CN211359863U - 一种用于超声波清洗机的加热供水装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于超声波清洗机的加热供水装置；其特征在于：包括将纯水加热的加热装置、储存纯水的蓄水池和将所述蓄水池内纯水分流进各清洗槽内的分流装置；所述分流装置分别连通所述蓄水池和所述清洗槽；所述加热装置的出水口连通所述蓄水池。解决了现有方案造成的清洗槽内纯水分别进行加热造成纯水温度相差较大造成硅片无法清洗干净、电阻丝加热管为易损耗品频繁更换影响清洗效率和清洗槽内安装电阻丝加热管加热时间较长影响清洗的进度等问题。

Description

一种用于超声波清洗机的加热供水装置

技术领域

本实用新型涉及供水装置，具体涉及一种用于超声波清洗机的加热供水装置。

背景技术

一般的，半导体器件生产中硅片必须严格清洗，微量的污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态存在于硅片的表面，从而导致硅片导致各种缺陷。随着大规模集成电路的发展，对硅片的质量要求也越来越高。在生产过程中，几乎每道工序都有硅片清洗的问题。硅片的清洗通常采用超声波清洗机进行清洗，但是也存在着资源浪费和清洗不完全等问题。如何解决这些问题变得至关重要。

现有的方案，采用在清洗机的清洗槽内安装电阻丝加热管。这样的方案存在以下问题：(1)清洗槽内纯水分别进行加热，造成纯水温度相差较大，造成硅片无法清洗干净；(2)电阻丝加热管为易损耗品，频繁更换影响清洗效率；(3)清洗槽内安装电阻丝加热管，加热时间较长影响清洗的进度。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种用于超声波清洗机的加热供水装置，以解决现有技术中清洗槽内纯水分别进行加热造成纯水温度相差较大造成硅片无法清洗干净、电阻丝加热管为易损耗品频繁更换影响清洗效率和清洗槽内安装电阻丝加热管加热时间较长影响清洗的进度等问题。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种用于超声波清洗机的加热供水装置；

包括将纯水加热的加热装置、储存纯水的蓄水池和将所述蓄水池内纯水分流进各清洗槽内的分流装置；所述分流装置分别连通所述蓄水池和所述清洗槽；所述加热装置的出水口连通所述蓄水池。

进一步的技术方案为：所述加热装置的进水口连通纯水源；所述加热装置通过加热管道连通热介质；所述加热管道上设置有控制所述热介质流量的阀门；所述加热装置上还设置有将所述热介质排出的排泄口。

进一步的技术方案为：所述加热装置为板式换热器。

进一步的技术方案为：所述加热装置的出水口通过连接管道连通所述蓄水池；所述连接管道上设置有第一温度传感器；所述第一温度传感器连接温度控制器。

进一步的技术方案为：所述蓄水池外包裹有保温层。

进一步的技术方案为：所述分流装置包括连通所述蓄水池的分流管道和连通所述清洗槽的支管道；所述支管道并列连通在所述分流管道上。

进一步的技术方案为：所述分流装置设置有控制所述支管道开合的控制阀；所述控制阀设置于所述支管道上靠近所述分流管道的一端。

进一步的技术方案为：所述清洗槽底部设置有第二加热管；所述第二加热管连接电源；所述清洗槽还设置有第二温度传感器。

本实用新型的有益效果如下：本实用新型设计了一种用于超声波清洗机的加热供水装置采用蓄水池对清洗机进行集中供水。采用加热装置对纯水集中加热。用于超声波清洗机的加热供水装置带来了如下效果：(1)采用加热装置对纯水集中加热，保证清洗槽内纯水温度一致，有利于将硅片清洗干净；(2)采用板式换热器进行加热，加热时间短，提高了清洗硅片的进度；(3)采用蓄水池储存纯水，可以不间断的提供纯水，避免因为加热装置损坏而影响清洗机的工作效率；(4)采用分流装置根据清洗槽不同的需求量，分配流入的纯水量；(5)采用温度传感器监测纯水温度，使得纯水温度始终保持在60℃，方便对硅片进行清洗。

附图说明

图1为本实用新型的示意图。

图中：1、加热装置；11、加热管道；12、阀门；2、蓄水池；3、分流装置；31、分流管道；32、支管道；33、控制阀；4、连接管道；41、第一温度传感器；5、第二加热管；51、第二温度传感器；6、温度控制器。

具体实施方式

下面结合附图，说明本实施例的具体实施方式。

图1为本实用新型的示意图。结合图1所示，本实用新型公开了一种用于超声波清洗机的加热供水装置。

用于超声波清洗机的加热供水装置包括将纯水加热的加热装置1、储存纯水的蓄水池2和将蓄水池2内纯水分流进各清洗槽内的分流装置3。分流装置3分别连通蓄水池2和清洗槽。加热装置1的出水口连通蓄水池2。

加热装置1的进水口连通纯水源。加热装置1通过加热管道11连通热介质。加热管道11上设置有控制热介质流量的阀门12。加热装置1上还设置有将热介质排出的排泄口。优选的，加热装置1为板式换热器。优选的，热介质为水蒸汽。优选的，阀门12为套筒比例调节阀。

加热装置1的进水口设置于加热装置1的上端。加热装置1的排泄口设置于加热装置1的下端。纯水通过进水口进入加热装置1内。热介质通过加热管道11进入加热装置1内。纯水与热介质在加热装置1内完成热交换反应。反应完成后纯水通过出水口排出。热介质液化后通过排泄口排出。热介质是压力为0.35mpa，温度为160℃的水蒸汽。

通过阀门12可以控制进入加热装置1内的热介质流量，从而控制纯水的加热温度。当进入加热装置1内的热介质流量减小，纯水的加热温度变低。当进入加热装置1内的热介质流量增加，纯水的加热温度变高。

加热装置1为板式换热器，板式换热器型号的选择属于公知常识。本领域的技术人员可以根据装置的工作情况选择，例如可以选型号为P22-EPDM的板式换热器。

阀门12为套筒比例调节阀，套筒比例调节阀型号的选择属于公知常识。本领域的技术人员可以根据装置的工作情况选择，例如可以选型号为ZAZM的套筒比例调节阀。

加热装置1的出水口通过连接管道4连通蓄水池2。连接管道4上设置有第一温度传感器41。第一温度传感器41连接温度控制器6。优选的，第一温度传感器41为热电偶。

温度控制器6控制第一温度传感器41。连接管道4的一端连接加热装置1的出水口，连接管道4的另一端连接蓄水池2。纯水通过连接管道4流入蓄水池2内。第一温度传感器41设置在连接管道4上靠近加热装置1的一端。第一温度传感器41可以更加准确的测量纯水的温度。通过第一温度传感器41可以控制进入蓄水池2内纯水的温度始终为60℃。当温度出现偏差时，通过调节阀门12控制热介质的流量，从而控制纯水的温度。

第一温度传感器41将水温信号传递给温度控制器6，温度控制器6将温度信号转换成电信号。温度控制器6通过电压输出控制住阀门12，实现温度调节。

第一温度传感器41为热电偶，热电偶型号的选择属于公知常识。本领域的技术人员可以根据装置的工作情况选择，例如可以选型号为PT100的热电偶。

温度控制器6型号的选择属于公知常识。本领域的技术人员可以根据装置的工作情况选择，例如可以选型号为FP93的温度控制器。

蓄水池2外包裹有保温层。优选的，保温层为保温棉。保温层使得蓄水池2内纯水温度始终保持在60℃。

分流装置3包括连通蓄水池2的分流管道31和连通清洗槽的支管道32；支管道32并列连通在分流管道31上。

分流管道31的一端连接蓄水池2。蓄水池2内纯水流入到分流管道31内。优选的，支管道32为多个。支管道32并列连接在分流管道31的外表面。支管道32与分流管道31相连通。

分流装置3设置有控制支管道32开合的控制阀33。控制阀33设置于支管道32上靠近分流管道31的一端。优选的，控制阀33为电动比例调节阀。

分流管道31内纯水通过支管道32流入清洗槽内。通过控制阀33控制支管道32的开合，使得纯水可以流入不同的清洗槽内。不同的清洗槽对水量的要求也不同，通过分流装置3可以很好的控制清洗槽内的水量，避免了纯水的浪费。

控制阀33为电动比例调节阀，电动比例调节阀型号的选择属于公知常识。本领域的技术人员可以根据装置的工作情况选择，例如可以选型号为ALLP-16C的电动比例调节阀。

清洗槽底部设置有第二加热管5。第二加热管5连接电源。清洗槽还设置有第二温度传感器51。优选的，第二温度传感器51为热电偶。

第二加热管5的内端插入清洗槽内，第二加热管5的外端连接电源。纯水在通过分流装置3时会产生热量损耗。超声波清洗机在工作时，清洗槽内纯水也会在清洗过程中发生热量损耗。通过第二加热管5可以使清洗槽内纯水始终保持在60℃。60℃的纯水可以方便进行硅片清洗。

第二温度传感器51对清洗槽内纯水的温度进行监测。当第二温度传感器51监测到清洗槽内纯水的温度发生变化时，调整第二加热管5的功率，使清洗槽内纯水温度保持在60℃。

第二温度传感器51为热电偶，热电偶型号的选择属于公知常识。本领域的技术人员可以根据装置的工作情况选择，例如可以选型号为PT100的热电偶。

本实施例中，所描述的加热装置1为板式换热器，但不限定于此，可以是能够发挥其功能的范围内的其他加热装置。

本实施例中，所描述的热介质为水蒸汽，但不限定于此，可以是能够发挥其功能的范围内的其他热介质。

本实施例中，所描述的阀门12为套筒比例调节阀，但不限定于此，可以是能够发挥其功能的范围内的其他阀门。

本实施例中，所描述的第一温度传感器41为热电偶，但不限定于此，可以是能够发挥其功能的范围内的其他温度传感器。

本实施例中，所描述的控制阀33为电动比例调节阀，但不限定于此，可以是能够发挥其功能的范围内的其他控制阀。

本实施例中，所描述的第二温度传感器51为热电偶，但不限定于此，可以是能够发挥其功能的范围内的其他温度传感器。

本实施例中，所描述的保温层为保温棉，但不限定于此，可以是能够发挥其功能的范围内的其他保温层。

此外，本说明书中，使用了“多个”等数量，但不限定于此，可以是能够发挥其功能的范围内的其他数量。

在本实用新型实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，本实用新型所限定的范围参见权利要求，在不违背本实用新型的基本结构的情况下，本实用新型可以作任何形式的修改。

Claims (8)

1.一种用于超声波清洗机的加热供水装置，其特征在于：包括将纯水加热的加热装置(1)、储存纯水的蓄水池(2)和将所述蓄水池(2)内纯水分流进各清洗槽内的分流装置(3)；所述分流装置(3)分别连通所述蓄水池(2)和所述清洗槽；所述加热装置(1)的出水口连通所述蓄水池(2)。

2.根据权利要求1所述的用于超声波清洗机的加热供水装置，其特征在于：所述加热装置(1)的进水口连通纯水源；所述加热装置(1)通过加热管道(11)连通热介质；所述加热管道(11)上设置有控制所述热介质流量的阀门(12)；所述加热装置(1)上还设置有将所述热介质排出的排泄口。

3.根据权利要求1所述的用于超声波清洗机的加热供水装置，其特征在于：所述加热装置(1)为板式换热器。

4.根据权利要求1所述的用于超声波清洗机的加热供水装置，其特征在于：所述加热装置(1)的出水口通过连接管道(4)连通所述蓄水池(2)；所述连接管道(4)上设置有第一温度传感器(41)；所述第一温度传感器(41)连接温度控制器(6)。

5.根据权利要求1所述的用于超声波清洗机的加热供水装置，其特征在于：所述蓄水池(2)外包裹有保温层。

6.根据权利要求1所述的用于超声波清洗机的加热供水装置，其特征在于：所述分流装置(3)包括连通所述蓄水池(2)的分流管道(31)和连通所述清洗槽的支管道(32)；所述支管道(32)并列连通在所述分流管道(31)上。

7.根据权利要求6所述的用于超声波清洗机的加热供水装置，其特征在于：所述分流装置(3)设置有控制所述支管道(32)开合的控制阀(33)；所述控制阀(33)设置于所述支管道(32)上靠近所述分流管道(31)的一端。

8.根据权利要求1所述的用于超声波清洗机的加热供水装置，其特征在于：所述清洗槽底部设置有第二加热管(5)；所述第二加热管(5)连接电源；所述清洗槽还设置有第二温度传感器(51)。

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