CN211402476U - 一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种探针台用探针卡固定机构，包括框体、夹板、夹紧机构和调节机构；夹紧机构包括电机、丝杠、延伸板、导板、安装板、限位板、托板、齿板、固定板、转动杆、第一弹簧和压板；调节机构包括齿轮、转轴、手柄、棘轮、棘爪座、螺杆、螺母、棘爪和第二弹簧。本实用新型结构简单，通过夹板的移动方便对探针卡进行夹紧，并通过限位板的设计方便对圆形结构的探针卡限位，有利于探针卡的固定以及定位，两个夹板的同时移动方便对不同大小的探针卡进行固定；本实用新型通过托板的设计方便对探针卡进行支撑，并通过夹紧后托板和压板的同时移动方便探针卡与晶圆的接触，压板的移动也提高探针卡下压时的稳定性，避免探针卡发生移动。

Description

一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构

技术领域

本实用新型涉及一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构，属于探针卡应用技术领域。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的，探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程，因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。

目前的探针卡是在芯片封装前进行测试，发现有不良品存在晶圆当中即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本，对于探针卡的固定机构来说，由于芯片进行测试时需要使用探针卡上的探针与晶圆接触，在进行探针卡的移动时不利于对探针卡进行固定，进行不同大小的探针卡固定时也增加了操作难度；在将探针卡压合在晶圆上时，也可能发生探针卡移动的问题，不利于对探针卡进行压合，也不利于探针卡的放置，造成操作的不便。因此，针对上述问题提出一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种探针台用探针卡固定机构，包括位于框体内部的夹板、夹紧机构和调节机构；

所述夹紧机构包括电机和托板，所述框体侧壁与电机固定连接，所述电机输出端与丝杠固定连接，且丝杠与延伸板贯穿连接，所述框体内壁分别与导板以及安装板固定连接，所述夹板侧壁与限位板固定连接，所述夹板内部底端与托板贯穿连接，所述托板中部与固定板固定连接，且夹板内部与转动杆转动连接，所述转动杆通过第一弹簧与夹板内壁固定连接，且转动杆顶端内部与压板活动连接；

所述调节机构包括齿板和棘爪座，所述齿板与托板顶面固定连接，所述齿板与齿轮啮合连接，所述齿轮与转轴底端固定连接，且转轴顶部分别与手柄以及棘轮固定连接，所述棘爪座与夹板顶面滑动连接，所述棘爪与螺杆贯穿连接，所述螺杆端部与螺母螺纹连接，且棘爪座顶面通过第二弹簧与棘爪固定连接。

优选的，所述框体呈方形空心结构，所述框体内部与两个夹板横向滑动连接，所述夹板两侧的延伸板都与导板之间滑动连接，且导板底端设有用于安装升降机构的安装板。

优选的，所述夹板为空心壳体结构，所述夹板侧壁分别与两个限位板固定连接，每个限位板之间形成有用于探针卡放置的圆形通孔，且夹板底端和顶端分别与托板以及压板滑动连接。

优选的，所述转动杆中部与夹板内部转动连接，所述转动杆底端接触有固定板，所述转动杆顶部开设有呈U形结构的开口，且转动杆顶部的开口内部与压板端部的连接轴滑动连接。

优选的，所述棘爪座与夹板顶面滑动连接，所述棘爪座与螺杆螺纹连接，所述螺杆与夹板顶部贯穿并滑动连接，且螺杆顶部的螺母接触有棘爪座顶面。

优选的，所述所述棘爪座顶面与棘爪转动连接，所述棘爪与棘轮卡接，且棘轮中部的转轴与夹板转动连接。

一种探针台用探针卡固定机构用夹紧机构，包括电机和托板，所述框体侧壁与电机固定连接，所述电机输出端与丝杠固定连接，且丝杠与延伸板贯穿连接，所述框体内壁分别与导板以及安装板固定连接，所述夹板侧壁与限位板固定连接，所述夹板内部底端与托板贯穿连接，所述托板中部与固定板固定连接，且夹板内部与转动杆转动连接，所述转动杆通过第一弹簧与夹板内壁固定连接，且转动杆顶端内部与压板活动连接；

一种探针台用探针卡固定机构用调节机构，包括齿板和棘爪座，所述齿板与托板顶面固定连接，所述齿板与齿轮啮合连接，所述齿轮与转轴底端固定连接，且转轴顶部分别与手柄以及棘轮固定连接，所述棘爪座与夹板顶面滑动连接，所述棘爪与螺杆贯穿连接，所述螺杆端部与螺母螺纹连接，且棘爪座顶面通过第二弹簧与棘爪固定连接。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型结构简单，操作方便，通过夹板的移动方便对探针卡进行夹紧，并通过限位板的设计方便对圆形结构的探针卡限位，有利于探针卡的固定以及定位，两个夹板的同时移动方便对不同大小的探针卡进行固定，提高了操作的便利性；

2、本实用新型通过托板的设计方便对探针卡进行支撑，方便进行放置，并通过夹紧后托板和压板的同时移动方便探针卡与晶圆的接触，压板的移动也提高探针卡下压时的稳定性，避免探针卡发生移动，方便进行操作。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型正视结构示意图；

图2为本实用新型侧视结构示意图；

图3为本实用新型俯视结构示意图。

图中：1、框体，2、夹板，3、电机，4、丝杠，5、延伸板，6、导板，7、安装板，8、限位板，9、托板，10、齿板，11、固定板，12、转动杆，13、第一弹簧，14、压板，15、齿轮，16、转轴，17、手柄，18、棘轮，19、棘爪座，20、螺杆，21、螺母，22、棘爪，23、第二弹簧。

具体实施方式

为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

具体实施例一

以下实施例是本申请探针台用探针卡固定机构的实施例。

请参阅图1-3所示，一种探针台用探针卡固定机构，包括位于框体1内部的夹板2、夹紧机构和调节机构；

所述夹紧机构包括电机3和托板9，所述框体1侧壁与电机3固定连接，所述电机3输出端与丝杠4固定连接，且丝杠4与延伸板5贯穿连接，所述框体1内壁分别与导板6以及安装板7固定连接，所述夹板2侧壁与限位板8固定连接，所述夹板2内部底端与托板9贯穿连接，所述托板9中部与固定板11固定连接，且夹板2内部与转动杆12转动连接，所述转动杆12通过第一弹簧13与夹板2内壁固定连接，且转动杆12顶端内部与压板14活动连接；

所述调节机构包括齿板10和棘爪座19，所述齿板10与托板9顶面固定连接，所述齿板10与齿轮15啮合连接，所述齿轮15与转轴16底端固定连接，且转轴16顶部分别与手柄17以及棘轮18固定连接，所述棘爪座19与夹板2顶面滑动连接，所述棘爪22与螺杆20贯穿连接，所述螺杆20端部与螺母21螺纹连接，且棘爪座19顶面通过第二弹簧23与棘爪22固定连接。

所述框体1呈方形空心结构，所述框体1内部与两个夹板2横向滑动连接，所述夹板2两侧的延伸板5都与导板6之间滑动连接，且导板6底端设有用于安装升降机构的安装板7，便于夹板2的移动，方便对探针卡进行夹紧；所述夹板2为空心壳体结构，所述夹板2侧壁分别与两个限位板8固定连接，每个限位板8之间形成有用于探针卡放置的圆形通孔，且夹板2底端和顶端分别与托板9以及压板14滑动连接，便于探针卡的夹紧，方便托板9和压板14的同时移动；所述转动杆12中部与夹板2内部转动连接，所述转动杆12底端接触有固定板11，所述转动杆12顶部开设有呈U形结构的开口，且转动杆12顶部的开口内部与压板14端部的连接轴滑动连接，便于转动杆12的转动，方便带动压板14横向移动；所述棘爪座19与夹板2顶面滑动连接，所述棘爪座19与螺杆20螺纹连接，所述螺杆20与夹板2顶部贯穿并滑动连接，且螺杆20顶部的螺母21接触有棘爪座19顶面，便于转轴16的限位，避免转轴16的回转；所述所述棘爪座19顶面与棘爪22转动连接，所述棘爪22与棘轮18卡接，且棘轮18中部的转轴16与夹板2转动连接，便于棘轮18的限位，方便对托板9进行限位。

本实用新型在使用时，首先将该装置内的电器元件外接电源和控制开关，将探针卡放置在两个夹板2之间的托板9上，通过托板9对探针卡进行支撑，再通过框体1侧壁的电机3带动丝杠4转动，丝杠4带动延伸板5在导板6之间移动，使得两个夹板2向中心移动，带动两个夹板2同时移动后，通过夹板2将探针卡进行夹紧后电机3停止工作，进而将探针卡轻微夹紧，通过限位板8的设计方便对探针卡进行进行，再转动手柄17，手柄17带动转轴16转动，转轴16带动齿轮15转动后，齿轮15带动齿板10移动，进而带动托板9在夹板2内部横向滑动，使得托板9与探针卡底面分离，此时由两个夹板2的夹持力对探针卡进行固定，托板9横向移动的同时，带动固定板11移动，固定板11接触转动杆12底端后，推动转动杆12转动，使得第一弹簧13拉伸后，转动杆12的顶端带动压板14横向移动，使得压板14移动至探针卡的顶面，对探针卡顶面进行限位，手柄17带动转轴16转动时带动棘轮18同时转动，通过第二弹簧23的弹力使得棘轮18始终与棘爪22贴合，进而对棘轮18的位置进行限位，避免转轴16发生反向转动；

当压板14移动完成后，通过安装板7上的升降机构带动框体1整体在探针台上竖向移动，带动安装板7内部的两个夹板2之间的探针卡竖向移动，使得探针卡上的探针接触晶圆进行测试，此时压板14对探针卡顶部进行限位，避免探针卡下压时发生移动，方便进行操作，当操作完成后，通过框体1竖向移动至原处，将螺母21拧开，使得螺母21与棘爪座19顶面分离，通过移动棘爪座19后，带动棘爪22与棘轮18分离，通过第一弹簧13的弹性拉动压板14和托板9移动至原处，两个夹板2反向移动后将托板9上的探针卡取出。

具体实施例二

以下实施例是本申请探针台用探针卡固定机构用夹紧机构的实施例。

一种探针台用探针卡固定机构用夹紧机构，包括电机3和托板9，所述框体1侧壁与电机3固定连接，所述电机3输出端与丝杠4固定连接，且丝杠4与延伸板5贯穿连接，所述框体1内壁分别与导板6以及安装板7固定连接，所述夹板2侧壁与限位板8固定连接，所述夹板2内部底端与托板9贯穿连接，所述托板9中部与固定板11固定连接，且夹板2内部与转动杆12转动连接，所述转动杆12通过第一弹簧13与夹板2内壁固定连接，且转动杆12顶端内部与压板14活动连接。

具体实施例三

以下实施例是本申请探针台用探针卡固定机构用调节机构的实施例。

一种探针台用探针卡固定机构用调节机构，包括齿板10和棘爪座19，所述齿板10与托板9顶面固定连接，所述齿板10与齿轮15啮合连接，所述齿轮15与转轴16底端固定连接，且转轴16顶部分别与手柄17以及棘轮18固定连接，所述棘爪座19与夹板2顶面滑动连接，所述棘爪22与螺杆20贯穿连接，所述螺杆20端部与螺母21螺纹连接，且棘爪座19顶面通过第二弹簧23与棘爪22固定连接。

需要说明的是，本申请涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的得同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.一种探针台用探针卡固定机构，其特征在于：包括位于框体（1）内部的夹板（2）、夹紧机构和调节机构；

所述夹紧机构包括电机（3）和托板（9），所述框体（1）侧壁与电机（3）固定连接，所述电机（3）输出端与丝杠（4）固定连接，且丝杠（4）与延伸板（5）贯穿连接，所述框体（1）内壁分别与导板（6）以及安装板（7）固定连接，所述夹板（2）侧壁与限位板（8）固定连接，所述夹板（2）内部底端与托板（9）贯穿连接，所述托板（9）中部与固定板（11）固定连接，且夹板（2）内部与转动杆（12）转动连接，所述转动杆（12）通过第一弹簧（13）与夹板（2）内壁固定连接，且转动杆（12）顶端内部与压板（14）活动连接；

所述调节机构包括齿板（10）和棘爪座（19），所述齿板（10）与托板（9）顶面固定连接，所述齿板（10）与齿轮（15）啮合连接，所述齿轮（15）与转轴（16）底端固定连接，且转轴（16）顶部分别与手柄（17）以及棘轮（18）固定连接，所述棘爪座（19）与夹板（2）顶面滑动连接，所述棘爪（22）与螺杆（20）贯穿连接，所述螺杆（20）端部与螺母（21）螺纹连接，且棘爪座（19）顶面通过第二弹簧（23）与棘爪（22）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种探针台用探针卡固定机构，其特征在于：所述框体（1）呈方形空心结构，所述框体（1）内部与两个夹板（2）横向滑动连接，所述夹板（2）两侧的延伸板（5）都与导板（6）之间滑动连接，且导板（6）底端设有用于安装升降机构的安装板（7）。

3.根据权利要求1所述的一种探针台用探针卡固定机构，其特征在于：所述夹板（2）为空心壳体结构，所述夹板（2）侧壁分别与两个限位板（8）固定连接，每个限位板（8）之间形成有用于探针卡放置的圆形通孔，且夹板（2）底端和顶端分别与托板（9）以及压板（14）滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种探针台用探针卡固定机构，其特征在于：所述转动杆（12）中部与夹板（2）内部转动连接，所述转动杆（12）底端接触有固定板（11），所述转动杆（12）顶部开设有呈U形结构的开口，且转动杆（12）顶部的开口内部与压板（14）端部的连接轴滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种探针台用探针卡固定机构，其特征在于：所述棘爪座（19）与螺杆（20）螺纹连接，所述螺杆（20）与夹板（2）顶部贯穿并滑动连接，且螺杆（20）顶部的螺母（21）接触有棘爪座（19）顶面。

6.根据权利要求1所述的一种探针台用探针卡固定机构，其特征在于：所述棘爪座（19）顶面与棘爪（22）转动连接，所述棘爪（22）与棘轮（18）卡接，且棘轮（18）中部的转轴（16）与夹板（2）转动连接。

7.一种探针台用探针卡固定机构用夹紧机构，其特征在于：包括电机（3）和托板（9），框体（1）侧壁与电机（3）固定连接，所述电机（3）输出端与丝杠（4）固定连接，且丝杠（4）与延伸板（5）贯穿连接，所述框体（1）内壁分别与导板（6）以及安装板（7）固定连接，夹板（2）侧壁与限位板（8）固定连接，所述夹板（2）内部底端与托板（9）贯穿连接，所述托板（9）中部与固定板（11）固定连接，且夹板（2）内部与转动杆（12）转动连接，所述转动杆（12）通过第一弹簧（13）与夹板（2）内壁固定连接，且转动杆（12）顶端内部与压板（14）活动连接。

8.一种探针台用探针卡固定机构用调节机构，其特征在于：包括齿板（10）和棘爪座（19），所述齿板（10）与托板（9）顶面固定连接，所述齿板（10）与齿轮（15）啮合连接，所述齿轮（15）与转轴（16）底端固定连接，且转轴（16）顶部分别与手柄（17）以及棘轮（18）固定连接，所述棘爪座（19）与夹板（2）顶面滑动连接，棘爪（22）与螺杆（20）贯穿连接，所述螺杆（20）端部与螺母（21）螺纹连接，且棘爪座（19）顶面通过第二弹簧（23）与棘爪（22）固定连接。

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