CN211311567U

CN211311567U - 蒸镀装置

Info

Publication number: CN211311567U
Application number: CN202020007512.1U
Authority: CN
Inventors: 马超; 伍青峰; 李育晖; 张忠忠; 石应东; 张文畅; 黄世花
Original assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date: 2020-01-02
Filing date: 2020-01-02
Publication date: 2020-08-21
Anticipated expiration: 2030-01-02

Abstract

本申请涉及蒸镀技术领域，具体而言，涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置可包括：掩膜板，具有蒸镀图案区和位于所述蒸镀图案区周边的边框区；温控支撑组件，其包括加热支撑部、第一散热部及第一驱动部；其中，所述加热支撑部支撑所述边框区，且所述加热支撑部能够对所述边框区进行加热；所述第一散热部活动设置在所述加热支撑部上并位于所述边框区远离所述蒸镀图案区的一侧；所述第一驱动部与所述第一散热部连接，并能够驱动所述第一散热部向靠近或远离所述边框区的方向运动，以使所述第一散热部能够与所述边框区相接触或相分离。该蒸镀装置在提升蒸镀良率的同时，还能够提高稼动率。

Description

蒸镀装置

技术领域

本申请涉及蒸镀技术领域，具体而言，涉及一种蒸镀装置。

背景技术

在OLED(Organic Light-Emitting Diode；有机发光二极管)行业的成熟产线中，通常将用于蒸镀的掩膜板进行定位，以实现各像素位置的定位。其中，在蒸镀过程中，通常采用同一掩膜板蒸镀整个批次内的待蒸镀基板，但由于蒸镀过程是一个材料受热升华的过程，因此，在整个蒸镀批次内，掩膜板和待蒸镀基板之间会存在不同的受热变形；这样随着蒸镀片数(即：待蒸镀基板的个数)不断增加，导致像素位置精度不断变差。

为解决该问题，通常使用的方法是收集蒸镀片数和良率关系；根据产品的需要，规定最上限蒸镀片数；进而保证良率。该方法一方面限制了生产时间；降低了稼动率，另一方面，增加了掩膜板备料套数；为保证足够的生产时间，就需要足够多的掩膜板预备套数流转。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种蒸镀装置，在提升蒸镀良率的同时，还能够提高稼动率。

本申请提供了一种蒸镀装置，其包括：

掩膜板，具有蒸镀图案区和位于所述蒸镀图案区周边的边框区；

温控支撑组件，其包括加热支撑部、第一散热部及第一驱动部；其中，

所述加热支撑部支撑所述边框区，且所述加热支撑部能够对所述边框区进行加热；

所述第一散热部活动设置在所述加热支撑部上并位于所述边框区远离所述蒸镀图案区的一侧；

所述第一驱动部与所述第一散热部连接，并能够驱动所述第一散热部向靠近或远离所述边框区的方向运动，以使所述第一散热部能够与所述边框区相接触或相分离。

在本申请的一示例性实施例中，所述温控支撑组件设置有两组，并在第一方向上间隔排布，其中：

所述掩膜板位于两组的所述第一散热部之间，且位于所述蒸镀图案区在所述第一方向上相对两侧的所述边框区分别支撑在两组的所述加热支撑部上。

在本申请的一示例性实施例中，所述加热支撑部为在第二方向上延伸的长条形结构，所述第二方向与所述第一方向相交；

所述第一散热部为U型结构，所述U型结构的内侧壁能够在所述第一驱动部的驱动下与所述边框区的外侧壁相接触或相分离。

在本申请的一示例性实施例中，所述加热支撑部包括支撑基板、位于所述支撑基板靠近所述边框区的一侧的支撑盖板以及位于所述支撑基板与所述支撑盖板之间的加热丝。

在本申请的一示例性实施例中，所述加热支撑部上设置有温度传感器，所述温度传感器用于检测所述加热支撑部的温度。

在本申请的一示例性实施例中，还包括调温组件，设置有两组，分别位于所述掩膜板在第二方向上的相对两侧，所述第二方向与所述第一方向相交；其中，

所述调温组件可包括安装板、加热件、第二散热部及第二驱动部，所述第二驱动部与所述安装板连接，所述加热件和所述第二散热部安装在所述安装板上并朝向所述边框区；

所述加热件能够对与其相对的所述边框区进行加热；

所述第二驱动部能够驱动与其连接的所述安装板在所述第二方向上运动，以使所述第二散热部能够和与其相对的所述边框区的外侧壁相接触或相分离。

在本申请的一示例性实施例中，所述第二散热部为平板结构，所述第二散热部凸出设置在所述安装板朝向所述边框区的面上；

所述加热件为热辐射灯，所述加热件的至少部分嵌在所述安装板内。

在本申请的一示例性实施例中，所述加热件设置有多个，多个所述加热件均匀分布在所述第二散热部的至少两侧。

在本申请的一示例性实施例中，所述第一驱动部和所述第二驱动部均为驱动伸缩杆。

在本申请的一示例性实施例中，所述掩膜板呈矩形，所述掩膜板在所述第二方向上的尺寸大于或等于其在所述第一方向上的尺寸，且所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果：

本申请所提供的蒸镀装置，通过设置温控支撑组件，在实现支撑定位掩膜板的同时，还可调控掩膜板的温度，以使得掩膜板的受热变形与待蒸镀基板的受热变形相匹配，降低或消除掩膜板与待蒸镀基板之间由于受热变形不匹配而引起的像素位置精度变差的情况，继而可提升蒸镀良率，此外，由于本申请可根据实际需求实时调整掩膜板的温度，因此，在保证蒸镀良率的同时，相比于根据产品的需要规定最上限蒸镀片数的方案和增加掩膜板备料套数的方案，还可保证足够的生产时间，提升稼动率，以及降低成本。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了本申请一实施例所述的蒸镀装置的侧视示意图；

图2示出了本申请另一实施例所述的蒸镀装置的俯视示意图；

图3示出了本申请一实施例所述的蒸镀装置中加热支撑部的俯视示意图；

图4示出了本申请一实施例所述的蒸镀装置中加热支撑部的侧视示意图；

图5示出了本申请一实施例所述的蒸镀装置中第一散热部的俯视示意图；

图6示出了本申请一实施例所述的蒸镀装置中调温组件中的侧视示意图。

附图标记：

1、蒸镀装置；10、掩膜板；11、加热支撑部；110、支撑基板；111、支撑盖板；112、加热丝；12、第一散热部；120、第一散热板；121、第二散热板；122、散热连接板；13、第一驱动部；14、温度传感器；15、安装板；16、加热件；17、第二散热部；18、第二驱动部。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本申请将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。

用语“一个”、“一”、“该”、“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等；用语“第一”、“第二”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。

本申请一实施例提供了一种蒸镀装置，可用于制造OLED显示器件。如图1所示，该蒸镀装置1可包括掩膜板10和温控支撑组件；其中：

掩膜板10具有蒸镀图案区A和位于该蒸镀图案区A周边的边框区B。该蒸镀图案区A在蒸镀过程中需与待蒸镀基板的待蒸镀区相对应，在蒸镀过后，待蒸镀基板中待蒸镀区形成的图案与蒸镀图案区A的图案相适配；而边框区B的设置一方面可实现蒸镀图案区A的固定，另一方面便于掩膜板10的支撑与移动。例如，在需要将掩膜板10移动至指定位置时，可先使用机械手夹持边框区B，然后将掩膜板10移动至指定位置，并使该掩膜板10的边框区B支撑在指定位置处的支撑部上。

举例而言，此掩膜板10可呈矩形，即：掩膜板10可具有长度方向和宽度方向，该掩膜板10在其长度方向上的尺寸可大于或等于其宽度方向上的尺寸。应当理解的是，当掩膜板10在其长度方向上的尺寸等于其宽度方向上的尺寸时，该掩膜板10可呈正方形，当掩膜板10在其长度方向上的尺寸大于其宽度方向上的尺寸时，该掩膜板10可呈长方形。

温控支撑组件可包括加热支撑部11、第一散热部12及第一驱动部13。加热支撑部11可支撑掩膜板10的边框区B，且该加热支撑部11能够对边框区B进行加热；第一散热部12活动设置在加热支撑部11上，且该第一散热部12位于掩膜板10中边框区B远离其蒸镀图案区A的一侧；第一驱动部13与第一散热部12连接，并能够驱动第一散热部12向靠近或远离边框区B的方向运动，以使第一散热部12能与边框区B相接触或相分离。

具体地，若在掩膜板10的温度低于待蒸镀基板的温度时，则可控制加热支撑部11对其支撑的掩膜板10的边框区B进行加热，以使得掩膜板10的温度更接近待蒸镀基板的温度，从而使得掩膜板10的受热变形量更加靠近与待蒸镀基板的受热变形量。若在掩膜板10的温度高于待蒸镀基板的温度时，则可通过第一驱动部13驱动第一散热部12向靠近边框区B的方向运动，以使第一散热部12能够与边框区B相接触，这样使得掩膜板10的热量可通过第一散热部12向外快速散发，从而实现掩膜板10降温的目的，以使得掩膜板10的温度更接近待蒸镀基板的温度，继而使得掩膜板10的受热变形量更加靠近与待蒸镀基板的受热变形量。

应当理解的是，在不需要调整掩膜板10的温度时，可停止加热支撑部11的加热功能，并使第一散热部12向远离边框区B的方向运动，以使第一散热部12与边框区B相分离(即：不接触)。

综上，本实施例通过设置温控支撑组件，在实现支撑定位掩膜板10的同时，还可根据实际需求(例如：像素精度要求等)调控掩膜板10的温度，即：对掩膜板10进行升温或降温，以使得掩膜板10的受热变形与待蒸镀基板的受热变形相匹配，从而降低或消除掩膜板10与待蒸镀基板之间由于受热变形不匹配而引起的像素位置精度变差的情况，继而可提升蒸镀良率。

此外，由于本实施例可根据实际需求实时调整掩膜板10的温度，因此，在保证蒸镀良率的同时，相比于根据产品的需要规定最上限蒸镀片数的方案和增加掩膜板10备料套数的方案，还可保证足够的生产时间，提升稼动率，以及降低成本。

可选地，温控支撑组件可设置有两组，且此两组温控支撑组件可在第一方向X上间隔排布；而掩膜板10整体可位于两组温控支撑组件的第一散热部12之间，且掩膜板10中位于其蒸镀图案区A在第一方向X上相对两侧的边框区B分别支撑在两组温控支撑组件的加热支撑部11上。本实施例中，通过设置两组温控支撑组件，这样在保证掩膜板10的支撑稳定性的同时，还可同时对掩膜板10在第一方向X上的相对两侧进行温度调节，以使得掩膜板10受热变形更加均匀，从而可提高蒸镀良率。

在一实施例中，如图1、图3和图4所示，温控组件中加热支撑部11可为在第二方向Y上延伸的长条形结构，此第二方向Y与第一方向X相交。举例而言，该第二方向Y可与第一方向X垂直，具体地，如图2所示，此第一方向X可为与掩膜板10的宽度方向平行的方向，此第二方向Y可为与掩膜板10的长度方向平行的方向，也就是说，该加热支撑部11用于支撑掩膜板10的长边，这样可提高掩膜板10的支撑稳定性。

其中，如图4所示，加热支撑部11可包括支撑基板110、位于支撑基板110靠近边框区B的一侧的支撑盖板111以及位于支撑基板110与支撑盖板111之间的加热丝112，通过给加热丝112通电，以将电能转化为热能。需要说明的是，该支撑基板110可选择耐高温材料制作而成；而支撑盖板111由于还要与掩膜板10接触，因此，该支撑盖板111需要选择即耐高温又耐磨的材料制作而成。

应当理解的是，为了便于实时获取掩膜板10的温度，如图3所示，本实施例中加热支撑部11还可设置有温度传感器14，此温度传感器14用于检测加热支撑部11的温度，从而可获取掩膜板10的温度，通过实施比较掩膜板10的温度与待蒸镀基板的温度，以确定对掩膜板10进行降温处理，还是升温处理，即：可达到掩膜板10温度自动调节的目的。

在一实施例中，如图2和图5所示，第一散热部12可为U型结构，该U型结构的内侧壁能够在第一驱动部13的驱动下与边框区B的外侧壁(即：远离蒸镀图案区A的一侧的壁面)相接触或相分离。详细说明，此U型结构可包括在第二方向Y相对设置的第一散热板120和第二散热板121，以及连接该第一散热板120和第二散热板121、并与边框区B的外侧壁相对的散热连接板122。在掩膜板10需要降温时，可通过第一驱动部13驱动该第一散热部12向靠近边框区B的方向运动，以使第一散热板120、第二散热板121及散热连接板122分别与其对应的边框去的外侧壁相接处，以实现散热降温。

需要说明的是，如图5所示，此第一散热板120、第二散热板121及散热连接板122可均为平板结构，这样在掩膜板10需要降温的过程中，可增大第一散热部12与边框区B的接触面积，从而可提高散热效率，使得掩膜板10的温度能够快速接近待蒸镀基板的温度。

举例而言，此第一散热部12可采用热传导率高的材料制作而成，例如：铝等金属材料。

而第一驱动部13可为驱动伸缩杆。其中，此驱动伸缩杆可设置在第一散热部12中散热连接板122远离边框区B的一侧，通过使与第一散热部12连接的驱动伸缩杆在第一方向X上进行伸缩运动，以驱动第一散热部12向靠近或远离边框区B的方向运动。

在一实施例中，如图2所示，该蒸镀装置1还可包括调温组件，此调温组件可设置有两组，分别位于掩膜板10在第二方向Y上的相对两侧，该调温组件可对掩膜板10在第二方向Y上的相对两侧进行温度调节，也就是说，在温控支撑组件对掩膜板10在第一方向X上的相对两侧进行温度调节的同时，还可利用调温组件对掩膜板10在第二方向Y上的相对两侧进行温度调节，以进一步使得掩膜板10受热变形更加均匀，从而可提高蒸镀良率。

详细说明，如图2所示，该调温组件可包括安装板15、加热件16、第二散热部17及第二驱动部18，第二驱动部18与安装板15连接，加热件16和第二散热部17安装在安装板15上并朝向边框区B；此加热件16能够对与其相对的边框区B进行加热；第二驱动部18能够驱动与其连接的安装板15在第二方向Y上运动，以使第二散热部17能够和与其相对的边框区B的外侧壁相接触或相分离。

具体地，若在掩膜板10的温度低于待蒸镀基板的温度时，则可控制加热支撑部11及加热件16分别对与其对应的边框区B进行加热，以使得掩膜板10的温度更接近待蒸镀基板的温度，从而使得掩膜板10的受热变形量更加靠近与待蒸镀基板的受热变形量。若在掩膜板10的温度高于待蒸镀基板的温度时，则可通过第一驱动部13和第二驱动部18分别驱动第一散热部12和第二散热部17向靠近边框区B的方向运动，以使第一散热部12和第二散热部17能够和与其相对应的边框区B相接触，这样使得掩膜板10的热量可通过第一散热部12和第二散热部17向外快速散发，从而实现掩膜板10降温的目的，以使得掩膜板10的温度更接近待蒸镀基板的温度，继而使得掩膜板10的受热变形量更加靠近与待蒸镀基板的受热变形量。

应当理解的是，在不需要调整掩膜板10的温度时，可停止加热支撑部11和加热件16的加热功能，并使第一散热部12和第二散热部17向远离边框区B的方向运动，以使第一散热部12和第二散热部17与边框区B相分离(即：不接触)。

可选地，第二散热部17可为平板结构，该第二散热部17可凸出设置在安装板15朝向边框区B的面上；而加热件16可为热辐射灯，该加热件16的至少部分可嵌在安装板15内，其中，该热辐射灯通过照射与其对应的边框区B以对掩膜板10进行加热。

需要说明的是，在第二散热部17和与其相对应的边框区B接触，以对掩膜板10进行降温处理时，热辐射灯与该边框区B的外侧壁可具有非零间距。

进一步地，如图6所示，该加热件16可设置有多个，多个加热件16可均匀分布在第二散热部17的至少两侧，这样在提高加热效率的同时，还可提高加热均匀性。

而第二驱动部18可为驱动伸缩杆。其中，此驱动伸缩杆可设置在安装板15远离边框区B的一侧，通过使与安装板15连接的驱动伸缩杆在第二方向Y上进行伸缩运动，以驱动第二散热部17向靠近或远离与其对应的边框区B的方向运动。

需要说明的是，在移动掩膜板10的过程中，可采用机械手夹持掩膜板10在第二方向Y上的相对两边框区B，以将掩膜板10移动至指定位置。其中，在将掩膜板10移动至加热支撑部11上或将掩膜板10从加热支撑部11上移下来之前，该第二驱动部18需要驱动第二散热部17向远离掩膜板10的方向运动，以避免第二散热部17与机械手发生干涉。

还需说明的是，该蒸镀装置1还可包括蒸发腔室和蒸发源，其中，蒸发源和前述提到的温控支撑组件、掩膜板10、调温组件均可设置在蒸发腔室内，且该蒸发源可位于掩膜板10远离待蒸镀基板的一侧，通过加热蒸发源中的蒸发材料，并通过掩膜板10在待蒸镀基板的表面上沉积形成蒸发材料的蒸镀图案。此外，该蒸镀装置1还可包括真空泵、蒸发材料传输管线等结构。该蒸镀装置1可用于制作OLED显示面板中的有机发光器件等结构，例如，可以制备有机发光器件中的发光层等。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的实用新型后，将容易想到本申请的其它实施方案。本申请旨在涵盖本申请的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本申请的一般性原理并包括本申请未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本申请的真正范围和精神由所附的权利要求指出。

Claims

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述温控支撑组件设置有两组，并在第一方向上间隔排布，其中：

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述加热支撑部为在第二方向上延伸的长条形结构，所述第二方向与所述第一方向相交；

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述加热支撑部包括支撑基板、位于所述支撑基板靠近所述边框区的一侧的支撑盖板以及位于所述支撑基板与所述支撑盖板之间的加热丝。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热支撑部上设置有温度传感器，所述温度传感器用于检测所述加热支撑部的温度。

6.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括调温组件，设置有两组，分别位于所述掩膜板在第二方向上的相对两侧，所述第二方向与所述第一方向相交；其中，

所述加热件能够对与其相对的所述边框区进行加热；

7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述第二散热部为平板结构，所述第二散热部凸出设置在所述安装板朝向所述边框区的面上；

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热件设置有多个，多个所述加热件均匀分布在所述第二散热部的至少两侧。

9.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述第一驱动部和所述第二驱动部均为驱动伸缩杆。

10.根据权利要求3或6所述的蒸镀装置，其特征在于，所述掩膜板呈矩形，所述掩膜板在所述第二方向上的尺寸大于或等于其在所述第一方向上的尺寸，且所述第一方向与所述第二方向相互垂直。