CN209423182U - 一种制程真空无尘室除尘系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种制程真空无尘室除尘系统，包括电动伸缩杆、固定锁、电机、真空泵和过滤芯，所述电动伸缩杆的下端连接有装置主体，且装置主体的前侧通过合页连接有活动门，所述装置主体的内部设置有过滤板，且过滤板的上侧连接有电动伸缩杆，所述装置主体的内部下侧安装有电机和真空泵，所述过滤板上设置有防护网，所述过滤板的外侧边缘固定有密封圈，所述活动门与装置主体的连接处设置有密封垫，所述过滤板的内部固定有过滤芯。该制程真空无尘室除尘系统，可以在装置进行制程真空过程中，通过过滤板对装置内部的空气进行过滤工作，进而保证了真空泵能够安全的进行工作，有效的避免了灰尘杂质等对真空泵的不良影响。
Description
技术领域
本实用新型涉及制程真空无尘室技术领域，具体为一种制程真空无尘室除尘系统。
背景技术
制程真空便是移除系统中内的气体，创造具有真空度的空间，而对于无尘室来说，在真空条件下进行无尘处理过程，还存在一定的问题，例如，有的无尘室在制程真空过程中下无法进行高效的除尘工作，进而灰尘会对制程真空过程中使用的真空泵造成不良影响。
所以我们提出了一种制程真空无尘室除尘系统，以便于解决上述中提出的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种制程真空无尘室除尘系统，以解决上述背景技术提出的目前有的无尘室在制程真空过程中下无法进行高效的除尘工作，进而灰尘会对制程真空过程中使用的真空泵造成不良影响的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种制程真空无尘室除尘系统，包括电动伸缩杆、固定锁、电机、真空泵和过滤芯，所述电动伸缩杆的下端连接有装置主体，且装置主体的前侧通过合页连接有活动门，并且活动门上安装有固定锁和把手，所述装置主体的下方安装有万向轮，所述装置主体的内部设置有过滤板，且过滤板的上侧连接有电动伸缩杆，所述装置主体的内部下侧安装有电机和真空泵，所述过滤板上设置有防护网，所述过滤板的外侧边缘固定有密封圈，所述活动门与装置主体的连接处设置有密封垫，所述过滤板的内部固定有过滤芯。
优选的，所述电动伸缩杆位于装置主体上端的中心位置，且电动伸缩杆与装置主体之间为密封连接。
优选的，所述过滤板上侧中心位置与电动伸缩杆的下端之间为焊接，且过滤板的尺寸与装置主体的内部尺寸相等。
优选的，所述过滤板的中间为中空结构，且过滤板的边缘中间为开口结构。
优选的，所述防护网位于过滤板的上下两侧，且过滤板的边缘通过密封圈与装置主体之间为密封连接。
优选的，所述过滤芯嵌入过滤板的内部，且过滤芯的平面尺寸大于防护网的平面尺寸。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该制程真空无尘室除尘系统；
(1)在装置上设置有过滤板，可以在装置进行制程真空过程中，通过过滤板对装置内部的空气进行过滤工作，进而保证了真空泵能够安全的进行工作，有效的避免了灰尘杂质等对真空泵的不良影响；
(2)在过滤板边缘上设置有密封圈，可以避免过滤板在过滤空气时发生漏气状况，也提高了过滤板对装置内部的过滤工作效果，在过滤板上还设置有防护网和过滤芯，可以保证装置整体的工作稳定安全；
(3)在装置上设置有电动伸缩杆，可以改变过滤板的工作位置，从而使过滤板能够高效的进行除尘工作，而且不会对该制程真空无尘室的正常使用造成不良影响。
附图说明
图1为本实用新型主视结构示意图；
图2为本实用新型主视剖面结构示意图；
图3为本实用新型俯视剖面结构示意图；
图4为本实用新型过滤板剖视结构示意图。
图中：1、电动伸缩杆；2、装置主体；3、活动门；4、合页；5、固定锁；6、把手；7、万向轮；8、过滤板；9、电机；10、真空泵；11、防护网；12、密封圈；13、密封垫；14、过滤芯。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种制程真空无尘室除尘系统，包括电动伸缩杆1、装置主体2、活动门3、合页4、固定锁5、把手6、万向轮7、过滤板8、电机9、真空泵10、防护网11、密封圈12、密封垫13和过滤芯14，电动伸缩杆1的下端连接有装置主体2，且装置主体2的前侧通过合页4连接有活动门3，并且活动门3上安装有固定锁5和把手6，装置主体2的下方安装有万向轮7，装置主体2的内部设置有过滤板8，且过滤板8的上侧连接有电动伸缩杆1，装置主体2的内部下侧安装有电机9和真空泵10，过滤板8上设置有防护网11，过滤板8的外侧边缘固定有密封圈12，活动门3与装置主体2的连接处设置有密封垫13，过滤板8的内部固定有过滤芯14。
电动伸缩杆1位于装置主体2上端的中心位置，且电动伸缩杆1与装置主体2之间为密封连接，可以保证电动伸缩杆1安全的进行工作，也不会对装置主体2的正常工作造成影响。
过滤板8上侧中心位置与电动伸缩杆1的下端之间为焊接，且过滤板8的尺寸与装置主体2的内部尺寸相等，可以保证过滤板8稳定的工作状态，也提高了过滤板8良好的工作效果。
过滤板8的中间为中空结构，且过滤板8的边缘中间为开口结构，既可以保证过滤板8的过滤除尘效果，又可以对装置主体2内壁进行除尘，从而提高了装置主体2内部的无尘效果。
防护网11位于过滤板8的上下两侧，且过滤板8的边缘通过密封圈12与装置主体2之间为密封连接，可以进一步的保证过滤板8稳定安全的工作状态，也能保证过滤板8正常的除尘工作。
过滤芯14嵌入过滤板8的内部，且过滤芯14的平面尺寸大于防护网11的平面尺寸，可以保证过滤板8能够进行正常高效的除尘工作。
工作原理：在使用该制程真空无尘室除尘系统时，首先，通过万向轮7将整个装置移动至工作地点，然后将装置接通外界电源，当装置需要进行制程真空过程时，可以通过合页4合上装置主体2上的活动门3，再通过固定锁5将活动门3的位置固定在装置主体2上，同时在密封垫13的作用下，可以保证活动门3与装置主体2之间密封连接，从而保证装置主体2整体的密封状态；
当装置进行制程真空时，电机9带动真空泵10进行工作，进而抽取装置主体2内部的空气，从而时装置主体2内部逐渐形成真空状态，而在此过程中，需要先启动装置主体2上的电动伸缩杆1，通过电动伸缩杆1的伸长，使过滤板8的位置在装置主体2内向下移动，从而使过滤板8的位置位于真空泵10与装置主体2连接处的上侧；
当真空泵10对装置主体2内部进行抽气工作时，装置主体2内部的空气都会经过过滤板8，当空气穿过过滤板8时，会在过滤芯14的作用下，进行有效的过滤除尘工作，从而避免空气中的灰尘杂质对真空泵10造成不良影响，当装置制程真空工作结束后，可以通过电动伸缩杆1的缩短，拉动过滤板8移动至装置主体2内部的上侧，在此过程中，过滤板8外边缘的密封圈12会与装置主体2的内壁贴合，进而对装置主体2内壁上的灰尘进行刮除工作，进一步的保证过滤板8下侧的无尘环境，而且过滤板8上侧的灰尘在过滤芯14的作用下，并不会到达过滤板8下侧，进而保证了装置除尘效果，以上便是整个装置的工作过程，且本说明书中未作详细描述的内容，例如电动伸缩杆1、固定锁5、电机9、真空泵10和过滤芯14，均属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种制程真空无尘室除尘系统，包括电动伸缩杆(1)、固定锁(5)、电机(9)、真空泵(10)和过滤芯(14)，其特征在于：所述电动伸缩杆(1)的下端连接有装置主体(2)，且装置主体(2)的前侧通过合页(4)连接有活动门(3)，并且活动门(3)上安装有固定锁(5)和把手(6)，所述装置主体(2)的下方安装有万向轮(7)，所述装置主体(2)的内部设置有过滤板(8)，且过滤板(8)的上侧连接有电动伸缩杆(1)，所述装置主体(2)的内部下侧安装有电机(9)和真空泵(10)，所述过滤板(8)上设置有防护网(11)，所述过滤板(8)的外侧边缘固定有密封圈(12)，所述活动门(3)与装置主体(2)的连接处设置有密封垫(13)，所述过滤板(8)的内部固定有过滤芯(14)。
2.根据权利要求1所述的一种制程真空无尘室除尘系统，其特征在于：所述电动伸缩杆(1)位于装置主体(2)上端的中心位置，且电动伸缩杆(1)与装置主体(2)之间为密封连接。
3.根据权利要求1所述的一种制程真空无尘室除尘系统，其特征在于：所述过滤板(8)上侧中心位置与电动伸缩杆(1)的下端之间为焊接，且过滤板(8)的尺寸与装置主体(2)的内部尺寸相等。
4.根据权利要求1所述的一种制程真空无尘室除尘系统，其特征在于：所述过滤板(8)的中间为中空结构，且过滤板(8)的边缘中间为开口结构。
5.根据权利要求1所述的一种制程真空无尘室除尘系统，其特征在于：所述防护网(11)位于过滤板(8)的上下两侧，且过滤板(8)的边缘通过密封圈(12)与装置主体(2)之间为密封连接。
6.根据权利要求1所述的一种制程真空无尘室除尘系统，其特征在于：所述过滤芯(14)嵌入过滤板(8)的内部，且过滤芯(14)的平面尺寸大于防护网(11)的平面尺寸。
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