CN211387485U - 一种用于2dmems探针卡的加工装置、转动机构和限位机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于2DMEMS探针卡的加工装置，包括工作台、底座、转动机构和限位机构；转动机构包括固定架、电机、放置台、弹簧、夹板、线路板和探针卡；限位机构包括第一电动推杆、连接板、固定板、滑块、压板、第二电动推杆、焊接台和焊接头。本实用新型结构简单，操作方便，通过夹板的设计方便对线路板进行限位，并通过放置板的转动方便带动探针卡旋转，有利于对多个与探针连接的Substrate和线路板之间焊接，提高了操作的效率，有利于进行连续加工；本实用新型通过固定板的移动方便对探针卡的探针脚进行限位，并通过压板的移动方便探针卡的探针脚进行固定，有利于探针卡与线路板之间的连接，避免探针脚发生偏移而影响探针卡的加工，提高加工质量。
Description
技术领域
本实用新型一种用于2DMEMS探针卡的加工装置、转动机构和限位机构属于探针卡应用技术领域。
背景技术
探针卡是晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口，主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量，并筛选出不良芯片后，再进行之后的封装工程，探针卡的使用原理是将探针卡上的探针与芯片上的焊垫或凸块直接接触，导出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测晶圆，它对前期测试的开发及后期量产测试的良率保证都非常重要，是晶圆制造过程中对制造成本影响相当大的重要制程，探针卡加工时，是将探针卡的探针通过树脂与Substrate连接，即采用松耦合连接后将Substrate另一端与线路板之间焊接。
目前的探针卡主要由PCB、探针、ring构成，根据不同的需求，还会有
电子元件、stiffener等的需求，对于探针卡的加工来说，由于探针卡需要将Substrate焊接在线路板上以进行探针卡的连接，在进行Substrate与线路板焊接时不利于进行连续加工，降低了工作效率；且在进行焊接时，不利于对Substrate进行限位，容易发生探针偏移的问题而影响加工，不利于探针卡的加工。因此，针对上述问题提出一种用于2DMEMS探针卡的加工装置、转动机构和限位机构。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于2DMEMS探针卡的加工装置、转动机构和限位机构。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种用于DMEMS探针卡的加工装置，包括安装在工作台底部的底座、转动机构和限位机构；
所述转动机构包括电机和放置台，所述底座内部与电机固定连接，所述电机输出端与放置台固定连接，且放置台侧端开设的开口内部通过弹簧与夹板固定连接；
所述限位机构包括固定架和第一电动推杆，所述工作台顶面与固定架固定连接，所述固定架顶部与第一电动推杆固定连接，且第一电动推杆底端与连接板固定连接，所述连接板底面与固定板固定连接，所述固定板开设的滑槽内部滑块滑动连接，所述滑块与压板侧壁固定连接，且压板顶面与第二电动推杆固定连接。
优选的，所述放置板呈圆形结构，所述放置板侧端分别与四个均匀分布的夹板转动连接，所述夹板之间夹持有线路板边缘，且线路板中部固定连接有用于芯片测试的探针卡。
优选的，所述固定架呈U形结构，所述固定架与工作台边缘固定连接，所述固定架两侧内部分别与两个焊接台固定连接，且焊接台底部设有用于探针和线路板焊接的焊接头。
优选的，所述底座呈U形结构，所述底座内部的电机输出端与工作台贯穿连接，且电机输出端的放置板与工作台顶面转动连接。
优选的，所述连接板底面与第二电动推杆固定连接，所述第二电动推杆底端的压板开设有用于探针下压的凹槽，且压板接触有探针卡。
优选的，所述固定板开设有呈T形结构的滑槽，所述固定板内部分别与两个滑块滑动连接，且两个滑块分别与压板两侧固定连接。
一种用于DMEMS探针卡的加工装置用转动机构，包括电机和放置台，所述底座内部与电机固定连接，所述电机输出端与放置台固定连接，且放置台侧端开设的开口内部通过弹簧与夹板固定连接；
一种用于DMEMS探针卡的加工装置用限位机构，包括固定架和第一电动推杆，所述工作台顶面与固定架固定连接，所述固定架顶部与第一电动推杆固定连接，且第一电动推杆底端与连接板固定连接，所述连接板底面与固定板固定连接，所述固定板开设的滑槽内部滑块滑动连接，所述滑块与压板侧壁固定连接，且压板顶面与第二电动推杆固定连接。
本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型结构简单，操作方便，通过夹板的设计方便对线路板进行限位，并通过放置板的转动方便带动探针卡旋转，有利于对多个与探针连接的Substrate和线路板之间进行焊接，提高了操作的效率，有利于进行连续加工；
2、本实用新型通过固定板的移动方便对探针卡的探针脚进行限位，并通过压板的移动方便探针卡的探针脚进行固定，有利于探针卡与线路板之间的连接，避免探针脚发生偏移而影响探针卡的加工，提高了加工质量。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本实用新型正视结构示意图；
图2为本实用新型侧视结构示意图；
图3为本实用新型俯视结构示意图。
图中：1、工作台，2、底座，3、固定架，4、电机，5、放置台，6、弹簧，7、夹板，8、线路板，9、探针卡，10、第一电动推杆，11、连接板，12、固定板，13、滑块，14、压板，15、第二电动推杆，16、焊接台，17、焊接头。
具体实施方式
为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
具体实施例一
以下实施例是本申请用于2DMEMS探针卡的加工装置的实施例。
请参阅图1-3所示，一种用于2DMEMS探针卡的加工装置，包括安装在工作台1底部的底座2、转动机构和限位机构；
所述转动机构包括电机4和放置台5，所述底座2内部与电机4固定连接，所述电机4输出端与放置台5固定连接，且放置台5侧端开设的开口内部通过弹簧6与夹板7固定连接；
所述限位机构包括固定架3和第一电动推杆10，所述工作台1顶面与固定架3固定连接，所述固定架3顶部与第一电动推杆10固定连接，且第一电动推杆10底端与连接板11固定连接，所述连接板11底面与固定板12固定连接，所述固定板12开设的滑槽内部滑块13滑动连接，所述滑块13与压板14侧壁固定连接，且压板14顶面与第二电动推杆15固定连接。
所述放置板呈圆形结构，所述放置板侧端分别与四个均匀分布的夹板7转动连接，所述夹板7之间夹持有线路板8边缘，且线路板8中部固定连接有用于芯片测试的探针卡9，便于线路板8的限位；所述固定架3呈U形结构，所述固定架3与工作台1边缘固定连接，所述固定架3两侧内部分别与两个焊接台16固定连接，且焊接台16底部设有用于探针和线路板8焊接的焊接头17，便于线路板8与探针卡9之间的电性连接；所述底座2呈U形结构，所述底座2内部的电机4输出端与工作台1贯穿连接，且电机4输出端的放置板与工作台1顶面转动连接，便于放置板的转动，方便带动线路板8和探针卡9旋转；所述连接板11底面与第二电动推杆15固定连接，所述第二电动推杆15底端的压板14开设有用于探针下压的凹槽，且压板14接触有探针卡9，便于对探针卡9的探针脚进行限位，方便进行加工；所述固定板12开设有呈T形结构的滑槽，所述固定板12内部分别与两个滑块13滑动连接，且两个滑块13分别与压板14两侧固定连接，便于压板14的移动，方便对探针卡9的探针脚进行固定。
本实用新型在使用时，首先将该装置内的电器元件外接电源和控制开关，将线路板8放置在放置板上，通过弹簧6的弹力拉动夹板7转动，夹板7围绕放置板边缘转动后将线路板8进行夹紧，再通过底座2内部的电机4带动放置板在工作台1顶面转动，放置板的转动带动线路板8和探针卡9同时转动，再通过固定架3两侧的焊接台16底部的焊接头17对与探针卡9的探针脚连接的Substrate和线路板8之间进行焊接，方便进行连续加工，提高了加工质量；
当放置板带动线路板8转动后，通过固定架3上的第一电动推杆10的伸长带动连接板11竖向移动，连接板11带动固定板12移动至线路板8顶面，放置板带动探针卡9上的探针脚转动时接触固定板12侧壁后停下，再通过第二电动推杆15的伸长带动压板14竖向移动，使得压板14两侧的滑块13在固定板12内部滑动后，压板14接触探针卡9上的探针脚，进而将探针脚下压后，探针脚接触线路板8上的焊接点，方便对探针卡9上的探针脚进行限位，方便进行加工。
具体实施例二
以下实施例是本申请用于2DMEMS探针卡的加工装置用转动机构的实施例。
一种用于2DMEMS探针卡的加工装置用转动机构，包括电机4和放置台5，所述底座2内部与电机4固定连接，所述电机4输出端与放置台5固定连接，且放置台5侧端开设的开口内部通过弹簧6与夹板7固定连接。
具体实施例三
以下实施例是本申请用于2DMEMS探针卡的加工装置用限位机构的实施例。
一种用于2DMEMS探针卡的加工装置用限位机构，包括固定架3和第一电动推杆10，所述工作台1顶面与固定架3固定连接，所述固定架3顶部与第一电动推杆10固定连接，且第一电动推杆10底端与连接板11固定连接，所述连接板11底面与固定板12固定连接，所述固定板12开设的滑槽内部滑块13滑动连接，所述滑块13与压板14侧壁固定连接，且压板14顶面与第二电动推杆15固定连接。
需要说明的是，本申请涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的得同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (8)
1.一种用于2DMEMS探针卡的加工装置，其特征在于：包括安装在工作台（1）底部的底座（2）、转动机构和限位机构；
所述转动机构包括电机（4）和放置台（5），所述底座（2）内部与电机（4）固定连接，所述电机（4）输出端与放置台（5）固定连接，且放置台（5）侧端开设的开口内部通过弹簧（6）与夹板（7）固定连接；
所述限位机构包括固定架（3）和第一电动推杆（10），所述工作台（1）顶面与固定架（3）固定连接，所述固定架（3）顶部与第一电动推杆（10）固定连接，且第一电动推杆（10）底端与连接板（11）固定连接，所述连接板（11）底面与固定板（12）固定连接，所述固定板（12）开设的滑槽内部滑块（13）滑动连接，所述滑块（13）与压板（14）侧壁固定连接，且压板（14）顶面与第二电动推杆（15）固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于2DMEMS探针卡的加工装置，其特征在于：所述放置台（5）呈圆形结构，所述放置台（5）侧端分别与四个均匀分布的夹板（7）转动连接，所述夹板（7）之间夹持有线路板（8）边缘，且线路板（8）中部固定连接有用于芯片测试的探针卡（9）。
3.根据权利要求1所述的一种用于2DMEMS探针卡的加工装置，其特征在于：所述固定架（3）呈U形结构，所述固定架（3）与工作台（1）边缘固定连接，所述固定架（3）两侧内部分别与两个焊接台（16）固定连接，且焊接台（16）底部设有用于探针和线路板（8）焊接的焊接头（17）。
4.根据权利要求1所述的一种用于2DMEMS探针卡的加工装置，其特征在于：所述底座（2）呈U形结构，所述底座（2）内部的电机（4）输出端与工作台（1）贯穿连接，且电机（4）输出端的放置台（5）与工作台（1）顶面转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于2DMEMS探针卡的加工装置，其特征在于：所述连接板（11）底面与第二电动推杆（15）固定连接，所述第二电动推杆（15）底端的压板（14）开设有用于探针下压的凹槽，且压板（14）接触有探针卡（9）。
6.根据权利要求1所述的一种用于2DMEMS探针卡的加工装置，其特征在于：所述固定板（12）开设有呈T形结构的滑槽，所述固定板（12）内部分别与两个滑块（13）滑动连接，且两个滑块（13）分别与压板（14）两侧固定连接。
7.一种用于2DMEMS探针卡的加工装置用转动机构，其特征在于：包括电机（4）和放置台（5），所述底座（2）内部与电机（4）固定连接，所述电机（4）输出端与放置台（5）固定连接，且放置台（5）侧端开设的开口内部通过弹簧（6）与夹板（7）固定连接。
8.一种用于2DMEMS探针卡的加工装置用限位机构，其特征在于：包括固定架（3）和第一电动推杆（10），所述工作台（1）顶面与固定架（3）固定连接，所述固定架（3）顶部与第一电动推杆（10）固定连接，且第一电动推杆（10）底端与连接板（11）固定连接，所述连接板（11）底面与固定板（12）固定连接，所述固定板（12）开设的滑槽内部滑块（13）滑动连接，所述滑块（13）与压板（14）侧壁固定连接，且压板（14）顶面与第二电动推杆（15）固定连接。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201922254898.6U CN211387485U (zh) | 2019-12-16 | 2019-12-16 | 一种用于2dmems探针卡的加工装置、转动机构和限位机构 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201922254898.6U CN211387485U (zh) | 2019-12-16 | 2019-12-16 | 一种用于2dmems探针卡的加工装置、转动机构和限位机构 |
Publications (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118989765A (zh) * | 2024-10-25 | 2024-11-22 | 苏州矽利康测试系统有限公司 | 一种用于探针的焊接设备及焊接工艺 |
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- 2019-12-16 CN CN201922254898.6U patent/CN211387485U/zh active Active
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