CN211140628U - 一种单晶硅转移装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅转移装置。包括：支撑架；载棒台，其设置在所述支撑架的一侧，用于承托单晶硅棒；滚外周装置，其设置在所述载棒台的对侧，用于对单晶硅棒进行滚外周检测；以及夹持装置，其通过位置调节机构与所述支撑架活动连接，用于夹取所述单晶硅棒；位置调节机构，其设置在所述夹持装置与支撑架之间，用于调整夹持装置在支撑架上的位置；其中，所述夹持装置包括；框架，其包括上框体、下框体和设置在所述上框体与下框体之间的连接杆组成；上托架；下托架。本实用新型的有益效果是：能够夹持和移动单晶硅棒。

Description

一种单晶硅转移装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅领域，特别涉及一种单晶硅转移装置。

背景技术

使用直拉法生产的单晶硅要通过后续的一系列机械加工以达到客户所需的质量标准，例如对于生产硅盘用单晶硅棒要经过开断、滚外周以及线切割等初步的加工，通常转移工作使用车间的吊车，滚外周设备夹持硅棒运转时滚外周设备不可以对硅棒轴向施加很大的力以免损坏硅棒，所以通常使用专门的胶水将硅棒粘合在粘板上再固定在滚外周设备上，等待胶水粘合的时间为4小时左右，后续还需进行脱胶、清洗等工作。硅棒的转运和夹持的过程在一定程度上影响了产品的生产效率，在一定程度上也增加了工作的危险性，所以对于目前的行业需求，生产中迫切需要一种在保证成品质量的可以转移夹持单晶硅棒的装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅转移装置，能够夹持和移动单晶硅棒。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案，包括：

支撑架；

夹持装置，其通过位置调节机构与所述支撑架活动连接，用于夹取所述单晶硅棒；

位置调节机构，其设置在所述夹持装置与支撑架之间，用于调整夹持装置在支撑架上的位置；

其中，所述夹持装置包括；

框架，其包括上框体、下框体和设置在所述上框体与下框体之间的连接杆组成；

上托架，其位置可调节地设置在所述上框体上，用于从上方固定所述单晶硅棒；

下托架，其位置可调节地设置在所述下框体上，用于从下方承托单晶硅棒。

优选的是，所述上托架包括：

第一左右旋丝杆，其横向可旋转地架设在所述上框体上，在所述第一左右旋丝杆的两端设有相反的螺纹；

第一丝母和第二丝母，分别套设在所述第一左右旋丝杆的两端，并与所述第一左右旋丝杆相匹配；

第一移动座和第二移动座，其分别与所述第一丝母和第二丝母固定连接；

第一弧形梁和第二弧形梁，其中部分别与所述第一移动座和第二移动座的下端连接，在所述第一弧形梁和第二弧形梁的两侧分别设有上导轮组；

第一驱动电机，其设置在上框体上，第一驱动电机的输出轴与所述第一左右旋丝杆连接，用于带动所述第一左右旋丝杆旋转。

优选的是，所述下托架包括：

第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆，其分别可旋转地设置在所述下框体上，在所述第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆的两端设有相反的螺纹；

第三丝母和第四丝母，分别套设在所述第二左右旋丝杆的两端，并与所述第二左右旋丝杆相匹配；

第五丝母和第六丝母，分别套设在所述第三左右旋丝杆的两端，并与所述第三左右旋丝杆相匹配；

第三移动座和第四移动座，其分别与所述第三丝母和第四丝母固定连接；

第五移动座和第六移动座，其分别与所述第五丝母和第六丝母固定连接；

第一支撑杆，其架设在所述第三移动座和第五移动座之间；

第二支撑杆，其架设在所述第四移动座和第六移动座之间；

一对支撑辊，其分别设置在所述第一支撑杆和第二支撑杆上，用于从下方承托单晶硅棒；

第二驱动电机，其设置在所述下框体上，第二驱动电机的输出轴分别与所述第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆传动连接，用于带动所述第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆旋转。

优选的是，还包括：

液压缸，其设置在所述支撑辊与第一支撑杆和第二支撑杆之间，用于支撑所述支撑辊；

压力传感器，其设置在所述支撑辊与液压缸之间，用于检测支撑辊承受的压力。

优选的是，所述第一支撑杆和第二支撑杆可旋转地上架设在所述第三移动座和第五移动座、第四移动座和第六移动座之间，在所述第一支撑杆和第二支撑杆的末端分别设有第三驱动电机和第四驱动电机，用于调整支撑辊的支撑角度。

优选的是，所述位置调节机构包括：

第一导轨和第二导轨，其并列设置在所述支撑架的上部；

第一导轨块和第二导轨块，其中心孔分别与所述第一导轨和第二导轨相匹配；

连接板，其固设在所述第一导轨块和第二导轨块的上端面上，在所述连接板上设有限位孔，

液压缸，其设置在所述连接板的中心，液压缸的活塞杆与所述框架连接，用于带动所述框架升降；

限位导柱，其设置在所述框架的上部，并穿过所述限位孔。

优选的是，还包括：

第三导轨和第四导轨，其并列设置在所述支撑架的下方；

第三导轨块和第四导轨块，其中心孔分别与所述第三导轨和第四导轨相匹配，三导轨块和第四导轨块的上端面与所述支撑架下端连接。

优选的是，还包括：

载棒台，其设置在所述支撑架的一侧，用于承托单晶硅棒；

滚外周装置，其设置在所述载棒台的对侧，用于对单晶硅棒进行滚外周检测。

优选的是，所述载棒台包括：

台体，其设置在所述支撑架的一侧，在所述台体上部设有向下凹陷的弧形台，用于承托单晶硅棒。

优选的是，所述滚外周装置包括：

底座，其设置在所述台体的对侧；

固定部，其设置在所述底座的一端；

活动部，其位置可调节地设置在所述底座上；

一对夹持块，其分别可旋转地设置在所述固定部和活动部上，用于夹持单晶硅棒。

实用新型的有益效果是：能够夹持和移动单晶硅棒。

附图说明

图1是实用新型一种单晶硅转移装置的立体图I；

图2是实用新型一种单晶硅转移装置的立体图II；

图3是本实用新型中支撑架的立体图；

图4是本实用新型中载棒台的立体图；

图5是本实用新型中滚外周装置的立体图；

图6是本实用新型中夹持装置的立体图I；

图7是本实用新型中夹持装置的立体图II。

具体实施方式

下面结合附图对实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不排除一个或其它元件或其组合的存在或添加。

如图1-7所示，本实用新型的一种实现形式，为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案，包括：

支撑架110由金属材料制成的长方形框111和支撑柱112制成；作为一种优选，所述支撑架110不锈钢制成。作为进一步优选，还包括：第三导轨113和第四导轨114分别并列设置在所述支撑架的下方；第三导轨块和第四导轨块的中心孔分别与所述第三导轨113和第四导轨114相匹配，第三导轨块和第四导轨块的上端面与所述支撑柱112的下端连接。

载棒台120设置在所述支撑架110的一侧，用于承托单晶硅棒2；作为一种优选，所述载棒台120包括：台体121设置在所述支撑架110的一侧，在所述台体121上部设有向下凹陷的弧形台122，用于承托单晶硅棒。

滚外周装置130设置在所述载棒台120的对侧，用于对单晶硅棒2进行滚外周检测；作为一种优选，所述滚外周装置130包括：底座131设置在所述台体121的对侧；固定部132设置在所述底座131的一端；活动部133位置可调节地设置在所述底座上；一对夹持块134分别可旋转地设置在所述固定部132和活动部133上，用于夹持单晶硅棒。作为进一步优选，在所述底座131上设有限位槽，在所述活动部133的下端设有与所述限位槽相匹配的限位块，气缸的活塞杆与所述活动部连接，用于带动活动部133移动。

夹持装置140，其通过位置调节机构170与所述支撑架110活动连接，用于夹取所述单晶硅棒；作为一种优选，所述夹持装置140包括：框架包括上框体141、下框体142和设置在所述上框体141与下框体142之间的连接杆143组成；上托架150，其位置可调节地设置在所述上框体141上，用于从上方固定所述单晶硅棒2；下托架160位置可调节地设置在所述下框体142上，用于从下方承托单晶硅棒。作为进一步优选，所述上托架150包括：第一左右旋丝杆151横向可旋转地架设在所述上框体141上，在所述第一左右旋丝杆151的两端设有相反的螺纹；第一丝母和第二丝母，分别套设在所述第一左右旋丝杆151的两端，并与所述第一左右旋丝杆151相匹配；第一移动座153a和第二移动座153b，其分别与第一丝母和第二丝母固定连接；第一弧形梁154a和第二弧形梁154b的中部分别与所述第一移动座153a和第二移动座153b的下端连接，在所述第一弧形梁154a和第二弧形梁154b的两侧分别设有上导轮组155；第一驱动电机156设置在上框体141上，第一驱动电机156的输出轴与所述第一左右旋丝杆151连接，用于带动所述第一左右旋丝杆151旋转。作为一种优选，在所述第一移动座153a和第二移动座153b与第一弧形梁154a和第二弧形梁154b之间设有减震装置。所述下托架160包括：第二左右旋丝杆161和第三左右旋丝杆162分别可旋转地设置在所述下框体上，在所述第二左右旋丝杆161和第三左右旋丝杆162的两端设有相反的螺纹；第三丝母和第四丝母，分别套设在所述第二左右旋丝杆161的两端，并与所述第二左右旋丝杆161相匹配；第五丝母和第六丝母，分别套设在所述第三左右旋丝杆162的两端，并与所述第三左右旋丝杆162相匹配；第三移动座165a和第四移动座165b，其分别与所述第三丝母和第四丝母固定连接；第五移动座166a和第六移动座166b分别与所述第五丝母和第六丝母固定连接；第一支撑杆167a架设在所述第三移动座165a和第五移动座166a之间；第二支撑杆167b架设在所述第四移动座165b和第六移动座166b之间；一对支撑辊168分别设置在所述第一支撑杆167a和第二支撑杆167b上，用于从下方承托单晶硅棒；第二驱动电机169，其设置在所述下框体上，第二驱动电机169的输出轴分别与所述第二左右旋丝杆161和第三左右旋丝杆162传动连接，用于带动所述第二左右旋丝杆161和第三左右旋丝杆162旋转。作为进一步优选,所述支撑辊168通过液压缸168a设置在所述第一支撑杆167a和第二支撑杆167b上。

位置调节机构170设置在所述夹持装置140与支撑架110之间，用于调整夹持装置在支撑架110上的位置。所述位置调节机构170包括：第一导轨171和第二导轨172，其并列设置在所述支撑架110的上部；第一导轨块173和第二导轨块174的中心孔分别与所述第一导轨171和第二导轨172相匹配；连接板固设在所述第一导轨块173和第二导轨块174的上端面上，在所述连接板175上设有限位孔，液压缸176设置在所述连接板175的中心，液压缸176的活塞杆与所述框架140连接，用于带动所述框架升降；限位导柱177设置在所述框架140的上部，并穿过所述限位孔。作为一种优选，设有液压伸缩杆，所述伸缩杆与所述连接板175连接，用于带动连接板175移动。

在使用过程中，先通过位置调节机构170将夹持装置140调整至盛放单晶硅棒的载棒台120的正上方，通过第二驱动电机169使第二左右旋丝杆161和第三左右旋丝杆162随之转动，设置在第二左右旋丝杆161上的第三丝母、第四丝母相背运动，第三左右旋丝杆162上的第五丝母和第六丝母相背运动，使支撑辊168的间距大于单晶硅棒的直径。再通过位置调节机构170带动夹持装置140下降，使支撑辊168位于单晶硅棒的下方，再次反向开启第二驱动电机169使第二左右旋丝杆161和第三左右旋丝杆162随之转动，设置在第二左右旋丝杆161上的第三丝母、第四丝母相向运动，第三左右旋丝杆162上的第五丝母和第六丝母向向运动，使支撑辊168的间距小于单晶硅棒的直径，大于载棒台的宽度。再在通过调节机构170使支撑辊168向上托举单晶硅棒，再次通过调节机构170使滚外周装置130移动至滚外周装置130附近，将单晶硅棒的位置调整至与所述滚外周装置130同心。通过滚外周装置130将单晶硅棒夹紧。再次正向开启第二驱动电机169，使第二左右旋丝杆161和第三左右旋丝杆162随之转动，设置在第二左右旋丝杆161上的第三丝母、第四丝母相背运动，第三左右旋丝杆162上的第五丝母和第六丝母相背运动，使支撑辊168的间距大于单晶硅棒的直径，开启调节机构170使夹持装置140抬起至单晶硅棒上方，完成移转。在此过程中，可以根据单晶硅棒的长度不同，开启第一驱动电机156，调整第一弧形梁154a和第二弧形梁154b的距离，以适应不同程度的单晶硅棒。

在另一个实施例中，所述上托架150包括：第一左右旋丝杆151横向可旋转地架设在所述上框体141上，在所述第一左右旋丝杆151的两端设有相反的螺纹；第一丝母和第二丝母，分别套设在所述第一左右旋丝杆151的两端，并与所述第一左右旋丝杆151相匹配；第一移动座153a和第二移动座153b，其分别与第一丝母和第二丝母固定连接；第一弧形梁154a和第二弧形梁154b的中部分别与所述第一移动座153a和第二移动座153b的下端连接，在所述第一弧形梁154a和第二弧形梁154b的两侧分别设有上导轮组155；第一驱动电机156设置在上框体141上，第一驱动电机156的输出轴与所述第一左右旋丝杆151连接，用于带动所述第一左右旋丝杆151旋转。作为一种优选，在所述第一移动座153a和第二移动座153b与第一弧形梁154a和第二弧形梁154b之间设有减震装置。

在另一个实施例中，所述下托架包括：第二左右旋丝杆161和第三左右旋丝杆162分别可旋转地设置在所述下框体上，在所述第二左右旋丝杆161和第三左右旋丝杆162的两端设有相反的螺纹；第三丝母和第四丝母，分别套设在所述第二左右旋丝杆161的两端，并与所述第二左右旋丝杆161相匹配；第五丝母和第六丝母，分别套设在所述第三左右旋丝杆162的两端，并与所述第三左右旋丝杆162相匹配；第三移动座165a和第四移动座165b，其分别与所述第三丝母和第四丝母固定连接；第五移动座166a和第六移动座166b分别与所述第五丝母和第六丝母固定连接；第一支撑杆167a架设在所述第三移动座和第五移动座之间；第二支撑杆167b架设在所述第四移动座和第六移动座之间；一对支撑辊168分别设置在所述第一支撑杆167a和第二支撑杆167b上，用于从下方承托单晶硅棒；第二驱动电机169，其设置在所述下框体上，第二驱动电机169的输出轴分别与所述第二左右旋丝杆161和第三左右旋丝杆162传动连接，用于带动所述第二左右旋丝杆161和第三左右旋丝杆162旋转。作为一种优选，第二驱动电机169通过传动螺杆与第二左右旋丝杆161和第三左右旋丝杆162连接。

在另一个实施例中，还包括：液压缸168a设置在所述支撑辊168与第一支撑杆167a和第二支撑杆167b之间，用于支撑所述支撑辊168；压力传感器设置在所述支撑辊与液压缸之间，用于检测支撑辊承受的压力。

在另一个实施例中，所述第一支撑杆167a和第二支撑杆167b通过轴承可旋转地上架设在所述第三移动座和第五移动座、第四移动座和第六移动座之间，在所述第一支撑杆167a和第二支撑杆167b的末端分别设有第三驱动电机和第四驱动电机，用于调整支撑辊168的支撑角度。

在另一个实施例中，所述位置调节机构170包括：第一导轨171和第二导轨172，其并列设置在所述支撑架110的上部；第一导轨块173和第二导轨块174的中心孔分别与所述第一导轨171和第二导轨172相匹配；连接板固设在所述第一导轨块173和第二导轨块174的上端面上，在所述连接板175上设有限位孔，液压缸176设置在所述连接板175的中心，液压缸176的活塞杆与所述框架140连接，用于带动所述框架140的升降；限位导柱177设置在所述框架140的上部，并穿过所述限位孔。

在另一个实施例中，还包括：第三导轨113和第四导轨114分别并列设置在所述支撑架的下方；第三导轨块和第四导轨块的中心孔分别与所述第三导轨113和第四导轨114相匹配，第三导轨块和第四导轨块的上端面与所述支撑柱112的下端连接。

在另一个实施例中，所述载棒台包括：台体121设置在所述支撑架110的一侧，在所述台体121上部设有向下凹陷的弧形台122，用于承托单晶硅棒。

在另一个实施例中，所述滚外周装置130包括：底座131设置在所述台体121的对侧；固定部132设置在所述底座131的一端；活动部133位置可调节地设置在所述底座上；一对夹持块133分别可旋转地设置在所述固定部132和活动部133上，用于夹持单晶硅棒。作为一种优选，在所述底座131上设有限位槽，在所述活动部133的下端设有与所述限位槽相匹配的限位块，气缸的活塞杆与所述活动部连接，用于带动活动部133移动。

综上所述，本实用新型一种单晶硅转移装置1，能够夹持单晶硅棒，将单晶硅棒由载棒台移转至滚外周装置。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (10)

1.一种单晶硅转移装置，其特征在于，包括：

支撑架；

夹持装置，其通过位置调节机构与所述支撑架活动连接，用于夹取所述单晶硅棒；

位置调节机构，其设置在所述夹持装置与支撑架之间，用于调整夹持装置在支撑架上的位置；

其中，所述夹持装置包括；

框架，其包括上框体、下框体和设置在所述上框体与下框体之间的连接杆组成；

上托架，其位置可调节地设置在所述上框体上，用于从上方固定所述单晶硅棒；

下托架，其位置可调节地设置在所述下框体上，用于从下方承托单晶硅棒。

2.根据权利要求1所述的单晶硅转移装置，其特征在于，所述上托架包括：

第一左右旋丝杆，其横向可旋转地架设在所述上框体上，在所述第一左右旋丝杆的两端设有相反的螺纹；

第一丝母和第二丝母，分别套设在所述第一左右旋丝杆的两端，并与所述第一左右旋丝杆相匹配；

第一移动座和第二移动座，其分别与所述第一丝母和第二丝母固定连接；

第一弧形梁和第二弧形梁，其中部分别与所述第一移动座和第二移动座的下端连接，在所述第一弧形梁和第二弧形梁的两侧分别设有上导轮组；

第一驱动电机，其设置在上框体上，第一驱动电机的输出轴与所述第一左右旋丝杆连接，用于带动所述第一左右旋丝杆旋转。

3.根据权利要求1或2所述的单晶硅转移装置，其特征在于，所述下托架包括：

第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆，其分别可旋转地设置在所述下框体上，在所述第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆的两端设有相反的螺纹；

第三丝母和第四丝母，分别套设在所述第二左右旋丝杆的两端，并与所述第二左右旋丝杆相匹配；

第五丝母和第六丝母，分别套设在所述第三左右旋丝杆的两端，并与所述第三左右旋丝杆相匹配；

第三移动座和第四移动座，其分别与所述第三丝母和第四丝母固定连接；

第五移动座和第六移动座，其分别与所述第五丝母和第六丝母固定连接；

第一支撑杆，其架设在所述第三移动座和第五移动座之间；

第二支撑杆，其架设在所述第四移动座和第六移动座之间；

一对支撑辊，其分别设置在所述第一支撑杆和第二支撑杆上，用于从下方承托单晶硅棒；

第二驱动电机，其设置在所述下框体上，第二驱动电机的输出轴分别与所述第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆传动连接，用于带动所述第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆旋转。

4.根据权利要求3所述的单晶硅转移装置，其特征在于，还包括：

液压缸，其设置在所述支撑辊与第一支撑杆和第二支撑杆之间，用于支撑所述支撑辊；

压力传感器，其设置在所述支撑辊与液压缸之间，用于检测支撑辊承受的压力。

5.根据权利要求4所述的单晶硅转移装置，其特征在于：所述第一支撑杆和第二支撑杆可旋转地上架设在所述第三移动座和第五移动座、第四移动座和第六移动座之间，在所述第一支撑杆和第二支撑杆的末端分别设有第三驱动电机和第四驱动电机，用于调整支撑辊的支撑角度。

6.根据权利要求1或2所述的单晶硅转移装置，其特征在于，所述位置调节机构包括：

第一导轨和第二导轨，其并列设置在所述支撑架的上部；

第一导轨块和第二导轨块，其中心孔分别与所述第一导轨和第二导轨相匹配；

连接板，其固设在所述第一导轨块和第二导轨块的上端面上，在所述连接板上设有限位孔，

液压缸，其设置在所述连接板的中心，液压缸的活塞杆与所述框架连接，用于带动所述框架升降；

限位导柱，其设置在所述框架的上部，并穿过所述限位孔。

7.根据权利要求6所述的单晶硅转移装置，其特征在于，还包括：

第三导轨和第四导轨，其并列设置在所述支撑架的下方；

第三导轨块和第四导轨块，其中心孔分别与所述第三导轨和第四导轨相匹配，三导轨块和第四导轨块的上端面与所述支撑架下端连接。

8.根据权利要求1所述的单晶硅转移装置，其特征在于，还包括：

载棒台，其设置在所述支撑架的一侧，用于承托单晶硅棒；

滚外周装置，其设置在所述载棒台的对侧，用于对单晶硅棒进行滚外周检测。

9.根据权利要求8所述的单晶硅转移装置，其特征在于，所述载棒台包括：

台体，其设置在所述支撑架的一侧，在所述台体上部设有向下凹陷的弧形台，用于承托单晶硅棒。

10.根据权利要求9所述的单晶硅转移装置，其特征在于，所述滚外周装置包括：

底座，其设置在所述台体的对侧；

固定部，其设置在所述底座的一端；

活动部，其位置可调节地设置在所述底座上；

一对夹持块，其分别可旋转地设置在所述固定部和活动部上，用于夹持单晶硅棒。

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