CN210876576U - 一种硅片生产用底板丝杆移动底座 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片生产用底板丝杆移动底座，包括箱体、丝杆和底板，所述丝杆通过安装板转动连接于箱体内，所述底板固定安装于箱体底部设置，所述箱体的外侧壁固定连接有横板，所述横板上通过连接柱固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有转动杆，所述转动杆贯穿箱体设置并延伸至其内部，所述转动杆与丝杆之间固定连接，所述转动杆位于箱体外的部分和横板上设有同一个清屑机构，所述丝杆上螺纹连接有安装块，所述底板内设有用于伺服电机降温的冷却机构。本实用新型通过冷却机构、清屑机构和除屑组件的配合，实现硅片生产中产生的碎屑进行清理，以及对驱动设备的冷却降温，延长了驱动设备的使用寿命。

Description

一种硅片生产用底板丝杆移动底座

技术领域

本实用新型涉及移动底座技术领域，尤其涉及一种硅片生产用底板丝杆移动底座。

背景技术

在硅片的制造过程中，需要对硅片涂覆扩散层，需要经过多道工艺，因此就需要将硅片固定在可以移动的底座上以便进行生产，现如今的人工从传送带上取出再进行生产，导致硅片成本高、效率低。

现有的滑轨丝杆移动底座设备，硅片制造过程中会产生的碎屑，如若不及时清除，会影响到硅片的进一步加工，而且驱动滑轨丝杆的驱动设备在长时间的运作下，温度过高，极易损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片生产用底板丝杆移动底座。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种硅片生产用底板丝杆移动底座，包括箱体、丝杆和底板，所述丝杆通过安装板转动连接于箱体内，所述底板固定安装于箱体底部设置，所述箱体的外侧壁固定连接有横板，所述横板上通过连接柱固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有转动杆，所述转动杆贯穿箱体设置并延伸至其内部，所述转动杆与丝杆之间固定连接，所述转动杆位于箱体外的部分和横板上设有同一个清屑机构，所述丝杆上螺纹连接有安装块，所述安装块的上端固定安装有T型板，所述底板内设有用于伺服电机降温的冷却机构，所述冷却机构的一端与安装块固定连接，实现了对生产中碎屑的清理和驱动设备的降温。

优选地，所述清屑机构包括固定连接于横板上端的安装管，所述转动杆转动贯穿安装管设置，所述转动杆位于安装管内的部分同轴固定连接有风叶，所述安装管连通有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管的出气端位于箱体的上端，所述第二连接管的出气端位于转动杆的正上方设置，实现了对T型板上硅片的清屑以及对转动杆和丝杆上的清屑，保证了丝杆与安装块连接的安全。

优选地，所述安装管靠近伺服电机的一侧设有进气孔。

优选地，所述冷却机构包括设于底板上端的滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述滑块的上端与安装块的下端固定连接，所述滑块靠近伺服电机的一侧设有第一弹性气囊，所述第一弹性气囊连通有第一波纹管，所述第一波纹管的出气端位于伺服电机的正下方设置，所述滑槽远离伺服电机的一侧内设有组件除屑组件，实现了丝杆转动的同时对电机的同步降温。

优选地，所述除屑组件包括设于滑槽内的第二弹性气囊，所述第二弹性气囊连通有第二波纹管，所述第二波纹管的出气端位于丝杆的正上方设置，实现了对丝杆上附着的碎屑的进一步的清理。

优选地，所述第二波纹管的出气端内安装有过滤网。

相比现有技术，本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型通过清屑机构、除屑组件、转动杆、安装管、第一连接管、第二连接管、第二弹性气囊、第二波纹管之间的配合实现了对硅片生产中产生的碎屑进行清理，保证硅片上无碎屑，为硅片的下一步生产提供保证，而且第二波纹管可对对附着于丝杆上碎屑的清理，保证了丝杆运行的安全。

2、本实用新型通过冷却机构、底板、滑块、第一弹性气囊、第一波纹管、伺服电机的配合，实现了驱动设备的冷却降温，通过丝杆的运动，带动滑块对第一弹性气囊的按压，从而实现同步的对驱动设备的降温，延长了驱动设备的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种硅片生产用底板丝杆移动底座的结构示意图；

图2为图1中A处的放大示意图；

图3为图1中B处的放大示意图。

图中：1箱体、2丝杆、3底板、4横板、5伺服电机、6转动杆、7安装块、8 T型板、9安装管、10风叶、11第一连接管、12第二连接管、13进气孔、14滑块、15第一弹性气囊、16第一波纹管、17第二弹性气囊、18第二波纹管、19过滤网。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种硅片生产用底板丝杆移动底座，包括箱体1、丝杆2和底板3，丝杆2通过安装板转动连接于箱体1内，安装板与箱体1的内侧壁固定连接，安装板给丝杆2提供了支撑的作用，底板3固定安装于箱体1底部设置，箱体1的外侧壁固定连接有横板4，横板4上通过连接柱固定安装有伺服电机5，伺服电机5型号为HSMG130-E15015，伺服电机5的输出端固定连接有转动杆6，转动杆6贯穿箱体1设置并延伸至其内部，转动杆6与丝杆2之间固定连接，这样设置是为了伺服电机5驱动带动转动杆6转动，进一步带动丝杆2转动，为实现底座的移动打下基础，转动杆6位于箱体1外的部分和横板4上设有同一个清屑机构，丝杆2上螺纹连接有安装块7，安装块7的上端固定安装有T型板8，底板3内设有用于伺服电机5降温的冷却机构，冷却机构的一端与安装块7固定连接。

其中，清屑机构包括固定连接于横板4上端的安装管9，转动杆6转动贯穿安装管9设置，安装管9靠近伺服电机5的一侧设有进气孔13，设置进气孔13为了对安装管9提供进气，转动杆6位于安装管9内的部分同轴固定连接有风叶10，安装管9连通有第一连接管11和第二连接管12，第一连接管11的出气端位于箱体1的上端，需要注意的是第一连接管11出气端的位置高于T型板8的位置，这样才能保证风叶10转动产生的气体作用于 T型板8上，从而完成对T型板8硅片的清除碎屑，第二连接管12的出气端位于转动杆6的正上方设置，这样设置是为了通过第二连接管12将气体作用于转动杆6上，而转动杆6又与丝杆2固定连接，这样风叶10转动产生的气体作用于转动杆6和丝杆2上，从而完成对二者表面上的清理碎屑。

其中，冷却机构包括设于底板3上端的滑槽，滑槽内滑动连接有滑块14，滑块14的上端与安装块7的下端固定连接，滑块14靠近伺服电机5的一侧设有第一弹性气囊15，设置第一弹性气囊15目的是为了通过滑块14的压缩，将第一弹性气囊15的气体作用于伺服电机5上，第一弹性气囊15连通有第一波纹管16，第一波纹管16的出气端位于伺服电机5的正下方设置，滑槽远离伺服电机5的一侧内设有组件除屑组件。

更具体的，除屑组件包括设于滑槽内的第二弹性气囊17，第二弹性气囊17连通有第二波纹管18，第二波纹管18的出气端位于丝杆2的正上方设置，第二波纹管18的出气端内安装有过滤网19，设置过滤网19是为了对第二波纹管18回收气体的过滤，防止第二弹性气囊17恢复形变时将带有碎屑气体的吸入到第二弹性气囊17中，保证了除屑气体的纯净，需要注意的是第一弹性气囊15和第二弹性气囊17的材质均为PA聚酰胺纤维，其具有很高的拉伸强度，保持柔软的同时而且不会被散落的碎屑所割破。

本实用新型中，通过启动伺服电机5，伺服电机5带动转动杆6转动，进一步的带动丝杆2转动，从而使得安装块7带动 T型板8运动，从而实现了硅片在移动的T型板8上进行生产加工，而转动杆6转动带动同轴的风叶10进行转动，产生的气体通过第一连接管11作用于运动的T型板8上，对T型板8上的硅片进行清屑处理，而第二连接管12将安装管9内产生的气体作用于转动杆6位于箱体1内的部分，对位于转动杆6和丝杆2上的碎屑进行清理，保证了丝杆2与安装块7连接的安全，另一方面，安装块7的运动，带动滑块14在滑槽内运动，进而挤压第二弹性气囊17，第二弹性气囊17受力压缩产生的气体对伺服电机5进行降温冷却，而滑槽内的第一弹性气囊15受力压缩，作用于丝杆2的上，对丝杆2上的碎屑进行清理操作，然后手动清理箱体1底部和滑槽上的碎屑。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种硅片生产用底板丝杆移动底座，包括箱体（1）、丝杆（2）和底板（3），所述丝杆（2）通过安装板转动连接于箱体（1）内，所述底板（3）固定安装于箱体（1）底部设置，其特征在于，所述箱体（1）的外侧壁固定连接有横板（4），所述横板（4）上通过连接柱固定安装有伺服电机（5），所述伺服电机（5）的输出端固定连接有转动杆（6），所述转动杆（6）贯穿箱体（1）设置并延伸至其内部，所述转动杆（6）与丝杆（2）之间固定连接，所述转动杆（6）位于箱体（1）外的部分和横板（4）上设有同一个清屑机构，所述丝杆（2）上螺纹连接有安装块（7），所述安装块（7）的上端固定安装有T型板（8），所述底板（3）内设有用于伺服电机（5）降温的冷却机构，所述冷却机构的一端与安装块（7）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用底板丝杆移动底座，其特征在于，所述清屑机构包括固定连接于横板（4）上端的安装管（9），所述转动杆（6）转动贯穿安装管（9）设置，所述转动杆（6）位于安装管（9）内的部分同轴固定连接有风叶（10），所述安装管（9）连通有第一连接管（11）和第二连接管（12），所述第一连接管（11）的出气端位于箱体（1）的上端，所述第二连接管（12）的出气端位于转动杆（6）的正上方设置。

3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用底板丝杆移动底座，其特征在于，所述安装管（9）靠近伺服电机（5）的一侧设有进气孔（13）。

4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用底板丝杆移动底座，其特征在于，所述冷却机构包括设于底板（3）上端的滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块（14），所述滑块（14）的上端与安装块（7）的下端固定连接，所述滑块（14）靠近伺服电机（5）的一侧设有第一弹性气囊（15），所述第一弹性气囊（15）连通有第一波纹管（16），所述第一波纹管（16）的出气端位于伺服电机（5）的正下方设置，所述滑槽远离伺服电机（5）的一侧内设有组件除屑组件。

5.根据权利要求4所述的一种硅片生产用底板丝杆移动底座，其特征在于，所述除屑组件包括设于滑槽内的第二弹性气囊（17），所述第二弹性气囊（17）连通有第二波纹管（18），所述第二波纹管（18）的出气端位于丝杆（2）的正上方设置。

6.根据权利要求5所述的一种硅片生产用底板丝杆移动底座，其特征在于，所述第二波纹管（18）的出气端内安装有过滤网（19）。

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