CN211348428U

CN211348428U - 电阻率测试治具

Info

Publication number: CN211348428U
Application number: CN201922419121.0U
Authority: CN
Inventors: 佐野恭司
Original assignee: Suzhou Fukuda Metal Co ltd
Current assignee: Suzhou Fukuda Metal Co ltd
Priority date: 2019-12-27
Filing date: 2019-12-27
Publication date: 2020-08-25
Anticipated expiration: 2029-12-27

Abstract

本实用新型提供了一种电阻率测试治具，包括支撑载物平台，用于承载待测样品；电极支撑平台，与所述支撑载物平台相对设置；至少一个绝缘臂，可装卸地安装于所述电极支撑平台朝向所述支撑载物平台的一侧；至少一电极，分别可装卸地安装于各个所述绝缘臂；所述绝缘臂包括弹性件、调节键和支座，所述电极通过所述支座可装卸地连接安装于所述绝缘臂，所述调节键控制所述弹性件的伸缩，所述弹性件的伸缩驱动所述电极靠近或远离所述支撑载物平台。本实用新型电阻率测试治具可通过弹性件控制电极与待测样品之间的接触压力，从而控制电极与待测样品的接触电阻，提高电阻率测试的精确性。

Description

电阻率测试治具

技术领域

本实用新型涉及材料性能测试技术领域，具体地说，涉及一种电阻率测试治具。

背景技术

材料的电导率是研究和评定材料性能的一个重要参数，特别是用作电子线路的铜箔等电导率。四电极法/四探针法可避免接触电阻对测试结果的影响，是一种简便的测量电阻率的方法。上述四电极法/四探针法可避免接触电阻对测试结果的影的前提是四个电极与样品的接触电阻相同，然而，现实采用电极直接接触测试样品的接触式测量中，电极与样品之间的接触压力决定了两者之间接触面的大小，从而影响两者之间的接触电阻；同时，接触电阻和被测材料的自身性质也有关系，当四电极法中的四个电极与样品的接触电阻各不相同时，接触电阻将影响所测电阻率的精确性。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本实用新型的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

实用新型内容

针对现有技术中的问题，本实用新型的目的在于提供一种电阻率测试治具，通过控制电极与待测样品之间的接触电阻，提高电阻率测试的精确性。

本实用新型提供了一种电阻率测试治具，包括：

支撑载物平台，用于承载待测样品；

电极支撑平台，与所述支撑载物平台相对设置；

至少一个绝缘臂，可装卸地安装于所述电极支撑平台朝向所述支撑载物平台的一侧；

至少一电极，分别可装卸地安装于各个所述绝缘臂；

所述绝缘臂包括调节键、弹性件和支座，所述电极通过所述支座可装卸地连接安装于所述绝缘臂，所述调节键控制所述弹性件的伸缩，所述弹性件的伸缩驱动所述电极靠近或远离所述支撑载物平台。

根据本实用新型的一示例，所述治具包括四个所述绝缘臂和四个所述电极。

根据本实用新型的一示例，所述电阻率测试治具还包括一第一驱动组件，所述第一驱动组件驱动一所述电极支撑平台靠近或远离所述支撑载物平台。

根据本实用新型的一示例，所述电阻率测试治具还包括至少一第二驱动组件，每个所述第二驱动组件驱动所述绝缘臂靠近或远离所述支撑载物平台。

根据本实用新型的一示例，所述电阻率测试治具还包括至少一第三驱动组件，每个所述第三驱动组件驱动一所述绝缘臂在平行于所述支撑载物平台的载物平面的平面内移动。

根据本实用新型的一示例，所述电阻率测试治具还包括一第四驱动组件，所述第四驱动组件驱动所述支撑载物平台靠近或远离所述支撑载物平台。

根据本实用新型的一示例，所述电阻率测试治具还包括一第五驱动组件，所述第五驱动组件调节所述支撑载物平台的载物平面的方向。

根据本实用新型的一示例，所述弹性件为压缩弹簧。

根据本实用新型的一示例，所述调节键为旋转螺母，所述压缩弹簧分别与所述旋转螺母和所述支座相抵接，所述旋转螺母的旋转控制所述弹性件的伸缩。

根据本实用新型的一示例，每个所述绝缘臂还包括一标尺，所述标尺用于测量所述调节键移动的距离。

根据本实用新型的一示例，所述电极为切刀状。

本实用新型电阻率测试治具具有可控制电极与待测样品的接触电阻的绝缘臂，消除电阻率测试中接触电阻的影响，提高电阻率测试的精确性。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理，通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一实施例的电阻率测试治具的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例的绝缘臂的结构示意图。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。

此外，附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。附图中所示的一些方框图是功能实体，不一定必须与物理或逻辑上独立的实体相对应。

图1为本实用新型一实施例的电阻率测试治具的结构示意图，具体地，该治具包括：

支撑载物平台100，用于承载待测样品；

电极支撑平台200，与所述支撑载物平台100相对设置；

至少一个绝缘臂300，可装卸地安装于所述电极支撑平台200朝向所述支撑载物平台100的一侧；

至少一电极400，分别可装卸地安装于各个所述绝缘臂300；

所述绝缘臂300包括调节键310、弹性件320和支座330，见图2绝缘臂300的结构示意图。所述电极400通过所述支座330可装卸地连接安装于所述绝缘臂300，所述调节键310控制所述弹性件320的伸缩，所述弹性件320的伸缩驱动所述电极400靠近或远离所述支撑载物平台100。

本实用新型的一实施例中，一电极支撑平台200可装卸地安装多个绝缘臂300，由于一绝缘臂300安装一电极400，即一电极支撑平台200可安装多个电极400。在其他的实施例中，电极支撑平台200也可安装一个电极，则在此实施例中，需多个电极时，则需对应的多个电极支撑平台200。

所述电阻率测试治具还可以包括一第一驱动组件，所述第一驱动组件驱动一所述电极支撑平台200靠近或远离所述支撑载物平台100。第一驱动组件可以是丝杆装置，也可是滑轨装置等，在此不做限定。

在一电极支撑平台200安装有四个所述绝缘臂300和四个所述电极400的实施例中，当电阻率测试治具测试样品时，电极在样品平面内的移动一样是必不可少的，因此，电阻率测试治具还可以包括四个第二驱动组件，每个所述第二驱动组件驱动一所述绝缘臂300在平行于所述支撑载物平台的载物平面的平面内移动。控制绝缘臂300的移动即控制了电极400的移动。同样地，第二驱动组件可通过设置于电极支撑平台的轨道装置等完成上述平面内的移动。

所述电阻率测试治具还包括四个第三驱动组件，每个所述第三驱动组件驱动所述绝缘臂300靠近或远离所述支撑载物平台。

第一驱动组件驱动电极支撑平台200整体的移动，即控制多个电极400的整体移动，可以看成是对于电极的粗调。第二驱动组件和第三驱动组件则可看成单个的控制绝缘臂300在三维方向上运动的组件。第一驱动组件的数量与电极支撑平台200的数量相当，第二驱动组件和第三驱动组件的数量则与绝缘臂300的数量相当。

同样地，电阻率测试时，承载待测样品的撑载物平台100的可移动性一样可以带来测试的方便性，本实用新型实施例的电阻率测试治具还可以包括一第四驱动组件，所述第四驱动组件驱动所述支撑载物平台100靠近或远离所述电极支撑平台200，以及还可以包括一第五驱动组件，所述第五驱动组件调节所述支撑载物平台100的载物平面的方向。

当所述电阻率测试治具设置有多个电极400，且电极400为切刀状时，见图2，采用直接与样品接触的方式测量样品的电阻率，此时，电极与样品之间的接触压力决定了两者之间接触面的大小，间接触面的大小决定了各个电极与样品之间的接触电阻，为了保证各个电极与样品之间接触电阻的一致性，本实用新型的一实施例中，调节键310采用旋转螺母，弹性件320采用压缩弹簧，压缩弹簧分别与所述旋转螺母和所述支座330相抵接，旋转螺母的旋转控制所述弹性件的伸缩，同时，绝缘臂300还包括一标尺，用于检测所述调节键310移动的距离。

以实际的测试步骤来说明本实用新型的治具的使用原理，以四电极法测量一样品为例：

通过第四驱动组件、第五驱动组件调节支撑载物平台100的位置；

通过第一驱动组件调节电极支撑平台200的位置；

通过第二驱动组件调节各个电极的位置；

对于每个电极，通过第三驱动组件使电极与样品相接触；

最后，旋转调节键310，使得各个电极对应的旋转螺母行进的距离相同，由于每个压缩弹簧的压力系数相同，旋转螺母行进的距离即为弹簧压缩的距离，因此，可以认为施加在每个电极上的压力相同，从而保证了每个电极与样品之间的接触电阻，提高电阻率测试的精确性。

综上所述，本实用新型提供了一种电阻率测试治具，包括支撑载物平台，用于承载待测样品的样品；电极支撑平台，与所述支撑载物平台相对设置；至少一个绝缘臂，可装卸地安装于所述电极支撑平台朝向所述支撑载物平台的一侧；至少一电极，分别可装卸地安装于各个所述绝缘臂；所述绝缘臂包括弹性件、调节键和支座，所述电极通过所述支座可装卸地连接安装于所述绝缘臂，所述调节键的移动控制所述弹性件的伸缩，所述弹性件的伸缩驱动所述电极靠近或远离所述支撑载物平台。本实用新型电阻率测试治具可通过弹性件控制电极与待测样品之间的接触压力，从而控制电极与待测样品的接触电阻，提高电阻率测试的精确性。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本领域技术人员而言，显然本申请不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本申请的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本申请。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本申请的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化涵括在本申请内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，显然“包括”一词不排除其他单元或步骤，单数不排除复数。装置权利要求中陈述的多个单元或装置也可以由一个单元或装置通过软件或者硬件来实现。应当理解的是，“下”或“上”，“向下”或“向上”等用语用来参照示例性实施例的特征在图中显示的位置描述这些特征；第一、第二等词语用来表示名称，而并不表示任何特定的顺序。

Claims

1.一种电阻率测试治具，其特征在于，包括：

支撑载物平台，用于承载待测样品；

电极支撑平台，与所述支撑载物平台相对设置；

至少一电极，分别可装卸地安装于各个所述绝缘臂；

2.根据权利要求1所述的电阻率测试治具，其特征在于：所述治具包括四个所述绝缘臂和四个所述电极。

3.根据权利要求1所述的电阻率测试治具，其特征在于：还包括一第一驱动组件，所述第一驱动组件驱动所述电极支撑平台靠近或远离所述支撑载物平台。

4.根据权利要求2所述的电阻率测试治具，其特征在于：还包括至少一第二驱动组件，每个所述第二驱动组件驱动所述绝缘臂靠近或远离所述支撑载物平台。

5.根据权利要求2所述的电阻率测试治具，其特征在于：还包括至少一第三驱动组件，每个所述第三驱动组件驱动一所述绝缘臂在平行于所述支撑载物平台的载物平面的平面内移动。

6.根据权利要求1所述的电阻率测试治具，其特征在于：还包括一第四驱动组件，所述第四驱动组件驱动所述支撑载物平台靠近或远离所述电极支撑平台。

7.根据权利要求1所述的电阻率测试治具，其特征在于：还包括一第五驱动组件，所述第五驱动组件调节所述支撑载物平台的载物平面的方向。

8.根据权利要求1所述的电阻率测试治具，其特征在于：所述弹性件为压缩弹簧。

9.根据权利要求8所述的电阻率测试治具，其特征在于：所述调节键为旋转螺母，所述压缩弹簧分别与所述旋转螺母和所述支座相抵接，所述旋转螺母的旋转控制所述弹性件的伸缩。

10.根据权利要求9所述的电阻率测试治具，其特征在于：每个所述绝缘臂还包括一标尺，所述标尺用于测量所述调节键移动的距离。

11.根据权利要求1所述的电阻率测试治具，其特征在于：所述电极为切刀状。