CN211039684U - 带抽真空通道的磁流体密封传动装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种带抽真空通道的磁流体密封传动装置，包括：无框力矩电机，下端设有安装盘的内轴，套在内轴外且下端与安装盘连接的外轴，与外轴枢接且下端与安装盘连接的下壳体，下端设有电机腔且与外轴枢接的上壳体，两个一一对应设于上壳体内侧围和下壳体内侧围且设有永磁体的磁极片，两个一一对应设于两个磁极片和外轴外侧围之间的磁流体，套在外轴外且与电机腔顶面连接的电机隔环；无框力矩电机位于电机腔中，无框力矩电机的转子与转轴连接，无框力矩电机的定子与电机隔环下端连接；内轴与外轴之间的空隙构成抽真空通道。所述的带抽真空通道的磁流体密封传动装置，设有抽真空通道使真空设备结构紧凑。
Description
技术领域
本实用新型涉及磁流体密封技术领域，尤其是一种带抽真空通道的磁流体密封传动装置。
背景技术
磁流体密封技术由于其结构和性能上的优越性，在刻蚀机，单晶硅炉、真空钎焊炉、真空熔炼炉、化学气相沉积、离子镀膜、液晶再生等真空设备上得到了广泛应用；中国专利公开号为CN102864437A的发明专利，公开了一种用于MOCVD设备的旋转装置，其旋转主轴通过磁流体密封装置与马达连接；传统的装有磁流体密封装置的真空设备另设有抽真空通道，存在真空设备结构不够紧凑的不足，因此设计一种使真空设备结构紧凑的带抽真空通道的磁流体密封传动装置，成为亟待解决的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服目前的装有磁流体密封装置的真空设备另设有抽真空通道，存在真空设备结构不够紧凑的不足，提供一种使真空设备结构紧凑的带抽真空通道的磁流体密封传动装置。
本实用新型的具体技术方案是：
一种带抽真空通道的磁流体密封传动装置，包括：无框力矩电机，下端设有安装盘的内轴，套在内轴外的外轴，与外轴枢接且下端与安装盘连接的下壳体，下端设有电机腔且与外轴枢接的上壳体，两个一一对应设于上壳体内侧围和下壳体内侧围且设有永磁体的磁极片，两个一一对应设于两个磁极片和外轴外侧围之间的磁流体，套在外轴外且与电机腔顶面连接的电机隔环；无框力矩电机位于电机腔中，无框力矩电机的转子与转轴连接，无框力矩电机的定子与电机隔环下端连接；内轴与外轴之间的空隙构成抽真空通道。所述的带抽真空通道的磁流体密封传动装置，设有抽真空通道使真空设备结构紧凑；把无框力矩电机直接集成到磁流体内部，结构紧凑占用空间小，无框力矩电机的转子直接与外轴连接旋转精度较高；下壳体与上壳体分设便于装拆。
作为优选，所述的外轴下端与安装盘上端之间具有通气间隙；安装盘设有与通气间隙连接的通气道，通气道设有真空接头。通气间隙、通气道、真空接头便于抽真空装置与抽真空通道连通。
作为优选，所述的带抽真空通道的磁流体密封传动装置还包括：设于电机腔中的编码器和与转轴连接的编码器座，编码器的感应环位于无框力矩电机下侧且与编码器座连接，编码器的读数头与电机腔侧围连接。直接将编码器集成进磁流体内部，既能精确控制磁流体传动装置的旋转速度，又节省了空间，且保护编码器不损坏。
作为优选，所述的内轴上端设有挡环；挡环的外径小于外轴内径。挡环利于挡尘。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：所述的带抽真空通道的磁流体密封传动装置，设有抽真空通道使真空设备结构紧凑；把无框力矩电机直接集成到磁流体内部，结构紧凑占用空间小，无框力矩电机的转子直接与外轴连接旋转精度较高；下壳体与上壳体分设便于装拆。通气间隙、通气道、真空接头便于抽真空装置与抽真空通道连通。
直接将编码器集成进磁流体内部，既能精确控制磁流体传动装置的旋转速度，又节省了空间，且保护编码器不损坏。挡环利于挡尘。
附图说明
图1是本实用新型的一种结构示意图。
图中：无框力矩电机1、安装盘2、内轴3、外轴4、深沟球轴承5、下壳体6、电机腔7、角接触球轴承8、上壳体9、永磁体10、磁极片11、磁流体12、电机隔环13、转子14、定子15、抽真空通道16、编码器座17、感应环18、读数头19、挡环20、通气间隙21、通气道22、真空接头23。
具体实施方式
下面结合附图所示对本实用新型进行进一步描述。
如附图1所示：一种带抽真空通道的磁流体密封传动装置，包括：无框力矩电机1，下端设有安装盘2的内轴3，套在内轴3外的外轴4，与外轴4通过深沟球轴承5枢接且下端与安装盘2螺接的下壳体6，下端设有电机腔7且与外轴4通过角接触球轴承8枢接的上壳体9，两个一一对应设于上壳体9内侧围和下壳体6内侧围且设有永磁体10的磁极片11，两个一一对应设于两个磁极片11和外轴4外侧围之间的磁流体12，套在外轴4外且与电机腔7顶面螺接的电机隔环13；无框力矩电机1位于电机腔7中，无框力矩电机1的转子14与转轴螺接，无框力矩电机1的定子15与电机隔环13下端螺接；内轴3与外轴4之间的空隙构成抽真空通道16。
所述的外轴4下端与安装盘2上端之间具有通气间隙21；安装盘2设有与通气间隙21连接的通气道22，通气道22设有真空接头23。
所述的带抽真空通道的磁流体密封传动装置还包括：设于电机腔7中的编码器和与转轴螺接的编码器座17，编码器的感应环18位于无框力矩电机1下侧且与编码器座17螺接，编码器的读数头19与电机腔7侧围螺接。
所述的内轴3上端设有挡环20；挡环20的外径小于外轴4内径。
所述的带抽真空通道的磁流体密封传动装置使用时，抽真空通道16一端与真空设备的真空腔连通，抽真空通道16一端通过通气间隙21、通气道22、真空接头23与抽真空装置连通。
除上述实施例外，在本实用新型的权利要求书及说明书所公开的范围内，本实用新型的技术特征或技术数据可以进行重新选择及组合，从而构成新的实施例，这些都是本领域技术人员无需进行创造性劳动即可实现的，因此这些本实用新型没有详细描述的实施例也应视为本实用新型的具体实施例而在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种带抽真空通道的磁流体密封传动装置，包括：无框力矩电机，其特征是，所述的带抽真空通道的磁流体密封传动装置还包括：下端设有安装盘的内轴，套在内轴外的外轴，与外轴枢接且下端与安装盘连接的下壳体，下端设有电机腔且与外轴枢接的上壳体，两个一一对应设于上壳体内侧围和下壳体内侧围且设有永磁体的磁极片，两个一一对应设于两个磁极片和外轴外侧围之间的磁流体，套在外轴外且与电机腔顶面连接的电机隔环；无框力矩电机位于电机腔中，无框力矩电机的转子与转轴连接，无框力矩电机的定子与电机隔环下端连接；内轴与外轴之间的空隙构成抽真空通道。
2.根据权利要求1所述的带抽真空通道的磁流体密封传动装置，其特征是，所述的外轴下端与安装盘上端之间具有通气间隙；安装盘设有与通气间隙连接的通气道，通气道设有真空接头。
3.根据权利要求1或2所述的带抽真空通道的磁流体密封传动装置，其特征是，还包括：设于电机腔中的编码器和与转轴连接的编码器座，编码器的感应环位于无框力矩电机下侧且与编码器座连接，编码器的读数头与电机腔侧围连接。
4.根据权利要求1或2所述的带抽真空通道的磁流体密封传动装置，其特征是，所述的内轴上端设有挡环；挡环的外径小于外轴内径。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921405074.8U CN211039684U (zh) | 2019-08-27 | 2019-08-27 | 带抽真空通道的磁流体密封传动装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201921405074.8U CN211039684U (zh) | 2019-08-27 | 2019-08-27 | 带抽真空通道的磁流体密封传动装置 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN211039684U true CN211039684U (zh) | 2020-07-17 |
Family
ID=71563876
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921405074.8U Active CN211039684U (zh) | 2019-08-27 | 2019-08-27 | 带抽真空通道的磁流体密封传动装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN211039684U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111740527A (zh) * | 2020-08-28 | 2020-10-02 | 清华大学 | 具有低温绕组的电机转子附属结构 |
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2019
- 2019-08-27 CN CN201921405074.8U patent/CN211039684U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111740527A (zh) * | 2020-08-28 | 2020-10-02 | 清华大学 | 具有低温绕组的电机转子附属结构 |
| CN111740527B (zh) * | 2020-08-28 | 2020-12-01 | 清华大学 | 具有低温绕组的电机转子附属结构 |
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