CN211079411U - 处理槽设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种处理槽设备，包括：壳体，设置在所述壳体内的至少2个盛放挥发性溶液的处理槽，还包括对所述处理槽对应设置的抽风装置，将待处理件在所述处理槽之间进行移送的机械手，设置在相邻处理槽之间可打开或关闭的隔离装置。由于隔离装置可实现自动开启或者关闭，当机械手往返移动时，可顺利通过隔离装置，从而正常工作。因此，无需在清洗槽内设置动力装置，从而减小清洗槽的体积。

Description

处理槽设备

技术领域

本实用新型涉及太阳能光伏技术领域，尤其涉及一种处理槽设备。

背景技术

太阳能电池板在生产过程中，硅片需要经过酸性溶液槽体、水槽以及碱性溶液等工序。首先硅片经过酸性溶液后，然后通过水进行清洗，最后再经过碱性溶液，硅片容易被酸性气体再次污染。当然，硅片也可以依次经过碱性溶液、水以及酸性溶液。由于酸性溶液和碱性溶液容易挥发，因此，需要在酸性溶液和碱性溶液之间设置隔离板。在现有技术中，由于隔离板的设计存在缺陷，导致水槽体积较大，以致设备体积较大。由于水槽体积较大，导致耗水量较大。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种处理槽设备，旨在解决现有技术中相邻工艺槽液体挥发后污染原始药剂的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：

一种处理槽设备，包括：壳体，设置在所述壳体内的至少2个盛放挥发性溶液的处理槽，还包括对所述处理槽对应设置的抽风装置，将待处理件在所述处理槽之间进行移送的机械手，设置在相邻处理槽之间可打开或关闭的隔离装置。

其中，还包括设置在相邻处理槽之间的工艺槽。

其中，所述隔离装置包括驱动组件和隔板组件，所述驱动组件用于驱动所述隔板组件打开或者关闭。

其中，所述隔板组件包括顺次连接的第一门板和第二门板，且所述第一门板和所述第二门板位于相互平行的两个不同平面；所述驱动组件包括设置在所述第一门板上方一侧的第一气缸，活塞杆端部与所述第二门板远离所述第一门板一侧连接的第二气缸，所述第二气缸的另一端与所述第一气缸的活塞杆端部连接；当隔板组件关闭时，所述第一气缸的活塞杆收缩，所述第二气缸的活塞杆伸展；当隔板组件打开时，所述第一气缸的活塞杆从所述第二门板向所述第一门板的方向伸展，所述第二气缸的活塞杆收缩。

其中，所述隔板组件包括顺次连接的第一门板和第二门板，且所述第一门板和所述第二门板位于相互平行的两个不同平面；所述驱动组件包括活塞杆端部与所述第二门板远离第一门板一侧连接的气缸；当隔板组件关闭时，所述气缸的活塞杆伸展；当隔板组件打开时，所述气缸的活塞杆收缩。

其中，所述隔板组件包括门板；所述驱动组件包括设置在所述门板上方一侧的第一气缸，活塞杆端部与所述门板左侧连接的第二气缸，所述第二气缸的另一端与所述第一气缸的活塞杆端部连接；当隔板组件关闭时，所述第一气缸的活塞杆收缩，所述第二气缸的活塞杆伸展；当隔板组件打开时，所述第一气缸的活塞杆从右向左的方向伸展，所述第二气缸的活塞杆收缩。

其中，所述驱动组件包括气缸；所述隔板组件包括门板；其中，所述气缸和所述门板连接，所述气缸驱动所述门板移动。

其中，所述隔离装置包括驱动元件和卷帘，所述驱动元件驱动所述卷帘收放。

其中，所述隔离装置包括：第一隔离组件：所述第一隔离组件包括第一驱动元件、第一盖板及第一转轴，所述第一盖板和所述第一转轴连接，所述第一驱动元件和所述第一转轴连接，所述第一驱动元件驱动所述第一转轴转动，所述第一转轴带动所述第一盖板转动；第二隔离组件：所述第二隔离组件包括第二驱动元件、第二盖板及第二转轴，所述第二盖板和所述第二转轴连接，所述第二驱动元件和所述第二转轴连接，所述第二驱动元件驱动所述第二转轴转动，所述第二转轴带动所述第二盖板转动；其中，在关闭状态下，所述第一盖板和所述第二盖板向内关闭；在打开状态下，所述第一盖板和所述第二盖板向外打开。

其中，所述处理槽设备还包括定位传感器，所述定位传感器用于当隔板组件到达某一位置时，使驱动组件停止工作。

上述处理槽设备，由于隔离装置可实现自动开启或者关闭，当机械手往返移动时，可顺利通过隔离装置，从而正常工作。因此，无需在清洗槽内设置动力装置，从而减小清洗槽的体积。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型的实施例一的处理槽设备的示意图。

图2是根据本实用新型的实施例一的隔离装置在关闭状态下的主视图。

图3是根据本实用新型的实施例一的隔离装置在关闭状态下的俯视图。

图4是根据本实用新型的实施例一的隔离装置在打开状态下的主视图。

图5是根据本实用新型的实施例一的隔离装置在打开状态下的俯视图。

图6是根据本实用新型的实施例一的隔离装置的剖视图。

图7是根据本实用新型的实施例一的第一门板和第二门板的主视图。

图8是根据本实用新型的实施例一的第一门板和第二门板的俯视图。

图9是根据本实用新型的实施例七的隔离装置在关闭状态下的主视图。

图10是根据本实用新型的实施例七的隔离装置在关闭状态下的侧视图。

图11是根据本实用新型的实施例七的隔离装置的俯视图。

图12是根据本实用新型的实施例八的隔离装置在打开状态下的示意图。

图13是根据本实用新型的实施例八的隔离装置在关闭状态下的示意图。

具体实施方式

为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至图6所示，处理槽设备10可以具有壳体1，设置在所述壳体1内的至少2个盛放挥发性溶液的处理槽，还包括对所述处理槽对应设置的抽风装置，将待处理件在所述处理槽之间进行移送的机械手4，设置在相邻处理槽之间可打开或关闭的隔离装置5。

在本实施例中，由于隔离装置5可实现自动开启或者关闭，当机械手4往返移动时，可顺利通过隔离装置5，从而正常工作。因此，无需在水槽内设置动力装置，从而减小水槽的体积。

在本实施例中，处理槽包括第一槽体11和第二槽体12，第一槽体11用于盛放酸性溶液，第二槽体12用于盛放碱性溶液。可以了解，在可选的实施例中，第一槽体11也可以盛放碱性溶液或者水，第二槽体12也可以盛放酸性溶液或者水。

在本实施例中，处理槽设备10可以具有定位传感器53，定位传感器53用于当隔板组件到达某一位置时，使驱动组件停止工作。通过定位传感器53不仅能够实现精确定位，而且能够避免隔板组件与其他组件发生碰撞。

在本实施例中，如图1所示，抽风装置包括第一抽风装置31和第二抽风装置32，第一抽风装置31用于抽取第一槽体11产生的酸性气体，第二抽风装置32用于抽取第二槽体12产生的碱性气体。

在本实施例中，机械手4用于驱动盛放有硅片的片盒移动，其中，当机械手4驱动片盒从第一槽体11至第二槽体12时，隔离装置5自动打开；当机械手4经过隔离装置5后，隔离装置5自动关闭。

处理槽设备10还包括设置在相邻处理槽之间的工艺槽6。在本实施例中，工艺槽6为清洗槽，清洗槽用于清洗硅片上的残留液。可以了解，在可选的实施例中，工艺槽6也可以为处理槽。

在本实施例中，隔离装置5包括驱动组件和隔板组件，驱动组件用于驱动隔板组件移动。

在本实施例中，隔离装置5还包括顶板54和导槽55，隔板组件在顶板54和导槽55之间滑动。

在本实施例中，隔离装置5还包括滑动垫板56，滑动垫板56设置在顶板54上方，隔板组件可沿滑动垫板56滑动，滑动垫板56的润滑性比顶板54的润滑性好，从而使隔板组件顺畅滑动。

在本实施例中，隔离装置5还包括侧板57，通过侧板57能够遮挡隔板组件未遮挡的地方。

在本实施例中，隔离装置5还包括密封垫58，密封垫58设置在隔板组件上，从而提高隔板组件的密封性。

实施例一：

从图中可以看出，驱动组件包括第一气缸511、第二气缸512及导轨513，第一气缸511和第二气缸512连接，第二气缸512设置在导轨513上并可沿导轨513滑动，第一气缸511驱动第二气缸512沿导轨513滑动。隔板组件包括第一门板521和第二门板522，第二门板522和第二气缸512连接，在关闭状态下，第一门板521和第二门板522互不重合；在打开状态下，第一门板521和第二门板522完全重合。其中，第二气缸512驱动第二门板522移动，第二门板522带动第一门板521移动。

具体地，第一气缸511和第二气缸512通过第一连接件514固定连接，第二气缸512和第一门板521通过第二连接件523固定连接。如图7至图8所示，第一门板521上设有第一挂板5211和第一挂耳5212，第二门板522上设有第二挂板5221和第二挂耳5222。在开启状态下，第二气缸512收缩驱动第一门板521开启，第一气缸511伸出驱动第二气缸512移动，第二气缸512带动第一门板521移动，第一门板521通过第一挂板5211和第二挂板5221接触，从而带动第二门板522开启。在关闭状态下，第二气缸512伸出驱动第一门板521关闭，第一气缸511收缩驱动第二气缸512移动，第二气缸512带动第一门板521移动，第一门板521通过第一挂耳5212和第二挂耳5222接触，从而带动第二门板522关闭。

可以了解，第一气缸511和第二气缸512可同步运动或者先后运动，顺序不限。

实施例一：适用于隔板组件关闭后门板位置不足、气缸组件长度方向安装位置不足的情况。

实施例二：

驱动组件包括气缸。隔板组件包括第一门板和第二门板；其中，气缸和第二门板连接，在关闭状态下，第一门板和第二门板互不重合；在打开状态下，第一门板和第二门板完全重合。其中，第二气缸驱动第二门板移动，第二门板带动第一门板移动。

实施例二的具体实现过程可参见实施例一，此处不再赘述。

实施例二：适用于隔板组件关闭后门板位置不足、气缸组件长度方向安装位置充足的情况。

实施例三：

驱动组件包括第一气缸、第二气缸及导轨，第一气缸和第二气缸连接，第二气缸设置在导轨上并可沿导轨滑动，第一气缸驱动第二气缸沿导轨滑动。隔板组件包括门板。其中，第二气缸和门板连接，第二气缸驱动门板移动。

实施例三的具体实现过程可参见实施例一，此处不再赘述。

实施例三：适用于隔板组件关闭后门板位置充足、气缸组件长度方向安装位置不足的情况。

实施例四：

驱动组件包括气缸。隔板组件包括门板。其中，气缸和门板连接，气缸驱动门板移动。

实施例四的具体实现过程可参见实施例一，此处不再赘述。

实施例四：适用于隔离门关闭后门板位置充足、气缸长度方向安装位置充足的情况。

实施例五：

驱动组件包括气缸，隔板组件包括门板。其中，气缸和门板连接，气缸驱动门板垂直向下移动。

实施例六：

驱动组件包括气缸。隔板组件包括门板。其中，气缸和门板连接，气缸驱动门板垂直向上移动。

实施例七：

如图9至图11所示，隔离装置包括驱动元件21和卷帘22，驱动元件21驱动卷帘22收放。

具体地，驱动元件21为电机，电机的转轴和卷帘22固定连接，电机驱动转轴转动，转动带动卷帘22转动，从而使卷帘22卷起或者铺开，达到隔离的效果。

在实施例七中，隔离装置还包括配重件23，配重件23和卷帘22的端部连接，从而保证卷帘22始终处在垂直的状态下移动。

在实施例七中，隔离装置还包括限位件24，限位件24用于限制卷帘22左右两侧的移动轨迹。

实施例八：

如图12至图13所示，隔离装置包括第一隔离组件和第二隔离组件。

具体地，第一隔离组件包括第一驱动元件211、第一盖板212及第一转轴213，第一盖板212和第一转轴213连接，第一驱动元件211和第一转轴213连接，第一驱动元件211驱动第一转轴213转动，第一转轴213带动第一盖板212转动。第二隔离组件包括第二驱动元件221、第二盖板222及第二转轴223，第二盖板222和第二转轴223连接，第二驱动元件221和第二转轴223连接，第二驱动元件221驱动第二转轴223转动，第二转轴223带动第二盖板222转动。其中，在关闭状态下，第一盖板212和第二盖板222向内关闭；在打开状态下，第一盖板212和第二盖板222向外打开。

在本实施例中，第一驱动元件211通过第一安装板固定在支撑板上，第二驱动元件221通过第二安装板固定在支撑板上，第一驱动元件211和第一转轴213通过第一连接件214连接，第二驱动元件221和第二转轴223通过第二连接件224连接。

在本实施例中，第一驱动元件211和第二驱动元件221均匀为气缸。可以了解，在可选的实施例中，第一驱动元件211和第二驱动元件221也可以为电机。

以上为对本实用新型所提供的一种处理槽设备的描述，对于本领域的技术人员，依据本实用新型实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种处理槽设备，包括：壳体，设置在所述壳体内的至少2个盛放挥发性溶液的处理槽，其特征在于，还包括对所述处理槽对应设置的抽风装置，将待处理件在所述处理槽之间进行移送的机械手，设置在相邻处理槽之间可打开或关闭的隔离装置。

2.根据权利要求1所述的处理槽设备，其特征在于，还包括设置在相邻处理槽之间的工艺槽。

3.根据权利要求1所述的处理槽设备，其特征在于，所述隔离装置包括驱动组件和隔板组件，所述驱动组件用于驱动所述隔板组件打开或者关闭。

4.根据权利要求3所述的处理槽设备，其特征在于，

所述隔板组件包括顺次连接的第一门板和第二门板，且所述第一门板和所述第二门板位于相互平行的两个不同平面；

所述驱动组件包括设置在所述第一门板上方一侧的第一气缸，活塞杆端部与所述第二门板远离所述第一门板一侧连接的第二气缸，所述第二气缸的另一端与所述第一气缸的活塞杆端部连接；

当隔板组件关闭时，所述第一气缸的活塞杆收缩，所述第二气缸的活塞杆伸展；当隔板组件打开时，所述第一气缸的活塞杆从所述第二门板向所述第一门板的方向伸展，所述第二气缸的活塞杆收缩。

5.根据权利要求3所述的处理槽设备，其特征在于，

所述隔板组件包括顺次连接的第一门板和第二门板，且所述第一门板和所述第二门板位于相互平行的两个不同平面；

所述驱动组件包括活塞杆端部与所述第二门板远离第一门板一侧连接的气缸；

当隔板组件关闭时，所述气缸的活塞杆伸展；当隔板组件打开时，所述气缸的活塞杆收缩。

6.根据权利要求3所述的处理槽设备，其特征在于，

所述隔板组件包括门板；

所述驱动组件包括设置在所述门板上方一侧的第一气缸，活塞杆端部与所述门板左侧连接的第二气缸，所述第二气缸的另一端与所述第一气缸的活塞杆端部连接；

当隔板组件关闭时，所述第一气缸的活塞杆收缩，所述第二气缸的活塞杆伸展；当隔板组件打开时，所述第一气缸的活塞杆从右向左的方向伸展，所述第二气缸的活塞杆收缩。

7.根据权利要求3所述的处理槽设备，其特征在于，

所述驱动组件包括气缸；

所述隔板组件包括门板；

其中，所述气缸和所述门板连接，所述气缸驱动所述门板移动。

8.根据权利要求1所述的处理槽设备，其特征在于，所述隔离装置包括驱动元件和卷帘，所述驱动元件驱动所述卷帘收放。

9.根据权利要求1所述的处理槽设备，其特征在于，所述隔离装置包括：

第一隔离组件：所述第一隔离组件包括第一驱动元件、第一盖板及第一转轴，所述第一盖板和所述第一转轴连接，所述第一驱动元件和所述第一转轴连接，所述第一驱动元件驱动所述第一转轴转动，所述第一转轴带动所述第一盖板转动；

第二隔离组件：所述第二隔离组件包括第二驱动元件、第二盖板及第二转轴，所述第二盖板和所述第二转轴连接，所述第二驱动元件和所述第二转轴连接，所述第二驱动元件驱动所述第二转轴转动，所述第二转轴带动所述第二盖板转动；

其中，在关闭状态下，所述第一盖板和所述第二盖板向内关闭；在打开状态下，所述第一盖板和所述第二盖板向外打开。

10.根据权利要求1-9任一项所述的处理槽设备，其特征在于，所述处理槽设备还包括定位传感器，所述定位传感器用于当隔板组件到达某一位置时，使驱动组件停止工作。

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