抛物线反射镜和所述等光程传播单元在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。

2.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述等光程传播单元组的各个所述等光程传播单元的至少一部分位于同一条直线上；所述直线与所述抛物线反射镜组对应的所述抛物线的准线重合，或者所述直线与所述抛物线反射镜组对应的所述抛物线的准线平行且垂直于所述抛物线的对称轴。

3.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述旋转反射镜的反射点可位于不同的所述抛物线的焦点或者从所述旋转反射镜出射的光可经过不同的所述抛物线的焦点。

4.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述第一组件可沿自身的光轴平动；通过所述第一组件的所述平动以及所述旋转反射镜的所述旋转，可实现对所述待测样品的二维OCT检测。

5.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述旋转反射镜可绕所述第一组件的光轴旋转；或者，所述旋转反射镜可绕光的入射点向任意方向转动。

6.根据权利要求2所述的工业OCT检测装置，其特征在于：各个所述等光程传播单元包括多个反射镜；各个所述等光程传播单元的一个所述反射镜位于所述直线上。

7.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：各个所述等光程传播单元为一个反射镜。

8.根据权利要求6或7所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述反射镜的具体形式包括直角棱镜和平面反射镜。

9.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述光束整形单元包括沿光的入射方向设置的一个或多个透镜；所述光束整形单元还包括光纤头，所述光纤头用于与光纤连接以使光照射至所述透镜。

10.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述多组抛物线反射镜组的光路错开；所述多组等光程传播单元组的光路错开。

Images