CN211170852U - 一种蒸发均匀的组合坩埚 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种蒸发均匀的组合坩埚，属于材料热蒸发技术领域，装置包括喷嘴、陶瓷坩埚、金属坩埚；陶瓷坩埚为顶端开口的圆筒状腔体，陶瓷坩埚顶部设有外翻沿台，喷嘴边缘置于外翻沿台上侧，喷嘴位于陶瓷坩埚腔体上侧内部；金属坩埚为顶端开口的圆筒状腔体，陶瓷坩埚的腔体外径小于金属坩埚的腔体内径，陶瓷坩埚套于金属坩埚内，金属坩埚侧壁设有镂空部。将陶瓷坩埚放置到金属坩埚内可以有效降低蒸发料的热损耗，使蒸发料温度整体上更加均匀，提高蒸发料蒸发稳定性。金属坩埚采用上空下实的镂空设计，有利于陶瓷坩埚在镂空的位置接受更多的热量，利于蒸发料蒸发不易凝固。

Description

一种蒸发均匀的组合坩埚

技术领域

本实用新型涉及一种蒸发均匀的组合坩埚，属于材料热蒸发技术领域。

背景技术

目前在热蒸发领域所用的蒸发坩埚多是一个上下直径一致的带沿陶瓷坩埚或金属坩埚，这样的单个坩埚一方面保温效果不好，另一方面由于坩埚外部加热区域靠近坩埚的外壁，热量较高，靠近坩埚外壁的料蒸发速率高于中心区域，这样会导致蒸发镀膜不均匀，故现在亟需寻求一种蒸发均匀的坩埚来实现蒸发镀膜的均匀。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种蒸发均匀的组合坩埚。

本实用新型的技术方案如下：

一种蒸发均匀的组合坩埚，包括喷嘴、陶瓷坩埚、金属坩埚；

陶瓷坩埚为顶端开口的圆筒状腔体，陶瓷坩埚顶部设有外翻沿台，喷嘴边缘置于外翻沿台上侧，喷嘴位于陶瓷坩埚腔体上侧内部；

金属坩埚为顶端开口的圆筒状腔体，陶瓷坩埚的腔体外径小于金属坩埚的腔体内径，陶瓷坩埚套于金属坩埚内，金属坩埚侧壁设有镂空部。

优选的，金属坩埚侧壁的镂空部位于侧壁上端。

优选的，金属坩埚侧壁的镂空部为两个对称的弧状镂空，弧状镂空之间为支撑部。

优选的，金属坩埚的轴向长度大于陶瓷坩埚的轴向长度。

优选的，喷嘴包括两端开口的筒体，筒体内径由上到下先减小后增大，筒体中间部位的内径小于筒体两端端口的内径。

进一步优选的，喷嘴一端端口处设有十字挡板，十字挡板与喷嘴端口固定连接。

进一步优选的，十字挡板的数量为两个，其中一个十字挡板中间为圆环，另一个十字挡板中间为圆板。一上一下两个十字挡板，与喷嘴焊接在一起，放置到陶瓷坩埚内。

本实用新型的有益效果在于：

1.本申请的技术方案将陶瓷坩埚放置到金属坩埚内可以有效降低蒸发料的热损耗，使蒸发料温度整体上更加均匀，提高蒸发料蒸发稳定性。

2.金属坩埚采用上空下实的镂空设计，有利于陶瓷坩埚在镂空的位置接受更多的热量，利于蒸发料蒸发不易凝固。

3.金属喷嘴采用先小后大的设计，让不同蒸发速率的蒸发料先集中，缩小蒸发速率差，然后再进行均匀扩散，有利于材料热蒸发的均匀性。

附图说明

图1为本实用新型组合坩埚立体结构示意图；

图2为本实用新型组合坩埚剖面结构示意图；

图3为本实用新型陶瓷坩埚结构示意图；

图4为本实用新型金属坩埚结构示意图；

图5为本实用新型装配结构示意图；

图6-1为本实用新型喷嘴结构顶部视野立体图；

图6-2为本实用新型喷嘴结构底部视野立体图；

图6-3为本实用新型喷嘴结构俯视示意图；

图6-4为本实用新型喷嘴结构剖视示意图；

图6-5为本实用新型大环结构示意图；

图6-6为本实用新型小板结构示意图；

其中：1、金属坩埚，2、陶瓷坩埚，3、喷嘴；1-1、镂空部，1-2、支撑部，2-1、外翻沿台，3-1、十字挡板，3-2、圆环，3-2、圆板。

具体实施方式

下面通过实施例并结合附图对本实用新型做进一步说明，但不限于此。

实施例1：

一种蒸发均匀的组合坩埚，包括喷嘴3、陶瓷坩埚2、金属坩埚1，如图1、2所示。

陶瓷坩埚为顶端开口的圆筒状腔体，陶瓷坩埚顶部设有外翻沿台2-1，如图3所示，喷嘴边缘置于外翻沿台上侧，喷嘴位于陶瓷坩埚腔体上侧内部。

金属坩埚为顶端开口的圆筒状腔体，陶瓷坩埚的腔体外径小于金属坩埚的腔体内径，陶瓷坩埚套于金属坩埚内，如图5所示，金属坩埚侧壁设有镂空部1-1，金属坩埚侧壁的镂空部位于侧壁上端，如图4所示。金属坩埚的轴向长度大于陶瓷坩埚的轴向长度。

实施例2：

一种蒸发均匀的组合坩埚，其结构如实施例1所述，所不同的是，金属坩埚侧壁的镂空部为两个对称的弧状镂空，弧状镂空之间为支撑部，如图所示。

实施例3：

一种蒸发均匀的组合坩埚，其结构如实施例1所述，所不同的是，喷嘴包括两端开口的筒体，筒体内径由上到下先减小后增大，筒体中间部位的内径小于筒体两端端口的内径。

如图6-1至图6-6所示，喷嘴一端端口处设有十字挡板，十字挡板与喷嘴端口固定连接。十字挡板的数量为两个，其中一个十字挡板中间为圆环，另一个十字挡板中间为圆板。一上一下两个十字挡板，与喷嘴焊接在一起，放置到陶瓷坩埚内。

Claims (7)

1.一种蒸发均匀的组合坩埚，其特征在于，包括喷嘴、陶瓷坩埚、金属坩埚；

陶瓷坩埚为顶端开口的圆筒状腔体，陶瓷坩埚顶部设有外翻沿台，喷嘴边缘置于外翻沿台上侧，喷嘴位于陶瓷坩埚腔体上侧内部；

金属坩埚为顶端开口的圆筒状腔体，陶瓷坩埚的腔体外径小于金属坩埚的腔体内径，陶瓷坩埚套于金属坩埚内，金属坩埚侧壁设有镂空部。

2.根据权利要求1所述的蒸发均匀的组合坩埚，其特征在于，金属坩埚侧壁的镂空部位于侧壁上端。

3.根据权利要求1所述的蒸发均匀的组合坩埚，其特征在于，金属坩埚侧壁的镂空部为两个对称的弧状镂空，弧状镂空之间为支撑部。

4.根据权利要求1所述的蒸发均匀的组合坩埚，其特征在于，金属坩埚的轴向长度大于陶瓷坩埚的轴向长度。

5.根据权利要求1所述的蒸发均匀的组合坩埚，其特征在于，喷嘴包括两端开口的筒体，筒体内径由上到下先减小后增大，筒体中间部位的内径小于筒体两端端口的内径。

6.根据权利要求5所述的蒸发均匀的组合坩埚，其特征在于，喷嘴一端端口处设有十字挡板，十字挡板与喷嘴端口固定连接。

7.根据权利要求6所述的蒸发均匀的组合坩埚，其特征在于，十字挡板的数量为两个，其中一个十字挡板中间为圆环，另一个十字挡板中间为圆板。

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