CN206015071U - 镀膜机与手套箱连接的组合装置 - Google Patents
镀膜机与手套箱连接的组合装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206015071U CN206015071U CN201621107651.1U CN201621107651U CN206015071U CN 206015071 U CN206015071 U CN 206015071U CN 201621107651 U CN201621107651 U CN 201621107651U CN 206015071 U CN206015071 U CN 206015071U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- coating machine
- glove box
- combination unit
- forward flange
- weldering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种镀膜机与手套箱连接的组合装置，包括镀膜机和与其相连接的手套箱，所述镀膜机设置有与手套箱相接触的镀膜机前法兰，所述镀膜机前法兰上加工有环形槽，用于放置环槽密封圈，所述镀膜机与手套箱都设置有抽真空接口和充气接口。本实用新型中的手套箱是一种与大气隔绝的封闭环境的箱体，各种装配操作等工作都能够通过手套在里面进行，手套箱内部无水，无氧，只充入高纯惰性气体，只要实现镀膜机与手套箱的连接，就能解决样品被污染的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种镀膜操作机械，尤其是涉及一种镀膜机与手套箱连接的组合装置，使得镀膜机门在开启或关闭时能与手套箱内部环境相通，避免与大气接触。
背景技术
传统的镀膜机的主体是一个大型的腔体，工作时先进行抽真空处理，达到一定真空度后再进行镀膜。镀膜后再把样品从腔室中拿出来进行后续处理。在这个过程中，样品只有在放到真空室后与大气隔绝，其余情况下都在与大气相接触，从而使样品容易收到大气中水氧等物质的污染。
实用新型内容
为解决现有技术的不足，本实用新型的目的在于为镀膜机腔室提供一种密封效果能够长期保持并且能够长期稳定使用的密闭环境，而手套箱正好解决了这个问题。其技术方案如下所述：
一种镀膜机与手套箱连接的组合装置，包括镀膜机和与其相连接的手套箱，所述镀膜机设置有与手套箱相接触的镀膜机前法兰，所述镀膜机前法兰上加工有环形槽，用于放置环槽密封圈，所述镀膜机与手套箱都设置有抽真空接口和充气接口。
所述手套箱上设置有能够安装镀膜机腔体的方孔，所述方孔的周围设置有焊钉，所述镀膜机前法兰的四周加工有与箱体连接的孔，穿入到焊钉上，焊钉外面用用螺母紧固。
所述镀膜机与手套箱都设置有气压计。
所述镀膜机设置有镀膜机后门，用于维修镀膜机腔室内部出现的故障。
所述手套箱与对样品进行真空处理的大仓相连接。
本实用新型中的手套箱是一种与大气隔绝的封闭环境的箱体，各种装配操作等工作都能够通过手套在里面进行，手套箱内部无水，无氧，只充入高纯惰性气体，只要实现镀膜机与手套箱的连接，就能解决现有技术的不足。
附图说明
图1是本实用新型的镀膜机与手套箱箱体连接的具体实施例的主视图；
图2是本实用新型的镀膜机与手套箱箱体连接的具体实施例的后视图；
图3是本实用新型的镀膜机前法兰与手套箱箱体连接的具体实施例的剖视图；
图中附图标记含义：1、镀膜机前门；2、手套箱；3、镀膜机后门；4、箱体后板；5、镀膜机前法兰；6、焊钉；7、环槽密封圈。
具体实施方式
下面从附图和具体实施例对本实用新型做具体介绍
如图1-3所示，所述手套箱2上开有能够安装镀膜机腔体的方孔，并在方孔的周围种上焊钉6，所述镀膜机设置有与手套箱2的箱体后板4相接触的镀膜机前法兰5，所述镀膜机前法兰5上加工有环形槽，里面放环槽密封圈7，并在四周加工好与箱体连接的孔，将镀膜机与箱体对正好，穿入到箱体的焊钉6上，外面用用螺母紧固。这样就实现了镀膜机与手套箱箱体的连接和密封。
下面介绍一下操作步骤：
将镀膜机和手套箱2调整到实时操作环境，也就是镀膜机和手套箱2都充入高纯惰性气体并保持在一定的正负压力，打开如图1所示的右侧大仓，放入样品，关上舱门，对大仓抽真空，然后给大仓冲入惰性气体，打开大仓左舱门，拿出样品，此时样品已经不含水氧等杂质，而传统的镀膜机没有手套箱的保护，早已经被大气所污染。然后打开镀膜机前门1，将样品放入腔室内，然后对腔室抽真空等镀膜操作，待镀膜完成后，给腔室冲入与手套箱2内压力相等的惰性气体，此时打开镀膜机前门1，拿出样品，关闭镀膜机前门1，这样就避免了样品与空气的二次污染，并且各种装配操作等试验都可以在手套箱内部完成，简单方便。
镀膜机还开有镀膜机后门3，当镀膜机腔室内部出现故障时，可以先关闭镀膜机前门1，此时就可以打开镀膜机后门3进行维修等工作。
可见，本实用新型的镀膜机与手套箱连接的方法，不仅操作简单，容易实施，而且密封效果可以得到有效的保障，被镀样品在整个过程中都不会被污染。
需要说明的是，上述实施例不以任何形式限制本实用新型，凡采用等同替换或等效变换的方式所获得的技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种镀膜机与手套箱连接的组合装置，其特征在于：包括镀膜机和与其相连接的手套箱，所述镀膜机设置有与手套箱相接触的镀膜机前法兰，所述镀膜机前法兰上加工有环形槽，用于放置环槽密封圈，所述镀膜机与手套箱都设置有抽真空接口和充气接口。
2.根据权利要求1所述的镀膜机与手套箱连接的组合装置，其特征在于：所述手套箱上设置有能够安装镀膜机腔体的方孔，所述方孔的周围设置有焊钉，所述镀膜机前法兰的四周加工有与箱体连接的孔，穿入到焊钉上，焊钉外面用用螺母紧固。
3.根据权利要求1所述的镀膜机与手套箱连接的组合装置，其特征在于：所述镀膜机与手套箱都设置有气压计。
4.根据权利要求1所述的镀膜机与手套箱连接的组合装置，其特征在于：所述镀膜机设置有镀膜机后门，用于维修镀膜机腔室内部出现的故障。
5.根据权利要求1所述的镀膜机与手套箱连接的组合装置，其特征在于：所述手套箱与对样品进行真空处理的大仓相连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621107651.1U CN206015071U (zh) | 2016-10-09 | 2016-10-09 | 镀膜机与手套箱连接的组合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621107651.1U CN206015071U (zh) | 2016-10-09 | 2016-10-09 | 镀膜机与手套箱连接的组合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206015071U true CN206015071U (zh) | 2017-03-15 |
Family
ID=58260680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201621107651.1U Active CN206015071U (zh) | 2016-10-09 | 2016-10-09 | 镀膜机与手套箱连接的组合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206015071U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107142457A (zh) * | 2017-04-19 | 2017-09-08 | 电子科技大学 | 一种磁控溅射倾斜沉积镀膜装置 |
| CN109837528A (zh) * | 2019-04-19 | 2019-06-04 | 北京工业大学 | 一种手套箱结合原子层沉积的镀膜设备 |
| CN114959627A (zh) * | 2022-06-09 | 2022-08-30 | 清华大学 | 超清洁pld样品制备及转移的系统和方法 |
-
2016
- 2016-10-09 CN CN201621107651.1U patent/CN206015071U/zh active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107142457A (zh) * | 2017-04-19 | 2017-09-08 | 电子科技大学 | 一种磁控溅射倾斜沉积镀膜装置 |
| CN109837528A (zh) * | 2019-04-19 | 2019-06-04 | 北京工业大学 | 一种手套箱结合原子层沉积的镀膜设备 |
| CN114959627A (zh) * | 2022-06-09 | 2022-08-30 | 清华大学 | 超清洁pld样品制备及转移的系统和方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN206015071U (zh) | 镀膜机与手套箱连接的组合装置 | |
| CN205950779U (zh) | 一种真空手套箱 | |
| CN204566163U (zh) | 一种全透明真空手套箱 | |
| CN203839220U (zh) | 高耐压超级电容器电芯的干燥系统装置 | |
| CN103072146A (zh) | 用于玻璃化学抛光的有机玻璃密封操作箱 | |
| CN203194485U (zh) | 一种泡菜坛子 | |
| CN207420805U (zh) | 一种带真空罐一体结构的真空泵 | |
| CN102288023B (zh) | 清障时保护气体无损耗的电子产品烧结窑炉 | |
| CN201803870U (zh) | 一种超声波粉碎机分流取样器 | |
| CN203923045U (zh) | 一种起爆药自动脱水抽滤装置 | |
| CN203663613U (zh) | 除尘器卸灰助力装置 | |
| CN203116926U (zh) | 发动机壳体气密性试验装置 | |
| CN206814433U (zh) | 一种具有净化功能的紫外线水处理器 | |
| CN210893543U (zh) | 一种卧式背封炉检漏工装 | |
| CN214650551U (zh) | 一种罐药机用密封装置 | |
| CN205701808U (zh) | 一种机台供排风系统 | |
| CN205024342U (zh) | 一种电镀液密封桶 | |
| CN204039493U (zh) | 一种真空在线产品取样机构 | |
| CN203125409U (zh) | 一种松紧手轮用扳手 | |
| CN214824447U (zh) | 一种高效真空包装机 | |
| CN203668358U (zh) | 一种发酵罐的罐盖提升装置 | |
| CN203981487U (zh) | 一种用于壳体水压试验工装的放气装置 | |
| CN203890351U (zh) | 一种厌氧菌培养装置 | |
| CN207746194U (zh) | 一种方便保养维修的真空等离子腔体 | |
| CN208237170U (zh) | 一种真空炉手动充气阀 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |