CN211394625U - 一种pecvd设备炉体支撑调节机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种PECVD设备炉体支撑调节机构，包括：底座；一对结构相同的调节机构，其分别固定安置于底座上壁面，且分别位于底座前后两端相互对称；还包括:控制箱，所述控制箱固定安置于一对所述其中一个调节机构上，本实用新型涉及PECVD设备技术领域，通过承载环承载炉体的前后两端，并通过翻折紧固环，通过螺栓和螺母的配合使炉体进行夹紧固定；根据推舟送片机的高度，通过控制箱输入，同时控制两个升降结构运动；使螺旋杆同外套筒受力在轴承内转动，进而使安装板在限位限位卡板内带动承载环上的炉体进行升降；该设计不仅可以有效的承载炉体的重量，且依靠电机的传动力使炉体上下升降移动，便于控制以及调节精度较高。

Description

一种PECVD设备炉体支撑调节机构

技术领域

本实用新型涉及PECVD设备技术领域，具体为一种PECVD设备炉体支撑调节机构。

背景技术

PECVD中文全称为离子体增强化学气相淀积，设备主要用于硅片太阳能器件制造中减反射膜的镀膜工艺，炉体是镀膜工艺的反应腔室，需要固定在支撑横梁上；为了保证推舟送片机构顺利进入炉体，就必须将炉体与推舟送片机构的相对位置对准，由于推舟送片机构是固定在送料滑台上的，无法调节，因此只能对炉体位置进行调节；

炉体为圆柱形，长度一般在2米左右，外径一般在0.3-0.6米之间，重量约100-200千克，体积大、重量重，且支撑横梁会占用一定的高度空间，导致炉体的高度较高，进一步增加了炉体位置调节的难度；

现有的炉体支撑调节装置主要包括安装在支撑横梁上的四个坡面支架，调节时需要操作人员手动移动坡面支架，极为费力，调节的距离需要依靠操作人员的经验，非常不准确，且不便于控制，因此针对上述问题深入研究，遂有本案产生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种PECVD设备炉体支撑调节机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种PECVD设备炉体支撑调节机构，包括：

底座；

一对结构相同的调节机构，其分别固定安置于底座上壁面，且分别位于底座前后两端相互对称；

还包括:控制箱，所述控制箱固定安置于一对所述其中一个调节机构上；

所述调节机构，包括：升降结构以及固定结构；

所述升降结构，包括：安装箱、防护箱、两对结构相同的限位卡板、一对结构相同的安装板、承载板、一对结构相同的外套筒、两对结构相同的轴承、一对结构相同的螺旋杆、一对结构相同的受力块、轴架、轴杆、两对结构相同的斜齿轮以及电机；

所述安装箱固定焊接于底座上壁面，且位于前端中心线左侧，所述防护箱固定焊接于底座上壁面前端，且位于安装箱右侧，所述控制箱固定安置于防护箱上壁上，两对所述限位卡板分别相对焊接于安装箱上壁面左右两端，且分别位于中心线前后两侧相互对称，所述承载板其左右两端分别固定焊接于安装箱内左右两侧壁面上，且位于中心线下方，一对所述外套筒其一端分别活动插装于安装箱上壁内，其另一端分别活动插装于承载板内，且分别位于承载板中心线上，并位于左右两端相互对称平行，两对所述轴承分别套装于外套筒两端，且分别嵌装于安装箱上壁与承载板内，并与安装箱上壁和承载板过盈配合，一对所述螺旋杆其一端分别垂直贯穿于外套筒内，且分别与外套筒通过螺钉固定相连，一对所述受力块其中心部位处分别开设有结构相同的螺旋通孔，一对所述受力块分别相对固定焊接与安装板侧壁，且分别套装于螺旋杆另一端上，并与螺旋杆相旋接，所述轴架固定焊接于安装箱内下壁面，且位于中心部位处，所述轴杆其一端分别活动贯穿于轴架两侧，其另一端活动贯穿于安装箱右侧壁，且活动插装于防护箱内，两对所述其中一对斜齿轮分别固定套装于螺纹杆一端上，两对所述其中另一对斜齿轮分别固定套装于轴杆上，且位于轴座两侧，并相互啮合，所述电机固定安置于防护箱内下壁上，且驱动端固定连接于轴杆另一端上。

优选的，所述固定结构，包括：承载环、紧固环、一对结构相同的锁板、螺栓以及螺母；

所述承载环固定焊接于一对所述承载板之间，且位于中心部位处，所述紧固环其一端活动安置于一对所述其中一个承载板顶端上，一对所述其中一个锁板其一端固定焊接于一对所述另一个承载板顶端，且位于左侧壁中心线上，一对所述其中另一个锁板其一端固定焊接于紧固环另一端上，且其中心部位处均开设有结构相同的通孔，所述螺栓其一端分别插装于安装板通孔内，所述螺母套装于螺栓一端上，且于螺栓相旋接。

优选的，所述承载环与紧固环直径相同。

优选的，所述轴架为凹型结构。

优选的，所述电机与防护箱内下壁之间安装有垫块。

优选的，所述限位卡板为凹型结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该一种PECVD设备炉体支撑调节机构，通过承载环承载炉体的前后两端，并通过翻折紧固环，通过螺栓和螺母的配合使紧固环与承载环对炉体进行夹紧固定；当需要调节高度时，根据推舟送片机的高度，通过控制箱输入，同时控制两个升降结构运动；通过控制防护箱内电机驱动相应转数行程，使轴杆在轴架内转动，通过斜齿轮的啮合传动，使螺旋杆同外套筒在轴承内转动，通过安装板在限位卡板内限位，使受力块受力在螺旋杆上上下移动，进而使安装板带动承载环上的炉体进行升降；该设计不仅可以有效的承载炉体的重量，且依靠电机的传动力使炉体上下升降移动，便于控制以及调节精度较高。

附图说明

图1为本实用新型的主视剖视结构示意图；

图2为本实用新型的侧视结构示意图；

图3为本实用新型的部分装配结构示意图。

图中：1、底座，2、调节机构，20、调节结构，201、安装箱，202、防护箱，203、限位卡板，204、安装板，205、承载板，206、外套筒，207、轴承， 208、螺旋杆，209、受力块，210、轴架，211、轴杆，212、斜齿轮，213、电机，22、固定结构，221、承载环，222、紧固环，223、锁板，224、螺栓，225、螺母，3、控制箱，4、垫块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种PECVD设备炉体支撑调节机构2，包括：底座1；一对结构相同的调节机构2，其分别固定安置于底座 1上壁面，且分别位于底座1前后两端相互对称；还包括:控制箱3，控制箱3 固定安置于一对其中一个调节机构2上；调节机构2，包括：升降结构20以及固定结构22；升降结构20，包括：安装箱201、防护箱202、两对结构相同的限位卡板203、一对结构相同的安装板204、承载板205、一对结构相同的外套筒206、两对结构相同的轴承207、一对结构相同的螺旋杆208、一对结构相同的受力块209、轴架210、轴杆211、两对结构相同的斜齿轮212以及电机213；安装箱201固定焊接于底座1上壁面，且位于前端中心线左侧，防护箱202固定焊接于底座1上壁面前端，且位于安装箱201右侧，控制箱3固定安置于防护箱202上壁上，两对限位卡板203分别相对焊接于安装箱201上壁面左右两端，且分别位于中心线前后两侧相互对称，承载板205其左右两端分别固定焊接于安装箱201内左右两侧壁面上，且位于中心线下方，一对外套筒206其一端分别活动插装于安装箱201上壁内，其另一端分别活动插装于承载板205内，且分别位于承载板205中心线上，并位于左右两端相互对称平行，两对轴承207 分别套装于外套筒206两端，且分别嵌装于安装箱201上壁与承载板205内，并与安装箱201上壁和承载板205过盈配合，一对螺旋杆208其一端分别垂直贯穿于外套筒206内，且分别与外套筒206通过螺钉固定相连，一对受力块209 其中心部位处分别开设有结构相同的螺旋通孔，一对受力块209分别相对固定焊接与安装板204侧壁，且分别套装于螺旋杆208另一端上，并与螺旋杆208 相旋接，轴架210固定焊接于安装箱201内下壁面，且位于中心部位处，轴杆 211其一端分别活动贯穿于轴架210两侧，其另一端活动贯穿于安装箱201右侧壁，且活动插装于防护箱202内，两对其中一对斜齿轮212分别固定套装于螺纹杆一端上，两对其中另一对斜齿轮212分别固定套装于轴杆211上，且位于轴座两侧，并相互啮合，电机213固定安置于防护箱202内下壁上，且驱动端固定连接于轴杆211另一端上；通过升降结构20，可以方便精准调节炉体的升降高度。

下列为本案的各电器件型号及作用：

电机：其为现有技术，只要适用于本方案的电机均可使用。

作为优选方案，更进一步的，固定结构22，包括：承载环221、紧固环222、一对结构相同的锁板223、螺栓224以及螺母225；

承载环221固定焊接于一对承载板205之间，且位于中心部位处，紧固环 222其一端活动安置于一对其中一个承载板205顶端上，一对其中一个锁板223 其一端固定焊接于一对另一个承载板205顶端，且位于左侧壁中心线上，一对其中另一个锁板223其一端固定焊接于紧固环222另一端上，且其中心部位处均开设有结构相同的通孔，螺栓224其一端分别插装于安装板204通孔内，螺母225套装于螺栓224一端上，且于螺栓224相旋接。

作为优选方案，更进一步的，承载环221与紧固环222直径相同，便于对接固定炉体。

作为优选方案，更进一步的，轴架210为凹型结构，便于受力承载轴杆211。

作为优选方案，更进一步的，电机213与防护箱202内下壁之间安装有垫块4，用于垫高电机213。

作为优选方案，更进一步的，限位卡板203为凹型结构，用于设计需求，便于安装限位安装板204。

通过本领域人员，将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接，并且应该根据实际情况，选择合适的控制器，以满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考下述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不在对电气控制做说明。

实施例：通过说明书附图1-3可知，首先，通过安装板204之间固定结构 22中的承载环221承载炉体的前后两端，并通过翻折紧固环222，通过螺栓224 和螺母225的配合使两个锁板223对接锁紧，进而使紧固环222与承载环221 对炉体进行夹紧固定，接通电源后，通过同时控制底座1上的两个调节机构2 使炉体降低到最低高度；根据推舟送片机的高度，通过控制箱3输入数据，同时控制两个升降结构20运动；即通过同时控制防护箱202内垫块4上的电机213 驱动相应转数行程，使轴杆211在轴架210内转动，通过斜齿轮212的啮合传动，使螺旋杆208同外套筒206在安装箱201上壁以及承载板205内的轴承207 内转动，通过安装板204在限位卡板203内的限位，使受力块209受力在螺旋杆208上升移动，进而使安装板204带动炉体进行上升至相应高度；也可从最高阶段，根据推舟送片机高度进行控制下降，原理同上述相同方向相反即可。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作；同时除非另有明确的规定和限定，术语“活动嵌装”、“套装”、“插装”、“焊接”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种PECVD设备炉体支撑调节机构，其特征在于，包括：

底座(1)；

一对结构相同的调节机构(2)，其分别固定安置于底座(1)上壁面，且分别位于底座(1)前后两端相互对称；

还包括:控制箱(3)，所述控制箱(3)固定安置于一对所述其中一个调节机构(2)上；

所述调节机构(2)，包括：升降结构(20)以及固定结构(22)；

所述升降结构(20)，包括：安装箱(201)、防护箱(202)、两对结构相同的限位卡板(203)、一对结构相同的安装板(204)、承载板(205)、一对结构相同的外套筒(206)、两对结构相同的轴承(207)、一对结构相同的螺旋杆(208)、一对结构相同的受力块(209)、轴架(210)、轴杆(211)、两对结构相同的斜齿轮(212)以及电机(213)；

所述安装箱(201)固定焊接于底座(1)上壁面，且位于前端中心线左侧，所述防护箱(202)固定焊接于底座(1)上壁面前端，且位于安装箱(201)右侧，所述控制箱(3)固定安置于防护箱(202)上壁上，两对所述限位卡板(203)分别相对焊接于安装箱(201)上壁面左右两端，且分别位于中心线前后两侧相互对称，所述承载板(205)其左右两端分别固定焊接于安装箱(201)内左右两侧壁面上，且位于中心线下方，一对所述外套筒(206)其一端分别活动插装于安装箱(201)上壁内，其另一端分别活动插装于承载板(205)内，且分别位于承载板(205)中心线上，并位于左右两端相互对称平行，两对所述轴承(207)分别套装于外套筒(206)两端，且分别嵌装于安装箱(201)上壁与承载板(205)内，并与安装箱(201)上壁和承载板(205)过盈配合，一对所述螺旋杆(208)其一端分别垂直贯穿于外套筒(206)内，且分别与外套筒(206)通过螺钉固定相连，一对所述受力块(209)其中心部位处分别开设有结构相同的螺旋通孔，一对所述受力块(209)分别相对固定焊接与安装板(204)侧壁，且分别套装于螺旋杆(208)另一端上，并与螺旋杆(208)相旋接，所述轴架(210)固定焊接于安装箱(201)内下壁面，且位于中心部位处，所述轴杆(211)其一端分别活动贯穿于轴架(210)两侧，其另一端活动贯穿于安装箱(201)右侧壁，且活动插装于防护箱(202)内，两对所述其中一对斜齿轮(212)分别固定套装于螺纹杆一端上，两对所述其中另一对斜齿轮(212)分别固定套装于轴杆(211)上，且位于轴座两侧，并相互啮合，所述电机(213)固定安置于防护箱(202)内下壁上，且驱动端固定连接于轴杆(211)另一端上。

2.根据权利要求1所述的一种PECVD设备炉体支撑调节机构，其特征在于：所述固定结构(22)，包括：承载环(221)、紧固环(222)、一对结构相同的锁板(223)、螺栓(224)以及螺母(225)；

所述承载环(221)固定焊接于一对所述承载板(205)之间，且位于中心部位处，所述紧固环(222)其一端活动安置于一对所述其中一个承载板(205)顶端上，一对所述其中一个锁板(223)其一端固定焊接于一对所述另一个承载板(205)顶端，且位于左侧壁中心线上，一对所述其中另一个锁板(223)其一端固定焊接于紧固环(222)另一端上，且其中心部位处均开设有结构相同的通孔，所述螺栓(224)其一端分别插装于安装板(204)通孔内，所述螺母(225)套装于螺栓(224)一端上，且于螺栓(224)相旋接。

3.根据权利要求2所述的一种PECVD设备炉体支撑调节机构，其特征在于：所述承载环(221)与紧固环(222)直径相同。

4.根据权利要求1所述的一种PECVD设备炉体支撑调节机构，其特征在于：所述轴架(210)为凹型结构。

5.根据权利要求1所述的一种PECVD设备炉体支撑调节机构，其特征在于：所述电机(213)与防护箱(202)内下壁之间安装有垫块(4)。

6.根据权利要求1所述的一种PECVD设备炉体支撑调节机构，其特征在于：所述限位卡板(203)为凹型结构。

Images