CN211142237U - 一种单晶炉二次加料车 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种单晶炉二次加料车。本实用新型一种单晶炉二次加料车，包括：推车支架、提升杆、第一车轮、至少一个石英筒支撑架、至少一个挡板及石英筒底托；所述第一车轮与推车支架连接；所述石英筒底托设置于推车支架下部；所述至少一个石英筒支撑架设置于推车支架上，每个石英筒支撑架包括至少两个支撑滚轮机构，所述支撑滚轮机构包括支撑滚轮，所述支撑滚轮与石英筒支撑架内侧连接；所述至少一个挡板分别与至少一个石英筒支撑架可拆卸的连接；所述推车支架与提升杆连接，所述提升杆上还包括吊绳，所述吊绳下端包括安全扣。本实用新型结构简单，实用性强，克服了目前二次加料效率低、耗时费力、操作不便的问题。

Description

一种单晶炉二次加料车

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，尤其涉及一种单晶炉二次加料车。

背景技术

单晶炉拉晶过程对石英坩埚损耗较大，其消耗电能也较多，目前，单晶炉拉晶采用多次投料，连续拉多根晶棒能极大地提高石英坩埚的利用率、减少电能消耗、缩短工艺周期，从而有效地节约生产成本、提高长晶效率。

在单晶炉生产运行过程中，二次加料一般将料加入到石英筒中，石英筒上有挂接机构，利用副室提升旋转机构及单晶炉二次投料工装挂接石英筒将其移动进炉室进行加料。期间将石英筒移动至单晶炉加料位置需要借助单晶炉二次加料车。

实用新型内容

本实用新型提供一种单晶炉二次加料车，便于实现多次投料及取晶棒过程，以克服目前二次加料效率低、耗时费力、操作不便的问题，其结构简单，实用性强。

本实用新型提供一种单晶炉二次加料车，包括：

推车支架、提升杆、第一车轮、至少一个石英筒支撑架、至少一个挡板及石英筒底托；

所述第一车轮与推车支架连接；

所述石英筒底托设置于推车支架下部，所述石英筒底托用于放置石英筒；

所述至少一个石英筒支撑架设置于推车支架上，所述至少一个石英筒支撑架设置于所述石英筒底托上部，每个石英筒支撑架包括至少两个支撑滚轮机构，所述支撑滚轮机构包括支撑滚轮，所述支撑滚轮与石英筒支撑架内侧连接；

所述至少一个挡板分别与至少一个石英筒支撑架可拆卸的连接，所述至少一个挡板分别与至少一个石英筒支撑架连接形成闭环；

所述提升杆与推车支架上端连接，所述提升杆上还包括吊绳，所述吊绳下端包括安全扣，所述安全扣用于与石英筒的吊环连接。

进一步的，所述二次加料车还包括：车把手，所述车把手通过第一连接杆与推车支架连接。

进一步的，所述推车支架还包括推车支腿，所述推车支腿包括第二车轮。

进一步的，所述第一车轮为单轮，所述第二车轮为万向轮。

进一步的，所述推车支腿和推车支架通过支腿锁止杆和支腿连杆连接，所述支腿锁止杆第一端连接推车支腿，所述支腿锁止杆的第二端与支腿连杆的第一端连接，所述支腿连杆的第二端与推车支架连接；

所述支腿锁止杆上设置有销孔，支腿连杆上设置有销槽，锁止销第一端套有弹簧插在支腿锁止杆上的销孔内，锁止销第二端插入支腿连杆上的销槽中，所述锁止销上设置有第一连接件，所述第一连接件连接于锁止销和绳索之间，所述绳索用于拉动锁止销。

进一步的，所述第一连接件为活结螺栓。

进一步的，所述挡板上还包括挡板垫片，所述挡板垫片为尼龙材质。

进一步的，所述支撑滚轮为尼龙材质。

进一步的，支撑滚轮机构还包括：销轴及滚轮支架，所述支撑滚轮连接于销轴上，所述支撑滚轮还内嵌有两个滚珠轴承，所述销轴两端与滚轮支架连接，所述滚轮支架与石英筒支撑架连接。

进一步的，所述挡板与石英筒支撑架通过插销和销孔连接。

本实用新型一种单晶炉二次加料车，通过石英筒底托放置石英筒，石英筒支撑架支撑和垫离石英筒或晶棒，便于实现多次投料及取晶棒过程，以克服目前二次加料效率低、耗时费力、操作不便的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种单晶炉二次加料车实施例一的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种单晶炉二次加料车的支撑滚轮机构的结构示意图；

图3为本实用新型一种单晶炉二次加料车的开合结构的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1为本实用新型一种单晶炉二次加料车实施例一的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种单晶炉二次加料车的支撑滚轮机构的结构示意图。参考图1、图2所示，本实施例一种单晶炉二次加料车，包括：

推车支架1、提升杆8、第一车轮6、至少一个石英筒支撑架3、至少一个挡板4及石英筒底托5；

所述第一车轮6与推车支架1连接；

所述石英筒底托5设置于推车支架1下部，所述石英筒底托5用于放置石英筒；

所述至少一个石英筒支撑架3设置于推车支架上，所述至少一个石英筒支撑架3设置于所述石英筒底托5上部，每个石英筒支撑架3包括至少两个支撑滚轮机构，所述支撑滚轮机构包括支撑滚轮12，所述支撑滚轮12与石英筒支撑架3内侧连接；

所述至少一个挡板4分别与至少一个石英筒支撑架3可拆卸的连接，所述至少一个挡板4分别与至少一个石英筒支撑架3连接形成闭环；

所述提升杆与推车支架1上端连接，所述提升杆8上还包括吊绳9，所述吊绳9下端包括安全扣10，所述安全扣10用于与石英筒的吊环连接。

本实施例中，加料车用于单晶炉的二次加料，本实施例中的挡板与石英筒支撑架可拆卸的连接，在投料使用时，先拆掉挡板，将装有硅料的石英筒放置于二次加料车的石英筒底托上，将石英筒的吊环挂在二次加料车的安全扣上，插上挡板，由于石英筒支撑架上包括支撑滚轮，能够支撑和垫离石英料筒，使得石英料筒不易被划伤磕损。安装好挡板后，将二次加料车推至单晶炉加料位置，取掉挡板，解下石英筒吊环挂在二次投料工装的安全扣上，进行加料工序，加料完成后装上挡板运走，完成二次加料过程。

本实施例中，提升杆与推车支架上端连接，具体的，石英筒支撑架3两端均焊有带插孔的安装块，所述提升杆插在三组石英筒支撑架3安装块插孔内，用吊环螺栓固定。

本实施例中，石英筒支撑架3可以为三个，三个石英筒支撑架3利用螺栓安装在推车支架1的主方钢上，三个石英筒支撑架两端均焊有带插孔的安装块。

本实施例中，提升杆的端部还包括吊绳，吊绳为钢丝绳，吊绳下端包括安全扣，所述安全扣用于与石英筒的吊环连接。所述吊绳与提升杆的端部通过一个吊环连接，吊环焊在提升杆上，吊环另一端穿有钢丝绳，钢丝绳通过钢丝绳双夹11固定。

本实施例中，石英筒支撑架3上装有支撑滚轮机构，支撑滚轮机构的个数可以为2个，也可以为两个以上，具体的，支撑滚轮机构可包括滚轮支架 15和支撑滚轮12，所述滚轮支架连接于石英筒支架3内侧，所述支撑滚轮与滚轮支架连接，即支撑滚轮通过滚轮支架与石英筒支架内侧连接。

具体的，滚轮支架15上可焊有一根螺柱21、一根圆柱22，通过螺柱21、螺母23及圆柱22将滚轮支架15固定在石英筒支撑架3上；支撑滚轮12通过销轴13和开口销24固定在滚轮支架上，支撑滚轮12内还嵌有两个滚珠轴承14。

本实施例中，支撑滚轮为耐高温尼龙材质，用于支撑和垫离石英料筒及硅棒，防止划伤磕损石英料筒及硅棒。

可选的，所述挡板上还包括挡板垫片，所述挡板垫片为尼龙材质。

本实施例中，挡板上也包括耐高温尼龙材质的挡板垫片，用于支撑和垫离石英料筒及硅棒，防止划伤磕损石英料筒及硅棒，使得支撑和垫离石英料筒或硅棒时受力更均匀，效果更好。

可选的，本实施例中的二次加料车还包括：车把手26，所述车把手26 通过第一连接杆与推车支架连接。

本实施例中的二次加料车还包括车把手，便于工作人员手推加料车。

可选的，所述推车支架还包括推车支腿2，所述推车支腿包括第二车轮。

本实施例中，推车支腿包括第二车轮，推车支腿的第二车轮和第一车轮共同作为加料车合作，使得加料车结构更稳。

可选的，所述第一车轮为单轮，所述第二车轮为万向轮。本实施例中的单轮，即定向轮。

本实施例中，第一车轮可以为两个，第二车轮也可以为两个。

可选的，所述挡板与石英筒支撑架通过插销和销孔连接。

具体的，挡板4两端焊有插销，挡板4利用插销安装在石英筒支撑架上。

图3为本实用新型一种单晶炉二次加料车的开合结构的结构示意图。参考图1、图3所示，本实施例中，所述推车支腿2和推车支架1通过支腿锁止杆17和支腿连杆18连接，支腿锁止杆17与支腿连杆18之间装有开合机构；

具体的，所述支腿锁止杆17第一端连接推车支腿2，所述支腿锁止杆17 的第二端与支腿连杆18的第一端连接，所述支腿连杆18的第二端与推车支架1连接；

所述支腿锁止杆17上设置有销孔，支腿连杆上设置有销槽，锁止销19 第一端套有弹簧20插在支腿锁止杆17上的销孔内，锁止销19第二端插入支腿连杆18上的销槽中，所述锁止销19上设置有第一连接件21，所述第一连接件21连接于锁止销19和吊绳9之间，所述吊绳9用于拉动锁止销。

可选的，第一连接件可为活结螺栓。

可选的，钢丝绳通过钢丝绳双夹25固定连接。

本实施例中，绳索为钢丝绳，拉动吊绳9可使活结螺栓21带动锁止销 19压缩弹簧20，锁止销19压缩弹簧20后会从支腿连杆18销槽中脱出，锁止销19脱出后推车支腿2可收缩折叠，便于闲置时节省存放空间。

本实施例中，投料使用过程：先取掉挡板4，将装有硅料的石英筒放置于二次加料车石英筒底托5上，将石英筒的吊环挂在二次加料车的安全扣10 上，插上挡板4，石英筒支撑架3、挡板4上的支撑滚轮12及挡板垫块16会支撑和垫离石英料筒，防止划伤磕损石英料筒。将二次加料车推至单晶炉加料位置，取掉挡板4，将石英筒的吊环从二次加料车的安全扣10上解下挂在单晶炉二次投料工装的安全扣上，利用副室提升旋转机构将石英料筒移动至炉室进行加料，投料完成后再移至多用途二次加料车，装上挡板4运走，完成二次加料过程。

取晶棒使用过程：将二次加料车推至单晶炉取晶棒位置，取掉挡板4，通过副室提升旋转机构将晶棒从炉室移至二次加料车上，安装挡板4，石英筒支撑架3、挡板4上的支撑滚轮12及挡板垫块16会支撑和垫离晶棒，防止划伤磕损晶棒，完成取晶棒及其搬运过程。

本实用新型一种单晶炉二次加料车，通过石英筒底托放置石英筒，石英筒支撑架、挡板及石英筒支撑架上的支撑滚轮及挡板垫块16支撑和垫离石英筒或晶棒，使用本实施例中的二次加料车能够更稳定、安全的实现加料和取晶棒，便于实现多次投料及取晶棒过程，以克服目前二次加料效率低、耗时费力、操作不便的问题。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种单晶炉二次加料车，其特征在于，包括：

推车支架、提升杆、第一车轮、至少一个石英筒支撑架、至少一个挡板及石英筒底托；

所述第一车轮与推车支架连接；

所述石英筒底托设置于推车支架下部，所述石英筒底托用于放置石英筒；

所述至少一个石英筒支撑架设置于推车支架上，所述至少一个石英筒支撑架设置于所述石英筒底托上部，每个石英筒支撑架包括至少两个支撑滚轮机构，所述支撑滚轮机构包括支撑滚轮，所述支撑滚轮与石英筒支撑架内侧连接；

所述至少一个挡板分别与至少一个石英筒支撑架可拆卸的连接，所述至少一个挡板分别与至少一个石英筒支撑架连接形成闭环；

所述推车支架与提升杆连接，所述提升杆上还包括吊绳，所述吊绳下端包括安全扣，所述安全扣用于与石英筒的吊环连接。

2.根据权利要求1所述的二次加料车，其特征在于，

所述二次加料车还包括：车把手，所述车把手通过第一连接杆与推车支架连接。

3.根据权利要求1所述的二次加料车，其特征在于，

所述推车支架还包括推车支腿，所述推车支腿包括第二车轮。

4.根据权利要求3所述的二次加料车，其特征在于，

所述第一车轮为单轮，所述第二车轮为万向轮。

5.根据权利要求3所述的二次加料车，其特征在于，

所述推车支腿和推车支架通过支腿锁止杆和支腿连杆连接，所述支腿锁止杆第一端连接推车支腿，所述支腿锁止杆的第二端与支腿连杆的第一端连接，所述支腿连杆的第二端与推车支架连接；

所述支腿锁止杆上设置有销孔，支腿连杆上设置有销槽，锁止销第一端套有弹簧插在支腿锁止杆上的销孔内，锁止销第二端插入支腿连杆上的销槽中，所述锁止销上设置有第一连接件，所述第一连接件连接于锁止销和绳索之间，所述绳索用于拉动锁止销。

6.根据权利要求5所述的二次加料车，其特征在于，

所述第一连接件为活结螺栓。

7.根据权利要求1-6任一项所述的二次加料车，其特征在于，

所述挡板上还包括挡板垫片，所述挡板垫片为尼龙材质。

8.根据权利要求1-6任一项所述的二次加料车，其特征在于，

所述支撑滚轮为尼龙材质。

9.根据权利要求1-6任一项所述的二次加料车，其特征在于，

支撑滚轮机构还包括：销轴及滚轮支架，所述支撑滚轮连接于销轴上，所述支撑滚轮还内嵌有两个滚珠轴承，所述销轴两端与滚轮支架连接，所述滚轮支架与石英筒支撑架连接。

10.根据权利要求1-6任一项所述的二次加料车，其特征在于，

所述挡板与石英筒支撑架通过插销和销孔连接。

Images