CN210907313U - 一种喷淋式晶圆高效清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了清洗设备技术领域的一种喷淋式晶圆高效清洗装置，包括清洗箱，清洗箱顶部和底部分别固定连接有储水箱和接水箱，接水箱顶部开设有落水孔，接水箱顶部滑动连接有清洗架，接水箱顶部固定连接有清扫架，清扫架中间转动连接有清扫刷，清洗架侧壁固定连接有驱动连接板，驱动连接板中间转动连接有多组驱动滚轮，驱动滚轮侧壁固定连接有限位夹持圈，储水箱底部固定安装有电动推杆，电动推杆底部固定连接有喷水架，喷水架侧壁固定安装有多个清洗喷头，本实用新型双面同时清洗，无死角全面清洗，且喷淋无接触清洗可避免晶圆表面划伤破损，也可刷洗晶圆表面，清洗更彻底洁净。
Description
技术领域
本实用新型涉及清洗设备技术领域，具体为一种喷淋式晶圆高效清洗装置。
背景技术
化学机械平坦化工艺(CMP)在1990年被引入集成电路制造工艺以来，经过不断实践和发展，已成为推动集成电路技术节点不断缩小的关键工艺。目前CMP已经广泛应用在浅沟槽隔离(STI)平坦化、氧化物(例如层间介质层ILD)平坦化、钨塞(W-plug)平坦化、铜互连平坦化等工艺中。CMP是晶圆干进干出的先进工艺，根据对晶圆处理过程的不同，可分为化学机械平坦化及其后清洗工艺两部分。在化学机械平坦化工艺过程中，研磨液中的氧化物颗粒和研磨产物会不断的吸附在晶圆表面，虽然通过研磨头和研磨垫的自转，以及研磨头相对研磨垫中心的径向直线运动可以带走大部分研磨液和研磨产物，但在CMP工艺结束时，仍会有大量残余研磨液以及研磨产物吸附在晶圆表面上，如果不经过及时清洗，这些微粒会凝结在晶圆表面并无法有效去除，影响晶圆良率。
基于此，本实用新型设计了一种喷淋式晶圆高效清洗装置，以解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种喷淋式晶圆高效清洗装置，以解决上述背景技术中提出的CMP工艺结束时，仍会有大量残余研磨液以及研磨产物吸附在晶圆表面上，如果不经过及时清洗，这些微粒会凝结在晶圆表面并无法有效去除，影响晶圆良率的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种喷淋式晶圆高效清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱顶部和底部分别固定连接有储水箱和接水箱，所述接水箱顶部开设有落水孔，所述接水箱顶部滑动连接有清洗架，所述接水箱顶部固定连接有清扫架，所述清扫架中间转动连接有清扫刷，所述清洗架侧壁固定连接有驱动连接板，所述驱动连接板中间转动连接有多组驱动滚轮，所述驱动滚轮侧壁固定连接有限位夹持圈，所述储水箱底部固定安装有电动推杆，所述电动推杆底部固定连接有喷水架，所述喷水架侧壁固定安装有多个清洗喷头。
优选的，所述驱动滚轮外壁为橡胶辊，所述限位夹持圈为橡胶圈，所述驱动滚轮为中间细两头粗的曲线形。
优选的，所述清洗喷头为斜向下喷头，所述喷水架为弧形喷水架，弧形喷水架匹配晶圆形状，喷淋清洗效果好，斜向下喷头有利于杂质快速冲洗流下。
优选的，所述喷水架通过管道连接有喷水泵，所述喷水泵位于储水箱内，所述电动推杆底部固定连接有连接架，所述连接架连接两组喷水架，所述清洗架位于喷水架中间位置。
优选的，所述清洗箱中间转动连接有驱动丝杠，所述清洗箱中间固定连接有导向杆，所述驱动丝杠和导向杆均穿过清洗架分别与之螺纹连接和滑动连接。
优选的，所述清洗箱中间固定连接有防护导水板，所述清洗架位于防护导水板之间，所述清洗架与清洗箱和清扫架之间固定连接有防水风琴折叠布，防护内部驱动丝杠和导向杆。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型通过晶圆放置于清洗架中间，然后接通驱动丝杠的电机，带动驱动丝杠转动，带动清洗架同时向中间移动，将晶圆的边缘放置于驱动滚轮的限位夹持圈中间，将清洗架移动到合适位置时，松开晶圆，刚好夹持在两清洗架中间，通过接通驱动滚轮的驱动电机带动所有驱动滚轮同向转动，带动与之接触的晶圆转动，接通喷水泵，通过管道将储水箱内的清洗液从清洗喷头以一定的速度喷出在晶圆上，起到清洗作用，通过接通电动推杆带动连接架向下或向上移动，带动喷水架上下移动，从而清洗喷头可以全面喷到晶圆，起到清洗作用，且双面同时清洗，由于晶圆的转动，边缘也能清洗到，无死角全面清洗，且喷淋无接触清洗可避免晶圆表面划伤破损。若需要刷洗，则通过接通清扫架的电机带动清扫刷转动处于之直立位置，刷洗晶圆表面，清洗更彻底洁净。清洗的污水从落水孔流到接水箱内，收集方便。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型侧视角半剖结构示意图；
图2为本实用新型前视角结构示意图；
图3为本实用新型第三视角结构示意图；
图4为本实用新型俯视角半剖结构示意图。
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
1-清洗箱，2-储水箱，3-接水箱，4-落水孔，5-清洗架，6-清扫架，7-清扫刷，8-驱动连接板，9-驱动滚轮，10-限位夹持圈，11-电动推杆，12-喷水架，13-清洗喷头，14-连接架，15-驱动丝杠，16-导向杆，17-防护导水板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：
一种喷淋式晶圆高效清洗装置，包括清洗箱1，清洗箱1顶部和底部分别固定连接有储水箱2和接水箱3，接水箱3顶部开设有落水孔4，接水箱3顶部滑动连接有清洗架5，接水箱3顶部固定连接有清扫架6，清扫架6中间转动连接有清扫刷7，清洗架5侧壁固定连接有驱动连接板8，驱动连接板8中间转动连接有多组驱动滚轮9，驱动滚轮9侧壁固定连接有限位夹持圈10，储水箱2底部固定安装有电动推杆11，电动推杆11底部固定连接有喷水架12，喷水架12侧壁固定安装有多个清洗喷头13。
其中，驱动滚轮9外壁为橡胶辊，限位夹持圈10为橡胶圈，驱动滚轮9为中间细两头粗的曲线形。清洗喷头13为斜向下喷头，喷水架12为弧形喷水架12。喷水架12通过管道连接有喷水泵，喷水泵位于储水箱2内，电动推杆11底部固定连接有连接架14，连接架14连接两组喷水架12，清洗架5位于喷水架12中间位置。清洗箱1中间转动连接有驱动丝杠15，清洗箱1中间固定连接有导向杆16，驱动丝杠15和导向杆16均穿过清洗架5分别与之螺纹连接和滑动连接。清洗箱1中间固定连接有防护导水板17，清洗架5位于防护导水板17之间，清洗架5与清洗箱1和清扫架6之间固定连接有防水风琴折叠布。
本实施例的一个具体应用为：本实用新型通过晶圆放置于清洗架5中间，然后接通驱动丝杠15的电机，带动驱动丝杠15转动，带动清洗架5同时向中间移动，将晶圆的边缘放置于驱动滚轮9的限位夹持圈10中间，将清洗架5移动到合适位置时，松开晶圆，刚好夹持在两清洗架5中间，通过接通驱动滚轮9的驱动电机带动所有驱动滚轮9同向转动，带动与之接触的晶圆转动，接通喷水泵，通过管道将储水箱2内的清洗液从清洗喷头以一定的速度喷出在晶圆上，起到清洗作用，通过接通电动推杆11带动连接架14向下或向上移动，带动喷水架12上下移动，从而清洗喷头13可以全面喷到晶圆，起到清洗作用，且双面同时清洗，由于晶圆的转动，边缘也能清洗到，无死角全面清洗，若需要刷洗，则通过接通清扫架6的电机带动清扫刷7转动处于之直立位置，刷洗晶圆表面，清洗更彻底洁净。清洗的污水从落水孔4流到接水箱3内，收集方便。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
Claims (6)
1.一种喷淋式晶圆高效清洗装置，其特征在于：包括清洗箱(1)，所述清洗箱(1)顶部和底部分别固定连接有储水箱(2)和接水箱(3)，所述接水箱(3)顶部开设有落水孔(4)，所述接水箱(3)顶部滑动连接有清洗架(5)，所述接水箱(3)顶部固定连接有清扫架(6)，所述清扫架(6)中间转动连接有清扫刷(7)，所述清洗架(5)侧壁固定连接有驱动连接板(8)，所述驱动连接板(8)中间转动连接有多组驱动滚轮(9)，所述驱动滚轮(9)侧壁固定连接有限位夹持圈(10)，所述储水箱(2)底部固定安装有电动推杆(11)，所述电动推杆(11)底部固定连接有喷水架(12)，所述喷水架(12)侧壁固定安装有多个清洗喷头(13)。
2.根据权利要求1所述的一种喷淋式晶圆高效清洗装置，其特征在于：所述驱动滚轮(9)外壁为橡胶辊，所述限位夹持圈(10)为橡胶圈，所述驱动滚轮(9)为中间细两头粗的曲线形。
3.根据权利要求1所述的一种喷淋式晶圆高效清洗装置，其特征在于：所述清洗喷头(13)为斜向下喷头，所述喷水架(12)为弧形喷水架(12)。
4.根据权利要求1所述的一种喷淋式晶圆高效清洗装置，其特征在于：所述喷水架(12)通过管道连接有喷水泵，所述喷水泵位于储水箱(2)内，所述电动推杆(11)底部固定连接有连接架(14)，所述连接架(14)连接两组喷水架(12)，所述清洗架(5)位于喷水架(12)中间位置。
5.根据权利要求1所述的一种喷淋式晶圆高效清洗装置，其特征在于：所述清洗箱(1)中间转动连接有驱动丝杠(15)，所述清洗箱(1)中间固定连接有导向杆(16)，所述驱动丝杠(15)和导向杆(16)均穿过清洗架(5)分别与之螺纹连接和滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种喷淋式晶圆高效清洗装置，其特征在于：所述清洗箱(1)中间固定连接有防护导水板(17)，所述清洗架(5)位于防护导水板(17)之间，所述清洗架(5)与清洗箱(1)和清扫架(6)之间固定连接有防水风琴折叠布。
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