CN211426243U - 工业oct检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开一种工业OCT检测装置。所述装置包括样品臂；所述样品臂包括探头组件；所述探头组件包括光束整形单元、扫描机构和多个等光程光传播单元；所述等光程光传播单元用于使光照射至待测样品；所述等光程光传播单元包括沿光的入射方向依次设置的第一反射镜和末端反射镜；各个所述第一反射镜位于同一个第一虚拟曲面上且所述第一虚拟曲面具有第一定点；所述第一反射镜和所述末端反射镜在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。本申请可实现快速检测以及可提高准确率，便于控制。

Description

工业OCT检测装置

技术领域

本申请涉及光学相干层析成像(OCT，Optical Coherence Tomography)技术领域，特别涉及一种工业OCT检测装置。

背景技术

品质控制已成为制造业最重要的工作之一，提高品控工作的效率和质量是提高产品品质从而扩大产品市场占有率的重要抓手。

工业检测一般通过人工进行检测，例如检测手机框边的螺丝孔中的胶水残留或者加工残留的金属屑等。品控人员将手机框边放在高倍显微镜下，用肉眼观察每一个螺丝孔并判断是否有胶水残留。对于手机框边内部的螺丝孔的检测，螺丝孔数量多、孔小且深度深，常见的工业检测方式严重依赖人力，需要耗费大量的人力以及需要花费较长时间，使得检测速度慢，准确率取决于品控人员责任心，出错率高。

以上背景技术内容的公开仅用于辅助理解本申请的发明构思及技术方案，其并不必然属于本申请的现有技术，在没有明确的证据表明上述内容在本申请的申请日已经公开的情况下，上述背景技术不应当用于评价本申请的新颖性和创造性。

实用新型内容

本申请提供一种工业OCT检测装置及方法，可实现快速检测以及可提高准确率。

第一方面，本申请实施例提供一种工业OCT检测装置，包括样品臂；所述样品臂包括探头组件；所述探头组件包括光束整形单元、扫描机构和多个等光程光传播单元；

所述光束整形单元和所述扫描机构沿光的入射方向设置；所述扫描机构可使光入射至任意一个所述等光程光传播单元；所述等光程光传播单元用于使光照射至待测样品；

所述等光程光传播单元包括沿光的入射方向依次设置的第一反射镜和末端反射镜；

各个所述第一反射镜位于同一个第一虚拟曲面上且所述第一虚拟曲面具有第一定点；

所述第一反射镜和所述末端反射镜在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。

在一种可能的实现方式中，所述等光程光传播单元还包括第二反射镜；所述第二反射镜设置在所述扫描机构和所述第一反射镜之间；

所述第一反射镜、所述第二反射镜和所述末端反射镜在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。

在一种可能的实现方式中，所述扫描机构的中心位于所述第一定点；或者，从所述扫描机构出射的光经过所述第一定点。

在一种可能的实现方式中，各个所述末端反射镜位于同一个平面。

在一种可能的实现方式中，所述第一虚拟曲面为抛物面；各个所述末端反射镜位于同一个平面，所述平面垂直于所述抛物面的对称轴且与所述抛物面的准线平行或重合。

在一种可能的实现方式中，所述第二反射镜位于同一个第二虚拟曲面上且所述第二虚拟曲面具有第二定点和第三定点；

所述第一定点与所述第三定点重合；

所述扫描机构的中心位于所述第二定点，或者从所述扫描机构出射的测量光经过所述第二定点。

在一种可能的实现方式中，所述第二虚拟曲面为椭球面。

在一种可能的实现方式中，光从所述扫描机构经过各个所述第二反射镜反射到所述第三定点的光程均相等。

在一种可能的实现方式中，所述光束整形单元包括沿光的入射方向依次设置的光纤准直镜和物镜。

在一种可能的实现方式中，所述第一反射镜和所述末端反射镜的数量均为m，所述待测样品的数量为n，m≤n。

在一种可能的实现方式中，所述末端反射镜位于所述第一反射镜的下方。

在一种可能的实现方式中，所述末端反射镜为直角棱镜或平面反射镜。

在一种可能的实现方式中，所述第一反射镜和所述末端反射镜的反射面的形式包括平面和曲面。

在一种可能的实现方式中，所述扫描机构的具体形式包括一维扫描机构、二维扫描机构和三维扫描机构。

第二方面，本申请实施例提供一种工业检测方法，该方法采用上述工业OCT检测装置获得待测样品的OCT图像并基于所述待测样品的OCT图像对所述待测样品进行检测。

第三方面，本申请实施例提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质中存储有程序指令，所述程序指令被计算机的处理器执行时，使所述处理器执行上述方法。

与现有技术相比，本申请的有益效果有：

扫描机构可在设定角度范围内转动，从而可使测量光入射至任意一个等光程光传播单元。各个等光程光传播单元的第一反射镜分布于第一虚拟曲面，对扫描机构的位置进行设置，使扫描机构在指定的位置将测量光照射至位于第一虚拟曲面上的第一反射镜，再根据各个待测样品的位置来设定末端反射镜的位置及角度，各个等光程光传播单元可形成折转光路。如此，可使得入射所有待测样品的光路等光程，实现通过单部OCT设备即可对所有分布在不同位置的待测样品进行检测，从而起到快速扫描所有待测样品的作用。此外，本申请实施例可实现光路的简化，便于控制。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或背景技术中的技术方案，下面将对本申请实施例或背景技术中所需要使用的附图进行说明。

图1为本申请第一实施例的工业OCT检测装置的结构示意图；

图2从一个角度示出本申请第一实施例的工业OCT检测装置的一部分光路；

图3从另一个角度示出本申请第一实施例的工业OCT检测装置的一部分光路；

图4为本申请第二实施例的工业OCT检测装置的结构示意图；

图5从一个角度示出本申请第二实施例的工业OCT检测装置的一部分光路；

图6从另一个角度示出本申请第二实施例的工业OCT检测装置的一部分光路；

图7为本申请第一实施例的手机框的结构示意图；

图8示出本申请第一实施例的末端反射镜与手机框的相对位置；

图9示出本申请第一实施例的一部分光路的几何关系。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图1至图9对本申请作进一步地详细描述。

本申请的说明书、权利要求书及附图中的术语“第一”和“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

第一实施例

光学相干层析成像(OCT，Optical Coherence Tomography)是一种新兴的光学成像技术，相对于传统的临床成像手段具有分辨率高、成像速度快、无辐射损伤、价格适中、结构紧凑等优点，是基础医学研究和临床诊断应用的重要潜在工具。基于光学相干层析成像的高分辨率和高速成像的特点，在工业检测领域有很好的应用前景。

本实施例提供一种工业OCT检测装置，采用光学相干层析成像技术(OCT)，利用测量光对待检测工业产品进行扫描，并接收返回的测量光信号，再对接收的测量光信号进行处理，从而检测待检测工业产品是否符合要求。参考图7，本实施例以检测手机框30的螺丝孔31是否有胶水残留为例进行说明。在其它实施例中，工业OCT检测装置是对外壳、电路板或者面板上的孔进行检测。

参考图1，本实施例的工业OCT检测装置包括光源101、耦合器102、参考臂200、探测器106、计算机107和样品臂300。

在本实施例中，光源101为弱相干OCT光源；耦合器102为光纤耦合器。

参考图1，参考臂200包括沿光也即参考光入射方向依次设置的参考臂光路透镜104和参考臂反射镜105。

参考图1，在本实施例中，样品臂300包括探头组件20和偏振控制器103。其中，偏振控制器103是可选的。

参考图1，光源101输出的光经过耦合器102分别向样品臂300和参考臂200提供测量光和参考光。参考臂200具有已知长度并通过参考臂反射镜105将参考光反射回到耦合器102中。样品臂300的探头组件20向待测样品提供测量光；其中，待测样品为手机框30的螺丝孔31。来自待测样品散射回来的测量光经过样品臂300，与参考臂200的反射回来的参考光在耦合器102中发生干涉，干涉光被探测器106探测到，再经过计算机107处理，最后显示出被测样品的OCT图像。

参考图1，探头组件20包括光束整形单元210、扫描机构和多个等光程光传播单元220。在本实施例中，扫描机构为二维扫描机构202。在其它实施例中，根据实际需要比如待测样品的特性，扫描机构还可以是一维扫描机构、三维扫描机构或者其它扫描机构。

参考图1，在本实施例中，对于样品臂300，偏振控制器103、光束整形单元210和二维扫描机构202沿光也即测量光的入射方向依次设置。

光束整形单元210用于对来自偏振控制器103的光进行整形，以使光照射至二维扫描机构202。参考图1，在本实施例中，光束整形单元210包括沿测量光的入射方向依次设置的光纤头108和两个透镜，分别为光纤准直镜109和物镜201；在其它实施例中，光束整形单元210包括光纤头108和一个透镜，或者包括光纤头108和三个以上的透镜。

二维扫描机构202存在一定的转动角度范围，能够切换光路以及能进行二维扫描，可使光入射至任意一个等光程光传播单元220，从而可实现对各个待测样品的检测；待测样品是手机框30的螺丝孔31。

等光程光传播单元220用于使光照射至待测样品。各个等光程光传播单元220的光路是错开的。等光程光传播单元220包括沿光也即测量光的入射方向依次设置的第一反射镜70和末端反射镜60；第一反射镜70和末端反射镜60的反射面可以是平面或者曲面，也即第一反射镜70和末端反射镜60可以是平面反射镜或者曲面反射镜。在本实施例中，末端反射镜60为直角棱镜。

参考图1至图3，各个第一反射镜70位于同一个第一虚拟曲面701上且第一虚拟曲面701具有第一定点O1。二维扫描机构202是可转动的，其可使光入射至任意一个第一反射镜70。对二维扫描机构202的位置进行设置，使二维扫描机构202在指定的位置将测量光照射至位于第一虚拟曲面701上的第一反射镜70；具体的实现方式包括：使二维扫描机构202的中心位于第一虚拟曲面701的第一定点O1，也即二维扫描机构202出射的光从第一定点O1照射至各个第一反射镜70；或者，使从二维扫描机构202出射的测量光经过第一虚拟曲面701的第一定点O1。

第一虚拟曲面701为设计的虚拟面，即各个第一反射镜70分布于第一虚拟曲面701。

在本实施例中，第一虚拟曲面701为抛物面，也即各个第一反射镜70分布于该抛物面上；第一反射镜70则为抛物面分布反射镜；第一定点O1为抛物面的焦点。

抛物面上具有多条抛物线。抛物线是指平面内到一个定点(焦点)和一条定直线(准线)距离相等的点的轨迹。

利用抛物面的特性，从抛物面的焦点O1出发，经抛物面反射后的等光程面为平面，该平面垂直于抛物面的对称轴L2且与抛物面的准线L1平行。二维扫描机构202的中心位于抛物面的焦点O1或者使从二维扫描机构202出射的测量光经过抛物面的焦点O1；参考图2，而手机框边30垂直于抛物面的对称轴L2。各个第一反射镜70分布于该抛物面上且针对不同位置的螺丝孔31进行相应的分布，具体是各个第一反射镜70的反射点分布于该抛物面上。各个末端反射镜60位于同一个平面或者同一条直线，具体是位于经抛物面反射后的等光程面P1，其中，该等光程面P1垂直于抛物面的对称轴且与抛物面的准线L1平行。参考图9，准线L1上各个点到等光程面P1的距离是相等的，均为L1P1；对于抛物面上的点A(某个第一反射镜70的反射点)，点A到准线L1的距离AL1与点A到焦点O1的距离AO1是相等的，点A到焦点O1的距离AO1与点A到等光程面P1的距离AP1之和为距离O1AP1，距离O1AP1等于距离L1P1；对于抛物面上的其他点比如B和C，也是距离O1BP1等于距离L1P1以及距离O1CP1等于距离L1P1；也就是说，距离O1AP1、距离O1BP1和距离O1CP1三者是相等的。如此，测量光从二维扫描机构202经各个第一反射镜70后，再到各个第一反射镜70相应的末端反射镜60的光程均相等，从而可使得入射每个螺丝孔30的光程基本相等。

在其它实施例中，等光程面P1垂直于抛物面的对称轴L2且与抛物面的准线L1重合，也能使得测量光从二维扫描机构202经各个第一反射镜70后，再到各个第一反射镜70相应的末端反射镜60的光程均相等。

针对n个螺丝孔31，设置m个等光程光传播单元220。那么，第一反射镜70和末端反射镜60的数量均为m个。一个等光程光传播单元220可检测一个或多个螺丝孔31，因此有m≤n。通过使第一反射镜70的位置及角度与末端反射镜60的位置及角度进行配合，也即设定第一反射镜70的位置及角度和设定末端反射镜60的位置及角度，便能满足测量n个螺丝孔31的样品臂光程是基本相等的。

当进行OCT成像时，经耦合器102向探头光路提供测量光。该测量光先经过偏振控制器103，后经光纤头108出光，先后穿过光纤准直镜109和物镜201，经二维扫描机构202选择对应编号的螺丝孔31的光路，将探测光打到相应的第一反射镜70上，经末端反射镜60反射，最后入射样品。而样品反射及散射光源101的光，经探头组件20回到耦合器102并与参考光发生干涉。耦合器102中的干涉光被探测器106探测到，再经过计算机107处理，最后显示出各个螺丝孔31的OCT图像，从而可获得各个螺丝孔31的OCT图像。

相应的，本实施例还提供一种工业检测方法。该方法采用本实施例的工业OCT检测装置获得螺丝孔31的OCT图像，然后基于螺丝孔31的OCT图像对螺丝孔31进行检测；具体是对手机框30上所有的螺丝孔31进行扫描探测并接受探测信号，然后再对探测信号做数据处理，进而判断手机框30的螺丝孔31中是否有胶水残留或者加工金属屑残留等。

根据上述可知，二维扫描机构202可在设定角度范围内转动，从而可使测量光入射至任意一个等光程光传播单元220。各个等光程光传播单元220的第一反射镜70分布于第一虚拟曲面701，且第一虚拟曲面701具有第一定点O1，对二维扫描机构202的位置进行设置，使二维扫描机构202在指定的位置将测量光照射至位于第一虚拟曲面701上的第一反射镜70，再根据各个待测样品的位置来设定末端反射镜60的位置及角度，各个等光程光传播单元220可形成折转光路。如此，可使得入射手机框30内部所有待测样品也即螺丝孔31的光路等光程，实现通过单部OCT设备即可对所有分布在不同位置的螺丝孔31进行检测，从而起到快速扫描手机框30内部所有螺丝孔31的作用。本实施例可实现光路的简化，便于第一反射镜70分布的设置以及便于机械结构的设计及加工。

根据采集的螺丝孔31内部的二维扫描OCT图像，能够识别螺丝孔31的底部或侧壁是否存在杂质、胶水残留或金属加工残留物等，可提高检测的准确率。基于空间自由分布的光学器件，可实现不同光路错开设置，可避免光学器件挡光的现象。

图8示出末端反射镜60与螺丝孔31的分布。末端反射镜60反射测量光并使测量光入射至待测样品也即螺丝孔31。一种较简单的设置是：测量光第一反射镜70反射后，垂直于手机框30所在的平面出射，再经末端反射镜60反射后，垂直入射到螺丝孔31的端面；具体的，第一反射镜70位于末端反射镜60的垂直于手机框30方向的上方。这样可以方便地设置第一反射镜70和末端反射镜60。

在其它实施例中，第一虚拟曲面701为椭圆面，即各个第一反射镜70的入射点位于椭圆面上；第一反射镜70则为椭圆面分布反射镜。二维扫描机构202的中心位于椭圆面的一个焦点或者使从二维扫描机构202出射的测量光经过椭圆面的一个焦点，将一个可将使测量光照射至各个末端反射镜60的光学元件设置在椭圆面的另一个焦点，如此，也可使测量各个待测样品的样品臂光程相等。

在光束整形单元210包括多个透镜的实施例中，二维扫描机构202位于两个透镜之间，示例的，二维扫描机构202位于光纤准直镜109和物镜201之间；光纤准直镜109出射的光准直入射二维扫描机构202，再依次经物镜201和等光程光传播单元220，最后聚焦于螺丝孔，即光束聚焦于待测样品以进行检测。

在其它实施例中，至少有一部分末端反射镜60位于不同的平面，对末端反射镜60的位置和角度进行调整，使得测量光从二维扫描机构202经各个第一反射镜70后，再到各个第一反射镜70相应的末端反射镜60的光程均相等。

第二实施例

参考图4，本实施例与第一实施例的区别在于：本实施例的等光程光传播单元220还包括第二反射镜80；第二反射镜80设置在二维扫描机构202和第一反射镜70之间。其中，第二反射镜80的反射面可以是平面或者曲面，也即第二反射镜80可以是平面反射镜或者曲面反射镜。

针对n个螺丝孔31，设置m个等光程光传播单元220。那么，第二反射镜80、第一反射镜70和末端反射镜60的数量均为m个。

参考图4至图6，各个第二反射镜80位于同一个第二虚拟曲面802上且第二虚拟曲面802具有第二定点O2和第三定点O3。第二虚拟曲面802为设计的虚拟面。各个第二反射镜80的反射点分布于第二虚拟曲面802。

第一虚拟曲面701的第一定点O1与第二虚拟曲面802的第三定点O3重合。

二维扫描机构202是可转动的，其可使光入射至任意一个第二反射镜80。二维扫描机构202的中心位于第二虚拟曲面802的第二定点O2。二维扫描机构202在第二定点O2将测量光照射至位于第二虚拟曲面802上的第二反射镜80。第二反射镜80将测量光反射至位于第一虚拟曲面701的第一反射镜70且测量光经过第一虚拟曲面701的第一定点O1或者说经过第二虚拟曲面802的第三定点O3。测量光从二维扫描机构202经过各个第二反射镜80到第三定点O3的光程均相等。根据各个待测样品的位置对末端反射镜60的位置及角度进行设定。如此，第一反射镜70、第二反射镜80和末端反射镜60在空间中的位置和角度可使测量各个待测样品的样品臂光程相等。

当进行OCT成像时，经耦合器102向探头光路提供测量光。该测量光先经过偏振控制器103，后经光纤头108出光，先后穿过光纤准直镜109和物镜201，经二维扫描机构202选择对应编号的螺丝孔31的光路，将测量光打到相应的第二反射镜80上，又经第一反射镜70及末端反射镜60反射，最后入射样品。而样品反射及散射OCT光源的光，经探头组件20回到耦合器102。

在本实施例中，第二虚拟曲面802为椭球面，也即各个第二反射镜80分布于该椭球面上；第二反射镜80则为椭球面分布反射镜；第二定点O2为椭球面的上焦点；第三定点03为椭球面的下焦点。那么，二维扫描机构202的中心位于椭球面的上焦点(也即第二定点O2)；椭球面的下焦点与抛物面也即第一虚拟面的焦点重合；椭球面的长轴(或短轴)与抛物面的对称轴L2重合。

从二维扫描机构202出射的测量光，经位于椭球面的各个第二反射镜80反射后，各个第二反射镜80反射光束的主光轴会聚于椭球面的下焦点也即第三定点03。之后光束又经位于抛物面上的第一反射镜70反射，由末端反射镜60反射，最后入射样品。椭球面上具有多个椭圆。椭圆是平面内到两个定点的距离之和等于常数的动点的轨迹，因此，测量光从二维扫描机构202经过各个第二反射镜80到第三定点03的光程均相等。

测量光从椭球面的上焦点(也即第二定点O2)出发，经椭球面上的第二反射镜80反射后，光束穿过椭球面的下焦点(也即第三定点O3)，其所经过的光程是个固定值，与椭球面参数有关的固定值。测量光从抛物面焦点出发，经抛物面上的第一反射镜70反射后的等光程面为平面。参考图5和图6，将二维扫描机构202的中心设置于椭球面的上焦点(也即第二定点O2)，让椭球面的下焦点(也即第三定点O3)设置成与抛物面的焦点重合，且椭球面的长轴(或短轴)与抛物面的对称轴L2重合。手机框30垂直于抛物面的对称轴L2。第一反射镜70针对不同位置的螺丝孔31进行相应的分布；各个末端反射镜60位于同一个平面，具体是位于经抛物面反射后的等光程面P1；那么，测量光从第三定点03经过抛物面上的各个第一反射镜70到对应的末端反射镜60的光程也均相等。这样设置第二反射镜80和第一反射镜70，使得入射每个螺丝孔31的光程基本相等，也就可使到达所有螺丝孔31的样品臂光路的光程均相等。

在本实施例中，末端反射镜60位于第一反射镜70的下方；具体的，第一反射镜70位于末端反射镜60的垂直于手机框30方向的上方。这样便于设置光路。

对于手机框30，有些螺丝孔为通孔，有些螺丝孔为盲孔，因此探头组件20从手机框30的内部扫描螺丝孔。

在其它实施例中，使从二维扫描机构202出射的测量光经过第二定点O2，测量光从第二定点O2(椭球面的上焦点)经过各个第二反射镜80到第三定点03的光程也均相等，测量光从第三定点03经过抛物面上的各个第一反射镜70到对应的末端反射镜60的光程也均相等，从而使得到达所有螺丝孔31的样品臂光路的光程均相等。

在其它实施例中，至少有一部分末端反射镜60位于不同的平面，对末端反射镜60的位置和角度进行调整以使得到达所有螺丝孔31的样品臂光路的光程均相等。

本实施例的工业OCT检测装置还包括流水线(图未示出)和定位设备(图未示出)。流水线用于快速切换手机框30，以使不同的手机框30轮流被工业OCT检测装置检测。定位设备用于使各个手机框30定位到相同的位置。

本申请实施例采用二维扫描机构配合反射镜阵列及空间分布的反射镜来折转光路，使得入射手机框30内部所有螺丝孔的光路等光程，可实现通过单部OCT设备对所有分布在不同位置的螺丝孔进行检测；由于切换时间短，故无信号区域占比时间短，可提高有效采样率，可提高检测速度；可以实现样品上不同方位或不同角度的部位的快速检测，从而实现快速检测工业产品的加工质量；可实现工业检测自动化，便于控制，节省人力、时间，且可实现工业检测判断标准的统一，从而可提高工业检测的准确率。

本领域普通技术人员可以理解实现实施例方法中的全部或部分流程，可以由计算机程序来指令相关的硬件完成，程序可存储于计算机可读取存储介质中，程序在执行时，可包括如各方法实施例的流程。而前述的存储介质包括：ROM或随机存储记忆体RAM、磁碟或者光盘等各种可存储程序代码的介质。

以上内容是结合具体/优选的实施方式对本申请所作的进一步详细说明，不能认定本申请的具体实施只局限于这些说明。对于本申请所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，其还可以对这些已描述的实施方式做出若干替代或变型，而这些替代或变型方式都应当视为属于本申请的保护范围。

Claims (10)

1.一种工业OCT检测装置，其特征在于：包括样品臂；所述样品臂包括探头组件；所述探头组件包括光束整形单元、扫描机构和多个等光程光传播单元；

所述光束整形单元和所述扫描机构沿光的入射方向设置；所述扫描机构可使光入射至任意一个所述等光程光传播单元；所述等光程光传播单元用于使光照射至待测样品；

所述等光程光传播单元包括沿光的入射方向依次设置的第一反射镜和末端反射镜；

各个所述第一反射镜位于同一个第一虚拟曲面上且所述第一虚拟曲面具有第一定点；

所述第一反射镜和所述末端反射镜在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。

2.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述等光程光传播单元还包括第二反射镜；所述第二反射镜设置在所述扫描机构和所述第一反射镜之间；

所述第一反射镜、所述第二反射镜和所述末端反射镜在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。

3.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述扫描机构的中心位于所述第一定点；或者，从所述扫描机构出射的光经过所述第一定点。

4.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述第一虚拟曲面为抛物面；各个所述末端反射镜位于同一个平面，所述平面垂直于所述抛物面的对称轴且与所述抛物面的准线平行或重合。

5.根据权利要求2所述的工业OCT检测装置，其特征在于：

所述第二反射镜位于同一个第二虚拟曲面上且所述第二虚拟曲面具有第二定点和第三定点；

所述第一定点与所述第三定点重合；

所述扫描机构的中心位于所述第二定点，或者从所述扫描机构出射的测量光经过所述第二定点。

6.根据权利要求5所述的工业OCT检测装置，其特征在于：光从所述扫描机构经过各个所述第二反射镜反射到所述第三定点的光程均相等；所述第二虚拟曲面为椭球面。

7.根据权利要求2所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述末端反射镜位于所述第一反射镜的下方。

8.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：各个所述末端反射镜位于同一个平面；所述第一反射镜和所述末端反射镜的数量均为m，所述待测样品的数量为n，m≤n。

9.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述第一反射镜和所述末端反射镜的反射面的形式包括平面和曲面；所述末端反射镜为直角棱镜或平面反射镜；所述光束整形单元包括沿光的入射方向依次设置的光纤准直镜和物镜。

10.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述扫描机构的具体形式包括一维扫描机构、二维扫描机构和三维扫描机构。

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