CN211311569U - 一种镀膜辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种镀膜辅助装置，包括基座、设于所述基座上的固定支架、与所述固定支架固定连接的第一固定件、与所述固定支架滑动连接的第二固定件和与所述固定支架连接的操作件；所述第一固定件和所述第二固定件间形成芯片固定区，所述操作件能够控制所述第二固定件在靠近和远离所述第一固定件的方向上滑动。通过操作件控制芯片固定区的大小能够使其适应各种数量的芯片；能够非常便捷简单的完成对芯片的批量定位，提高了定位的精度；而且多个芯片的侧面相互连接形成一个面积较大的待镀膜平面，使镀膜过程中的精度较易控制，避免镀至芯片的其他位置，提高了镀膜的成功率和合格率；批量定位和批量镀膜还提高了镀膜的效率。

Description

一种镀膜辅助装置

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片生产加工技术领域，尤其涉及一种镀膜辅助装置。

背景技术

激光器芯片是半导体领域内的中较为常见且应用广泛的一种器件。其中的激光器芯片的侧面设置有出光面和背光监视面，出光面和背光监视面在生产过程中都需要进行镀膜操作，而且镀膜的操作需要在蒸发钛镀膜装置中进行，由于激光器芯片的体积较小，因此对于激光器芯片的操作和定位非常困难，而且由于出光面和背光监视面宽度都较窄，镀膜过程中的精度不易控制，容易镀至激光器芯片的其他位置，例如其他的侧面或者是顶面和底面；再者对于激光器芯片一个挨一个的进行镀膜，效率也较低。

因此，需要提供一种镀膜辅助装置来解决现有技术的不足。

实用新型内容

为了解决现有技术中的问题，本实用新型提供了一种镀膜辅助装置。

一种镀膜辅助装置，包括基座、设于所述基座上的固定支架、与所述固定支架固定连接的第一固定件、与所述固定支架滑动连接的第二固定件和与所述固定支架连接的操作件；

所述第一固定件和所述第二固定件间形成芯片固定区，所述操作件能够控制所述第二固定件在靠近和远离所述第一固定件的方向上滑动。

进一步的，所述固定支架具有第一支架部、第二支架部、第三支架部和第四支架部，所述第一支架部和所述第三支架部相对设置且相互平行，所述第二支架部和所述第四支架部相对设置且相互平行，所述第一支架部和所述第二支架部相互垂直。

进一步的，所述第一固定件朝向所述第二固定件的一侧具有第一夹持平面，所述第二固定件朝向所述第一固定件的一侧具有第二夹持平面，所述第一夹持平面和所述第二夹持平面平行，且所述第一夹持平面和所述第二夹持平面间形成芯片固定区。

进一步的，所述第一固定件包括相互连接的第一固定部和第一夹持部，所述第一固定部的一侧与所述第四支架部的朝向所述第二支架部的一侧连接；

所述第一夹持部具有相互平行的第一顶面和第一底面以及用于连接所述第一顶面和所述第一底面的第一侧面，所述第一底面与所述第一固定部的另一侧连接，所述第一顶面的正投影居中落入所述第一底面内，所述第一顶面形成第一夹持平面。

进一步的，所述第一支架部和所述第三支架部内均设有相互对应的滑槽；

所述第二固定件包括相互连接的第二固定部和第二夹持部，所述第二夹持部的两端分别连接一个滑块，两个所述滑块中的一个设于所述第一支架部的滑槽内，两个所述滑块中的另一个设于所述第三支架部的滑槽内；

所述第二夹持部具有相互平行的第二顶面和第二底面以及用于连接所述第二顶面和所述第二底面的第二侧面，所述第二底面与所述第二固定部的一侧连接，所述第二顶面的正投影居中落入所述第二底面内，所述第二顶面形成第二夹持平面。

进一步的，所述操作件贯穿所述第二支架部后与所述第二固定部的另一侧连接，所述操作件与所述第二支架部间设有限位部，所述限位部能够限制所述操作件于所述第二支架部内的伸缩。

进一步的，所述第二支架部设有操作孔，所述限位部包括设于操作孔内的内螺纹和设有所述操作件上的外螺纹。

进一步的，还包括过渡件，所述过渡件的两端均具有滑动部，两个所述滑动部中的一个设于所述第一支架部的滑槽内，两个所述滑动部中的另一个设于所述第三支架部的滑槽内；

所述操作件与所述过渡件的一侧的中心连接，所述过渡件的另一侧与所述第二固定部的另一侧通过多个弹性件连接，所述弹性件的伸缩方向与所述第一支架部平行。

进一步的，多个所述弹性件环绕所述过渡件的中心均匀设置。

进一步的，所述第一支架部、所述第三支架部和所述第四支架部为一体成型结构。

本实用新型的技术方案与最接近的现有技术相比具有如下优点：

本实用新型提供的技术方案提供的镀膜辅助装置，通过基座及设置于其上的固定支架，组成辅助装置的支撑主体，通过设置于固定支架内的第一固定件和第二固定件形成芯片固定区，再者第二固定件能够在靠近和远离第一固定件的方向上滑动，也就是第一固定件滑动时，其与第二固定件间的距离发生改变，即芯片固定区的大小发生改变，通过第一固定件和第二固定件能够将放置于芯片固定区内的多个叠放的芯片夹持并固定，而且通过操作件控制芯片固定区的大小能够使其适应各种数量的芯片；多个芯片的需要镀膜的侧面均朝向远离基座的方向，因此可以对这些侧面进行统一镀膜，通过辅助装置能够非常便捷简单的完成对芯片的批量定位，极大提高了定位的精度；而且多个芯片的侧面相互连接形成一个宽度较大，面积较大的待镀膜平面，使镀膜过程中的精度较易控制，避免镀至芯片的其他位置，提高了镀膜的成功率和合格率；批量定位和批量镀膜还提高了镀膜的效率。

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的镀膜辅助装置的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例提供的镀膜辅助装置的俯视图。

其中，1-基座；2-固定支架，21-第一支架部，211-第一滑槽；22-第二支架部，23-第三支架部，231-第二滑槽，24-第四支架部；3-第一固定件，31-第一固定部，32-第一夹持部；4-第二固定件，41-第二固定部，42-第二夹持部；5-过渡部；6-弹性件；7-操作件。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

在本申请中，术语“上”、“下”、“内”、“中”、“外”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。

并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。

此外，术语“设置”、“连接”、“固定”应做广义理解。例如，“连接”可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图1-2并结合实施例来详细说明本申请。

本实用新型提供了一种镀膜辅助装置，具体为一种半导体芯片的镀膜辅助装置，其包括基座1、设于基座1上的固定支架2、与固定支架2固定连接的第一固定件3、与固定支架2滑动连接的第二固定件4和与固定支架2连接的操作件7；第一固定件3和第二固定件4间形成芯片固定区，操作件7能够控制第二固定件4在靠近和远离第一固定件3的方向上滑动。其中的芯片固定区与待镀膜的芯片相适应，例如待镀膜的芯片为矩形时，芯片固定区范围内的基座1表面呈平面，多个重叠防止的芯片的一个侧面与基座1表面连接，首个芯片与第一固定件3连接，末个芯片与第二固定件4连接，通过基座1的支撑和两个固定件的夹持完成对批量芯片的定位，而且芯片的与底座远离的侧面为待镀膜侧面，同样如果芯片为其他形状，芯片固定区范围内的基座1表面也与之相适应，例如芯片为圆形，基座1表面存在与芯片固定区相配合的弧形凹面。

通过基座1及设置于其上的固定支架2，组成辅助装置的支撑主体，通过设置于固定支架2内的第一固定件3和第二固定件4形成芯片固定区，再者第二固定件4能够在靠近和远离第一固定件3的方向上滑动，也就是第一固定件3滑动时，其与第二固定件4间的距离发生改变，即芯片固定区的大小发生改变，通过第一固定件3和第二固定件4能够将放置于芯片固定区内的多个叠放的芯片夹持并固定，而且通过操作件7控制芯片固定区的大小能够使其适应各种数量的芯片；多个芯片的需要镀膜的侧面均朝向远离基座1的方向，因此可以对这些侧面进行统一镀膜，通过辅助装置能够非常便捷简单的完成对芯片的批量定位，极大提高了定位的精度；而且多个芯片的侧面相互连接形成一个宽度较大、面积较大的待镀膜平面，使镀膜过程中的精度较易控制，避免镀至芯片的其他位置，提高了镀膜的成功率和合格率；批量定位和批量镀膜还提高了镀膜的效率。

在本实用新型的一些实施例中，固定支架2具有第一支架部21、第二支架部22、第三支架部23和第四支架部24，第一支架部21和第三支架部23相对设置且相互平行，第二支架部22和第四支架部24相对设置且相互平行，第一支架部21和第二支架部22相互垂直。固定支架2至少具有上述四个支架部，当不具有其他支架部时，固定支架2即呈矩形，四个支架部则为依次首尾连接的状态；当还具有其他支架部时，固定支架2即成八边形等其他形状，矩形或八边形这样的形状，结构稳定，便于与基座1连接，而且也便于第一固定支架2、第二固定支架2和操作件7的安装。

在本实用新型的一些实施例中，第一固定件3朝向第二固定件4的一侧具有第一夹持平面，第二固定件4朝向第一固定件3的一侧具有第二夹持平面，第一夹持平面和第二夹持平面平行，且第一夹持平面和第二夹持平面间形成芯片固定区。多个芯片叠放后，形成柱状结构，该柱状结构的顶面为第一个芯片的一个表面，该柱状结构的底面为最后一个芯片的一个表面，由于芯片的表面为平面，因此在第一固定件3和第二固定件4上分别设置夹持面后，便于两个固定件与叠放后的芯片的连接，同时能够便于两个固定件对这些芯片施加加持力，同时由于固定件与芯片间的接触面积大，能够缓冲加持力，使加持力均匀的施加于芯片上，因此有利于对芯片的固定效果。

在本实用新型的一些实施例中，第一固定件3包括相互连接的第一固定部31和第一夹持部32，第一固定部31的一侧与第四支架部24的朝向第二支架部22的一侧连接；第一夹持部32具有相互平行的第一顶面和第一底面以及用于连接第一顶面和第一底面的第一侧面，第一底面与第一固定部31的另一侧连接，第一顶面的正投影居中落入第一底面内，第一顶面形成第一夹持平面。其中的第一固定部31呈扁平且狭长的长方体状，其最大的两个面中的一个固定于固定支架2的第四支架部24内侧，其最大的两个面中的另一个与第一夹持部32的第一底面连接。第一夹持部32的第一顶面和第一底面均呈矩形，其第一侧面是由四个分侧面组成的筒状侧面，四个分侧面均呈梯形，每个分侧面(梯形)的上底均为第一顶面的一个边，每个分侧面(梯形)的下底均为第一底面的一个边，每个分侧面(梯形)的腰均为侧面的一个棱；第一底面的面积较大，其与第一固定部31贴合连接，使二者间的力的传递较为稳定，第一顶面面积较小，形成第一夹持平面，能够方面与芯片的接触和力的传递。

在本实用新型的一些实施例中，第一支架部21和第三支架部23内均设有相互对应的滑槽，即第一支架部21内设有第一滑槽211，第三支架部23内设有第二滑槽231；第二固定件4包括相互连接的第二固定部41和第二夹持部42，第二夹持部42的两端分别连接一个滑块，两个滑块中的一个设于第一支架部21的滑槽(即第一滑槽211)内，两个滑块中的另一个设于第三支架部23的滑槽(即第二滑槽231)内；第二夹持部42具有相互平行的第二顶面和第二底面以及用于连接第二顶面和第二底面的第二侧面，第二底面与第二固定部41的一侧连接，第二顶面的正投影居中落入第二底面内，第二顶面形成第二夹持平面。第二固定件4与第一固定件3的结构基本相同，其不同之处在于第二固定件4的第二固定部41的两端分别连接有滑块，而且两个滑块分别设置在第一支架部21和第三支架部23内的滑槽内，从而第二固定件4能够在两个滑块的作用下，在固定支架2内沿着与第一支架部21平行的方向稳定的滑动，滑动过程中第一固定件3与第二固定件4间的距离发生改变，即芯片固定区的大小发生改变。

在本实用新型的一些实施例中，操作件7贯穿第二支架部22后与第二固定部41的另一侧连接，操作件7与第二支架部22间设有限位部，限位部能够限制操作件7于第二支架部22内的伸缩。操作件7贯穿第二支架部22后，与第二固定部41垂直连接，通过地操作件7在第二支架部22内伸缩，能够控制第二固定部41的滑动，而且操作件7与第二支架部22间的限位部能够使操作件7停留在任意位置，也就是能够控制第二固定件4停留在任意位置，因此既能够对第二固定件4的滑动进行控制，还能够将其限制在任意需要的位置，使其与第一固定件3间的距离可控，使芯片固定区的大小可控，从而能够适应批量芯片的各种数量。

在本实用新型的一些实施例中，第二支架部22设有操作孔，限位部包括设于操作孔内的内螺纹和设有操作件7上的外螺纹。通过螺纹限位，简单方便，通过旋转操作件7既能够完成对其伸缩和限位的控制，随时停止旋转，操作件7既能够限位在停留的位置上。

在本实用新型的一些实施例中，还包括过渡件5，过渡件5的两端均具有滑动部，两个滑动部中的一个设于第一支架部21的滑槽(即第一滑槽211)内，两个滑动部中的另一个设于第三支架部23的滑槽(即第二滑槽231)内；操作件7与过渡件5的一侧的中心连接，过渡件5的另一侧与第二固定部41的另一侧通过多个弹性件6连接，弹性件6的伸缩方向与第一支架部21平行。其中过渡件5也可选择扁平且狭长的长方体状，弹性件6可以选择弹簧。通过设置过渡件5和弹性件6，能够使操作件7施加的推力受到缓冲，从而使施加于第一固定件3的推力平缓，进而使施加于芯片上的夹持力平缓，避免施加在芯片上过大的推力，从而避免对芯片的破坏；而且弹簧还能够使芯片固定区的大小在一定范围内缓冲，增加了对芯片固定的灵活性。

在本实用新型的一些实施例中，多个弹性件6环绕过渡件5的中心均匀设置。多个弹性件6围绕过渡件5的中心设置，而操作件7则与过渡件5的中心设置，操作件7向过渡件5的中心施加推力，推力向四周扩散至各个弹性件6上，然后在通过弹性件6缓冲后施加于第一固定件3上，力传递的平缓且均匀，防止对芯片产生破坏或损伤。

在本实用新型的一些实施例中，第一支架部21、第三支架部23和第四支架部24为一体成型结构。固定支架2呈矩形，通过将第一支架部21、第三支架部23和第四支架部24设置成一体成型的U形结构，该U形结构与基座1固定连接，第二支架与上述一体成型的U形结构通过螺栓等连接件进行连接，组成完整的固定支架2，拆装方便，而且向固定支架2内安装第一固定件3、第二固定件4、操作件7等部件时非常方便。

需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种镀膜辅助装置，其特征在于，包括基座(1)、设于所述基座(1)上的固定支架(2)、与所述固定支架(2)固定连接的第一固定件(3)、与所述固定支架(2)滑动连接的第二固定件(4)和与所述固定支架(2)连接的操作件(7)；

所述第一固定件(3)和所述第二固定件(4)间形成芯片固定区，所述操作件(7)能够控制所述第二固定件(4)在靠近和远离所述第一固定件(3)的方向上滑动。

2.根据权利要求1所述的镀膜辅助装置，其特征在于，所述固定支架(2)具有第一支架部(21)、第二支架部(22)、第三支架部(23)和第四支架部(24)，所述第一支架部(21)和所述第三支架部(23)相对设置且相互平行，所述第二支架部(22)和所述第四支架部(24)相对设置且相互平行，所述第一支架部(21)和所述第二支架部(22)相互垂直。

3.根据权利要求2所述的镀膜辅助装置，其特征在于，所述第一固定件(3)朝向所述第二固定件(4)的一侧具有第一夹持平面，所述第二固定件(4)朝向所述第一固定件(3)的一侧具有第二夹持平面，所述第一夹持平面和所述第二夹持平面平行，且所述第一夹持平面和所述第二夹持平面间形成芯片固定区。

4.根据权利要求3所述的镀膜辅助装置，其特征在于，所述第一固定件(3)包括相互连接的第一固定部(31)和第一夹持部(32)，所述第一固定部(31)的一侧与所述第四支架部(24)的朝向所述第二支架部(22)的一侧连接；

所述第一夹持部(32)具有相互平行的第一顶面和第一底面以及用于连接所述第一顶面和所述第一底面的第一侧面，所述第一底面与所述第一固定部(31)的另一侧连接，所述第一顶面的正投影居中落入所述第一底面内，所述第一顶面形成第一夹持平面。

5.根据权利要求3所述的镀膜辅助装置，其特征在于，所述第一支架部(21)和所述第三支架部(23)内均设有相互对应的滑槽；

所述第二固定件(4)包括相互连接的第二固定部(41)和第二夹持部(42)，所述第二夹持部(42)的两端分别连接一个滑块，两个所述滑块中的一个设于所述第一支架部(21)的滑槽内，两个所述滑块中的另一个设于所述第三支架部(23)的滑槽内；

所述第二夹持部(42)具有相互平行的第二顶面和第二底面以及用于连接所述第二顶面和所述第二底面的第二侧面，所述第二底面与所述第二固定部(41)的一侧连接，所述第二顶面的正投影居中落入所述第二底面内，所述第二顶面形成第二夹持平面。

6.根据权利要求5所述的镀膜辅助装置，其特征在于，所述操作件(7)贯穿所述第二支架部(22)后与所述第二固定部(41)的另一侧连接，所述操作件(7)与所述第二支架部(22)间设有限位部，所述限位部能够限制所述操作件(7)于所述第二支架部(22)内的伸缩。

7.根据权利要求6所述的镀膜辅助装置，其特征在于，所述第二支架部(22)设有操作孔，所述限位部包括设于操作孔内的内螺纹和设有所述操作件(7)上的外螺纹。

8.根据权利要求6所述的镀膜辅助装置，其特征在于，还包括过渡件(5)，所述过渡件(5)的两端均具有滑动部，两个所述滑动部中的一个设于所述第一支架部(21)的滑槽内，两个所述滑动部中的另一个设于所述第三支架部(23)的滑槽内；

所述操作件(7)与所述过渡件(5)的一侧的中心连接，所述过渡件(5)的另一侧与所述第二固定部(41)的另一侧通过多个弹性件(6)连接，所述弹性件(6)的伸缩方向与所述第一支架部(21)平行。

9.根据权利要求8所述的镀膜辅助装置，其特征在于，多个所述弹性件(6)环绕所述过渡件(5)的中心均匀设置。

10.根据权利要求2至9任一项所述的镀膜辅助装置，其特征在于，所述第一支架部(21)、所述第三支架部(23)和所述第四支架部(24)为一体成型结构。

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