CN211015016U - 一种显影液制备装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种显影液制备装置，包括原料罐，所述原料罐设置输送机构连接反应罐，所述反应罐出液口连接分离管，所述分离管总管一端连接出液口、分管一端分别设置独立的电磁阀后连接二次反应罐，所述二次反应罐连接添加剂添加罐，所述二次反应罐出液口连接对应的显影液收集罐，所述反应罐出液口连接电磁阀后连接对应的显影液收集罐。本装置首先根据最大需求量配制合适的显影液，之后对配制出的显影液进行二次调配，配制出其他的不同性能的显影液，并且显影液的反应罐采用了新型的搅拌结构，效果更好且速度快，并且在显影液输出管上设置检测结构，能够检测显影液方便进行后续操作。

Description

一种显影液制备装置

技术领域

本实用新型特别涉及一种显影液制备装置。

背景技术

现有技术为：显影液是溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域的一种化学溶剂，在电子领域拥有很大的需求量，并且根据使用工艺的不同，还区分了很多不同性能的显影液，但是在生产中，这些不同性能的显影液由于需求量不同，因此在生产中也很难控制各种性能显影液的生产量，因此，本装置提出了一种显影液的制备装置，能够通过后续过程中的二次调配配制出合适生产量的不同性能的显影液。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种显影液制备装置，包括原料罐，所述原料罐设置输送机构连接反应罐，所述反应罐出液口连接分离管，所述分离管总管一端连接出液口、分管一端分别设置独立的电磁阀后连接二次反应罐，所述二次反应罐连接添加剂添加罐，所述二次反应罐出液口连接对应的显影液收集罐，所述反应罐出液口连接电磁阀后连接对应的显影液收集罐。

具体的，所述反应罐包括支架，所述支架上设置罐体，所述罐体底部设置出液口，所述罐体上方设置搅拌结构，所述搅拌结构包括设置罐体上表面的电机和电机连接的变速器，所述变速器驱动轴连接转动座，所述转动座中的搅动板交替设置，所述转动座两侧设置对称的连接杆，所述连接杆连接套环结构，所述套环结构设置搅动杆，所述搅动杆贯穿套环结构后固定连接带有螺纹的驱动座，所述驱动座所处位置在罐体内部表面设置与驱动座螺纹配合的环形螺纹盘，所述罐体一侧设置加料口。

具体的，所述分离管总管一端设置检测结构，所述检测结构包括封堵球，所述封堵球连接固定杆，所述固定杆设置在两侧的导轨内，所述固定杆远离封堵球一端设置斜面，所述十字形的固定杆斜面处设置限位块，所述限位块设置与固定杆斜面对应的斜面，所述限位块插装在移动杆上，所述移动杆在与限位块连接处设置弹簧，所述限位块在移动杆对称位置处设置螺栓且所述螺栓端部抵触限位块端面，所述检测结构末端设置检测盘。

具体的，所述二次反应罐与反应罐为相同罐体，所述二次反应罐出液口处设置检测结构。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本装置首先根据最大需求量配制合适的显影液，之后对配制出的显影液进行二次调配，配制出其他的不同性能的显影液，并且显影液的反应罐采用了新型的搅拌结构，效果更好且速度快，并且在显影液输出管上设置检测结构，能够检测显影液方便进行后续操作。

附图说明

图1本实用新型流程示意图；

图2本实用新型反应罐结构示意图；

图3本实用新型分离管及检测结构示意图；

图4本实用新型检测结构封堵状态示意图；

以上各图中，1、支架，2、出液口，3、罐体，4、搅动杆，5、驱动座，6、变速器，7、电机，8、驱动轴，9、转动座，10、套环结构，11、连接杆，12、加料口，13、分离管，14、电磁阀，15、检测结构，16、环形螺纹盘，151、封堵球，152、固定杆，153、导轨，154、移动杆，155、限位块，156、螺栓，157、检测盘。

具体实施方式

下面将结合本实用新型的实施例提供的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的较佳实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的较佳实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。下面对本实用新型作进一步详细说明。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。前述定义仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的结构必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图所示，本实用新型提供一种显影液制备装置，包括原料罐，所述原料罐设置输送机构连接反应罐，所述反应罐出液口2连接分离管13，所述分离管13总管一端连接出液口2、分管一端分别设置独立的电磁阀14后连接二次反应罐，所述二次反应罐连接添加剂添加罐，所述二次反应罐出液口连接对应的显影液收集罐，所述反应罐出液口2连接电磁阀后连接对应的显影液收集罐。

所述反应罐包括支架1，所述支架1上设置罐体3，所述罐体3底部设置出液口2，所述罐体3上方设置搅拌结构，所述搅拌结构包括设置罐体3上表面的电机7和电机7连接的变速器6，所述变速器6驱动轴8连接转动座9，所述转动座9中的搅动板交替设置，所述转动座9两侧设置对称的连接杆11，所述连接杆11连接套环结构10，所述套环结构10设置搅动杆4，所述搅动杆4贯穿套环结构10后固定连接带有螺纹的驱动座5，所述驱动座5所处位置在罐体3内部表面设置与驱动座螺纹配合的环形螺纹盘16，所述罐体3一侧设置加料口12，所述带有螺纹的驱动座5、环形螺纹盘16啮合连接后的结构类似于行星轮结构。

所述分离管13总管一端设置检测结构15，所述检测结构15包括封堵球151，所述封堵球151连接固定杆152，所述固定杆152设置在两侧的导轨153内，所述固定杆152远离封堵球151一端设置斜面，所述十字形的固定杆152斜面处设置限位块155，所述限位块155设置与固定杆152斜面对应的斜面，所述限位块155插装在移动杆154上，所述移动杆154在与限位块155连接处设置弹簧，所述限位块155在移动杆154对称位置处设置螺栓156且所述螺栓156端部抵触限位块155端面，所述检测结构15末端设置检测盘157。

所述二次反应罐与反应罐为相同罐体，所述二次反应罐出液口处设置检测结构15。

装置使用时，按照流程制作显影液，在反应罐罐体3内进行搅拌混合操作，装置搅拌机构由电机7驱动，搅动杆4进行搅动，此过程中驱动座5和环形螺纹盘16类似行星轮结构转动运行，在套环结构10上转动，并且能够在套环结构10的带动下随转动座9进行转动，搅拌之后的显影液通过出液口2流入分离管13，在进行分离之前，可以进行检测，检测由检测结构15进行，检测结构15的检测过程为控制螺栓156，从而控制限位块155，从而控制固定杆152，所述固定杆152上的封堵球151可以控制显影液流入检测盘157进行检测，检测之后流入各个二次反应罐进行二次处理，得到所需要的显影液。

最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (4)

1.一种显影液制备装置，其特征在于，包括原料罐，所述原料罐设置输送机构连接反应罐，所述反应罐出液口连接分离管，所述分离管总管一端连接出液口、分管一端分别设置独立的电磁阀后连接二次反应罐，所述二次反应罐连接添加剂添加罐，所述二次反应罐出液口连接对应的显影液收集罐，所述反应罐出液口连接电磁阀后连接对应的显影液收集罐。

2.根据权利要求1所述的一种显影液制备装置，其特征在于，所述反应罐包括支架，所述支架上设置罐体，所述罐体底部设置出液口，所述罐体上方设置搅拌结构，所述搅拌结构包括设置罐体上表面的电机和电机连接的变速器，所述变速器驱动轴连接转动座，所述转动座中的搅动板交替设置，所述转动座两侧设置对称的连接杆，所述连接杆连接套环结构，所述套环结构设置搅动杆，所述搅动杆贯穿套环结构后固定连接带有螺纹的驱动座，所述驱动座所处位置在罐体内部表面设置与驱动座螺纹配合的环形螺纹盘，所述罐体一侧设置加料口。

3.根据权利要求2所述的一种显影液制备装置，其特征在于，所述分离管总管一端设置检测结构，所述检测结构包括封堵球，所述封堵球连接固定杆，所述固定杆设置在两侧的导轨内，所述固定杆远离封堵球一端设置斜面，所述固定杆为十字形且斜面处设置限位块，所述限位块设置与固定杆斜面对应的斜面，所述限位块插装在移动杆上，所述移动杆在与限位块连接处设置弹簧，所述限位块在移动杆对称位置处设置螺栓且所述螺栓端部抵触限位块端面，所述检测结构末端设置检测盘。

4.根据权利要求1所述的一种显影液制备装置，其特征在于，所述二次反应罐与反应罐为相同罐体，所述二次反应罐出液口处设置检测结构。

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