CN210952346U - 一种旋转靶材烧结炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于烧结炉技术领域，且公开了一种旋转靶材烧结炉，包括炉体，所述炉体的前表面安装有密封门卡槽，且密封门卡槽的内壁安装有密封垫，所述密封门卡槽的一侧安装有密封门，且密封门的底部通过螺栓固定连接有滚轮，所述密封门的内部开设有第二安装槽，且密封门上靠近第二安装槽的一侧位置处开设有第一安装槽，所述第一安装槽的一侧通过螺栓固定连接有固定板，所述固定板的一侧通过螺栓固定连接有安装有底板，本实用新型通过在密封门上开设第一安装槽和第二安装槽，有利于使用者拆卸底板和工件放置板，便于清洗工件放置板上的污垢，通过在工件放置板上安装工件固定块，便于将靶材本体从工件放置板上卸下来。
Description
技术领域
本实用新型属于烧结炉技术领域，具体涉及一种旋转靶材烧结炉。
背景技术
烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结，为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡、还原、合金化、组织转变等顺利进行，烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行精确的控制。
但是目前市场上的旋转靶材烧结炉，在使用时存在一些缺陷，工件放置板安装在密封门上，工件放置板上的污垢不便于清除，且旋转靶材为圆柱形，工件放置板移动至炉膛内的过程中，旋转靶材不能稳定放置在工件放置板上，基于以上出现的问题，提出一种旋转靶材烧结炉。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种旋转靶材烧结炉，以解决上述背景技术中提出的工件放置板上的污垢不便于清除，且旋转靶材放在工件放置板上不平稳的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种旋转靶材烧结炉，包括炉体，所述炉体的前表面安装有密封门卡槽，且密封门卡槽的内壁安装有密封垫，所述密封门卡槽的一侧安装有密封门，且密封门的底部通过螺栓固定连接有滚轮，所述密封门的内部开设有第二安装槽，且密封门上靠近第二安装槽的一侧位置处开设有第一安装槽，所述第一安装槽的一侧通过螺栓固定连接有固定板，所述固定板的一侧通过螺栓固定连接有安装有底板。
优选的，所述密封门上靠近底板的上方位置处安装有工件放置板，所述工件放置板的顶部一侧开设有矩形槽，且矩形槽的顶部通过转轴转动连接有工件固定块。
优选的，所述工件固定块的底部安装有轴座，所述工件固定块的顶部安装有靶材本体。
优选的，所述炉体的内部开设有炉膛，且炉膛的内壁安装有加热管，所述炉体上靠近炉膛的下方位置处开设有底板卡槽，所述炉体的一侧安装有开关，所述加热管与开关电性连接。
优选的，所述工件固定块的转动角度范围为0°-180°，且工件固定块的一侧开设有凹槽。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
(1)本实用新型通过在密封门上开设第一安装槽和第二安装槽，将底板和工件放置板安装在第一安装槽和第二安装槽上，有利于使用者拆卸底板和工件放置板，便于清洗工件放置板上的污垢。
(2)本实用新型通过在工件放置板上安装工件固定块，靶材本体放在工件固定块上，有利于靶材本体的稳定放置，同时便于将靶材本体从工件放置板上卸下来。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型炉体的正视图；
图3为本实用新型密封门的后视图；
图4为本实用新型工件固定块的正视图；
图中：1-炉体、2-炉膛、3-靶材本体、4-加热管、5-密封门、6-第一安装槽、7-固定板、8-滚轮、9-底板、10-矩形槽、11-工件放置板、12-工件固定块、13-密封垫、14-底板卡槽、15-密封门卡槽、16-开关、17-第二安装槽、18-轴座。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-图4所示，本实用新型提供一种旋转靶材烧结炉技术方案：一种旋转靶材烧结炉，包括炉体1，炉体1的前表面安装有密封门卡槽15，且密封门卡槽15的内壁安装有密封垫13，密封门卡槽15的一侧安装有密封门5，密封门5前表面安装有把手，通过拉动把手拉动密封门5，便于使用者将底板9和工件放置板11进入炉膛2，且密封门5的底部通过螺栓固定连接有滚轮8，密封门5底部的滚轮8可帮助使用者轻松推动密封门5，密封门5的内部开设有第二安装槽17，且密封门5上靠近第二安装槽17的一侧位置处开设有第一安装槽6，第一安装槽6的一侧通过螺栓固定连接有固定板7，固定板7的一侧通过螺栓固定连接有安装有底板9，第二安装槽17的高度大于工件放置板11和底板9的高度，工件放置板11和底板9直接插入第二安装槽17，然后用螺栓将工件放置板11和底板9分别固定在第一安装槽6一侧的固定板7上。
为了便于使用者使用，本实施例中，优选的，密封门5上靠近底板9的上方位置处安装有工件放置板11，工件放置板11的顶部一侧开设有矩形槽10，矩形槽10的深度大于的长度，轴座18可被工件固定块12带动绕着转轴在矩形槽10内转动，且矩形槽10的顶部通过转轴转动连接有工件固定块12。
为了便于靶材本体3的安装固定，本实施例中，优选的，工件固定块12的底部安装有轴座18，工件固定块12的顶部安装有靶材本体3。
为了便于工件固定块12的放置，本实施例中，优选的，炉体1的内部开设有炉膛2，且炉膛2的内壁安装有加热管4，炉体1上靠近炉膛2的下方位置处开设有底板卡槽14，炉体1的一侧安装有开关16，加热管4与开关16电性连接。
为了便于推动工件固定块12转动，本实施例中，优选的，工件固定块12的转动角度范围为0°-180°，且工件固定块12的一侧开设有凹槽。
本实用新型的工作原理及使用流程：该实用新型在使用时，烧结炉接通电源，拉动密封门5的把手，将工件放置板11和底板9拉出炉膛2，将靶材本体3放在工件固定块12上，然后推动密封门5，密封门5卡入密封门卡槽15，底板9卡入底板卡槽14，打开开关16，加热管4通电散发热量，靶材本体3在炉膛2内被加热进行烧结，拉动把手，再次将工件放置板11和底板9拉出炉膛2，用工具向上推动工件固定块12，工件固定块12绕着转轴转动，工件固定块12发生倾斜，靶材本体3从工件固定块12上滑落下来，使用者将固定板7上的螺栓拆卸下来，然后将工件放置板11和底板9从密封门5上拆卸下来，将工件放置板11上的污垢清除干净。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种旋转靶材烧结炉，其特征在于：包括炉体，所述炉体的前表面安装有密封门卡槽，且密封门卡槽的内壁安装有密封垫，所述密封门卡槽的一侧安装有密封门，且密封门的底部通过螺栓固定连接有滚轮，所述密封门的内部开设有第二安装槽，且密封门上靠近第二安装槽的一侧位置处开设有第一安装槽，所述第一安装槽的一侧通过螺栓固定连接有固定板，所述固定板的一侧通过螺栓固定连接有安装有底板。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材烧结炉，其特征在于：所述密封门上靠近底板的上方位置处安装有工件放置板，所述工件放置板的顶部一侧开设有矩形槽，且矩形槽的顶部通过转轴转动连接有工件固定块。
3.根据权利要求2所述的一种旋转靶材烧结炉，其特征在于：所述工件固定块的底部安装有轴座，所述工件固定块的顶部安装有靶材本体。
4.根据权利要求1所述的一种旋转靶材烧结炉，其特征在于：所述炉体的内部开设有炉膛，且炉膛的内壁安装有加热管，所述炉体上靠近炉膛的下方位置处开设有底板卡槽，所述炉体的一侧安装有开关，所述加热管与开关电性连接。
5.根据权利要求3所述的一种旋转靶材烧结炉，其特征在于：所述工件固定块的转动角度范围为0°-180°，且工件固定块的一侧开设有凹槽。
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