CN210893543U - 一种卧式背封炉检漏工装 - Google Patents
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Abstract
一种卧式背封炉检漏工装，涉及半导体材料生产技术领域，包括用于堵严前炉门的圆形盲板，盲板的底部沿盲板边缘周向开设一环形的密封槽，密封槽内设置密封环，盲板上开设有一个用于放气的放气孔，放气孔具有一凸出于盲板平面的柱形开口，柱形开口由密封组件密封，所述密封组件包括塞入并密封柱形开口的堵头、与堵头固定连接的螺丝、穿设于螺丝上且依次位于堵头上方的压盖及螺帽。本实用新型有益效果：加工工艺简单、价格低廉、操作方便，克服了检漏过程过于繁琐的问题，大大地节省了设备维护时间，提高了工作效率。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体材料生产技术领域，具体涉及一种卧式背封炉检漏工装。
背景技术
半导体硅抛光片生产过程中有一道重要的工艺就是背封工艺。背封工艺主要的一种方式就是采用低压化学气象淀积（LPCVD）原理在硅片背面生长一层二氧化硅或多晶硅薄膜。执行背封工艺主流设备有一种是低压卧式背封炉。工作原理即将硅片放入石英管内，用真空泵对炉管进行抽气，制造真空环境然后再通入气体，并通过蝶阀的开合角度控制石英管内的压力。适当的气体配合适当的温度在特定的压力环境下进行反应，在硅片背面生成一层二氧化硅或多晶硅薄膜。
在生产过程中有一项重要的要求就是炉管不能漏气，即漏气速率必须低于一定值。由于炉管接口较多，经常出现漏气的情况，尤其是更换炉管时，检漏过程又比较繁琐，由于没有合适的盲板，堵住前炉门，无法直接排除前炉门部分的漏点，增加了检漏的工作量。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种卧式背封炉检漏工装，解决现有低压卧式背封炉检漏不方便、过程过于繁琐等问题。
本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种卧式背封炉检漏工装，包括用于堵严前炉门的圆形盲板，盲板的底部沿盲板边缘周向开设一环形的密封槽，密封槽内设置密封环，盲板上开设有一个用于放气的放气孔，放气孔具有一凸出于盲板平面的柱形开口，柱形开口由密封组件密封， 所述密封组件包括塞入并密封柱形开口的堵头、与堵头固定连接的螺丝、穿设于螺丝上且依次位于堵头上方的压盖及螺帽， 在压盖与堵头之间还设有密封圈，将堵头塞入柱形开口内后，通过向下拧紧螺帽实现密封。
本实用新型所述密封组件还包括套设在柱形开口的柱形结构外表面的密封盖，密封盖的底部开口，顶部开设有可穿过螺丝的通孔，密封盖内壁上与柱形开口的柱形结构外表面均设有相配合拧紧的螺纹。
本实用新型所述盲板的中心位置固定设置有一个手柄。
本实用新型所述盲板、密封组件、密封盖以及手柄均为表面经过抛光处理的不锈钢材质。
本实用新型的有益效果是：本实用新型通过盲板底部的密封环进行密封，需要放气时可以拔出放气孔堵头，快速放气，可以替代前炉门，从而快速排除前炉门有无漏点；本实用新型加工工艺简单、价格低廉、操作方便，克服了检漏过程过于繁琐的问题，大大地节省了设备维护时间，提高了工作效率。
附图说明
图1为本实用新型密封后整体结构示意图；
图2为本实用新型盲板底部表面结构示意图；
图3为本实用新型密封组件结构示意图。
图中标记：1、盲板，2、放气孔，3、密封槽，4、手柄，5、密封组件，51、堵头，52、螺丝，53、压盖，54、螺帽，6、柱形开口，7、密封盖。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本实用新型的具体实施方式进行详细的阐述和说明。
如图所示，一种卧式背封炉检漏工装，包括用于堵严前炉门的圆形盲板1，盲板1的底部沿盲板1边缘周向开设一环形的密封槽3，密封槽3内设置密封环，盲板1上开设有一个用于放气的放气孔2，放气孔2具有一凸出于盲板1平面的柱形开口6，柱形开口6由密封组件5密封， 所述密封组件5包括塞入并密封柱形开口6的堵头51、与堵头51固定连接的螺丝52、穿设于螺丝52上且依次位于堵头51上方的压盖53及螺帽54， 在压盖53与堵头51之间还设有密封圈，将堵头51塞入柱形开口6内后，通过向下拧紧螺帽54实现密封。
进一步，所述密封组件5还包括套设在柱形开口6的柱形结构外表面的密封盖7，密封盖7的底部开口，顶部开设有可穿过螺丝52的通孔，密封盖7内壁上与柱形开口6的柱形结构外表面均设有相配合拧紧的螺纹。
进一步，所述盲板1的中心位置固定设置有一个手柄4。
进一步，所述盲板1、密封组件5、密封盖7以及手柄4均为表面经过抛光处理的不锈钢材质，能有效地防止沾污。
进一步，可根据炉管尺寸的大小不同，变换本实用新型工装的大小。
本实用新型操作方法：
检漏时将盲板1盖在前炉口位置，通过盲板1底部密封槽3内的密封环进行密封，并通过密封组件5将放气孔2密封，然后直接抽真空进行检漏，需要放气时可以拔出放气孔堵头51，快速放气。本实用新型可以替代前炉门，从而快速排除前炉门有无漏点。本实用新型加工工艺简单、价格低廉、操作方便，克服了检漏过程过于繁琐的问题，大大地节省了设备维护时间，提高了工作效率。
Claims (4)
1.一种卧式背封炉检漏工装，其特征在于：包括用于堵严前炉门的圆形盲板（1），盲板（1）的底部沿盲板（1）边缘周向开设一环形的密封槽（3），密封槽（3）内设置密封环，盲板（1）上开设有一个用于放气的放气孔（2），放气孔（2）具有一凸出于盲板（1）平面的柱形开口（6），柱形开口（6）由密封组件（5）密封， 所述密封组件（5）包括塞入并密封柱形开口（6）的堵头（51）、与堵头（51）固定连接的螺丝（52）、穿设于螺丝（52）上且依次位于堵头（51）上方的压盖（53）及螺帽（54）， 在压盖（53）与堵头（51）之间还设有密封圈，将堵头（51）塞入柱形开口（6）内后，通过向下拧紧螺帽（54）实现密封。
2.根据权利要求1所述的一种卧式背封炉检漏工装，其特征在于：所述密封组件（5）还包括套设在柱形开口（6）的柱形结构外表面的密封盖（7），密封盖（7）的底部开口，顶部开设有可穿过螺丝（52）的通孔，密封盖（7）内壁上与柱形开口（6）的柱形结构外表面均设有相配合拧紧的螺纹。
3.根据权利要求1所述的一种卧式背封炉检漏工装，其特征在于：所述盲板（1）的中心位置固定设置有一个手柄（4）。
4.根据权利要求1所述的一种卧式背封炉检漏工装，其特征在于：所述盲板（1）、密封组件（5）、密封盖（7）以及手柄（4）均为表面经过抛光处理的不锈钢材质。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201921881863.9U CN210893543U (zh) | 2019-11-04 | 2019-11-04 | 一种卧式背封炉检漏工装 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN210893543U true CN210893543U (zh) | 2020-06-30 |
Family
ID=71336708
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2019
- 2019-11-04 CN CN201921881863.9U patent/CN210893543U/zh active Active
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