CN210856332U - 一种炉体密封结构以及pecvd管式炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于太阳能电池技术领域，公开了一种炉体密封结构以及PECVD管式炉，该炉体密封结构包括炉门、炉体、设置于所述炉门上的第一密封圈，以及设置于所述炉体的炉口上或设置于与所述炉口相连的法兰上的第二密封圈；其中，所述第一密封圈朝向所述炉体的一侧具有第一配合部，所述第二密封圈朝向所述炉门的一侧具有第二配合部，所述第一配合部与所述第二配合部能够在所述炉门闭合时抵接形成环形的贴合面。本实用新型提供的炉体密封结构密封效果好，减少PECVD管式炉的炉体内的反应气体的漏率，保持反应气体的浓度。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种炉体密封结构以及 PECVD管式炉。
背景技术
PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)镀膜是太阳能电池制备中的重要一环，常用的PECVD镀膜设备分别管式和板式两种，其中管式PECVD镀膜设备制备的膜层致密且膜色较均一，因此得到广泛的应用。
管式PECVD镀膜设备在工作时需要在管式炉中填充反应气体(例如，SiH4和 NH3),反应气体的浓度直接影响镀膜的品质，因此管式炉炉体的密封性能至关重要。然而，现有的管式炉仅在炉门处设置密封圈，该密封圈与炉口上设置的法兰的光滑的端面配合密封炉体，在炉门长期的开关运动中，密封圈的表面会吸附杂质，在炉体闭合后，这些杂质会阻碍密封圈与法兰接触贴合，密封性能大打折扣。此外，炉门或法兰的形变、较软的密封圈与较硬的法兰碰撞摩擦所产生的磨损老化等，都会直接影响密封圈的密封效果。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种炉体密封结构以及PECVD管式炉，以解决现有的PECVD管式炉炉体密封性能不佳的问题。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：一种炉体密封结构，包括炉门和炉体，所述炉体密封结构还包括：
设置于所述炉门上的第一密封圈；
以及设置于所述炉体的炉口上或设置于与所述炉口相连的法兰上的第二密封圈；
其中，所述第一密封圈朝向所述炉体的一侧具有第一配合部，所述第二密封圈朝向所述炉门的一侧具有第二配合部，所述第一配合部与所述第二配合部能够在所述炉门闭合时抵接形成环形的贴合面。
作为优选，所述第一密封圈朝向所述炉体的一侧向外凸起以形成所述第一配合部，所述第二密封圈朝向所述炉门的一侧向内凹设以形成环形槽状的所述第二配合部。
作为优选，所述第一密封圈朝向所述炉体的一侧向内凹设以形成环形槽状的所述第一配合部，所述第二密封圈朝向所述炉门的一侧向外凸起以形成所述第二配合部。
作为优选，所述第一配合部的截面宽度大于所述第二配合部的截面宽度，以在所述炉门闭合时所述第一配合部部分容置于所述第二配合部内，并与环形槽状的所述第二配合部的两个槽沿形成两个环形的贴合面。
作为优选，所述第二配合部的两个槽沿向外凸起呈曲面状。
作为优选，所述第一密封圈和所述第二密封圈由相同的弹性材料制成或者，用于制成所述第一密封圈和所述第二密封圈的弹性材料的硬度相同。
作为优选，所述第一密封圈嵌置于所述炉门上开设的第一凹槽内，所述第二密封圈嵌置于所述炉口或所述法兰上开设的第二凹槽内。
本实用新型还采用以下技术方案：一种PECVD管式炉，包括上述的炉体密封结构。
作为优选，所述第二密封圈设置于与所述炉口相连的法兰上，所述炉口与所述法兰之间设置有第三密封圈。
作为优选，所述第一密封圈和/或所述第二密封圈由同一种含氟橡胶制成。
本实用新型的有益效果：
1、本实用新型提供的炉体密封结构，其设置于炉门上的第一密封圈能与设置于炉口或炉口法兰的端壁上的第二密封圈嵌合并形成至少一个环形的贴合面，密封效果好，减少PECVD管式炉的炉体内的反应气体的漏率，保持反应气体的浓度。
2、本实用新型提供的炉体密封结构在炉门闭合时，起到密封作用的第一配合部与第二配合部均不与法兰或炉门碰撞接触，延缓第一配合部与第二配合部磨损及老化。
附图说明
图1是本实用新型实施例中的炉体密封结构的爆炸结构示意图；
图2是本实用新型实施例中的第一密封圈的结构示意图；
图3是本实用新型实施例中的第二密封圈的结构示意图；
图4是本实用新型实施例中法兰、第一密封圈、第二密封圈以及炉门的配合结构示意图。
图中：
100、炉门；101、第一凹槽；200、法兰；201、第二凹槽；
1、第一密封圈；11、第一配合部；2、第二密封圈；21、第二配合部； 211、槽沿。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
请参阅图1、图2、图3和图4，本实施例提供了一种炉体密封结构，可用于密封PECVD管式炉的炉体，该炉体密封结构包括炉体(图中未示出)和炉门 100，炉体具有一炉口，炉口上设置有法兰200，当炉门100闭合时，设置于炉门100上的第一密封圈1能够与设置于法兰200上的第二密封圈2配合密封炉体。具体而言，第一密封圈1朝向炉体的一侧具有第一配合部11，第二密封圈 2朝向炉门100的一侧具有第二配合部21，从而在外力推压炉门100使炉门100 与法兰200闭合时，第一配合部11能与第二配合部21被压紧抵接形成至少一个环形的贴合面，保证密封效果。较佳地，第一配合部11与第二配合部21可以被设置为能够互相嵌合的凹/凸结构，以增加二者抵接时的接触面积，从而获得更好的密封效果减少PECVD管式炉的炉体内的反应气体的漏率，保持反应气体的浓度。同时，由于在炉门100闭合时，起到密封作用的第一配合部11与第二配合部21均不与法兰200或炉门100碰撞接触，延缓第一配合部11与第二配合部21磨损及老化。在其他可选的实施方式中，PECVD管式炉的炉门100 可以直接与炉口的端壁配合以密封炉体，即第二密封圈2相应地可以被设置在炉口的端壁上。
请具体参阅图4，在一种可选的实施方式中，第一配合部11可以是第一密封圈1朝向炉体的一侧向外凸起形成的，例如，其截面可以呈半圆形；第二配合部21可以是第二密封圈2朝向炉门100的一侧向内凹设形成的，其可以呈环形槽状。在炉门100闭合继而压紧第一密封圈1和第二密封圈2时，该半圆形的第一配合部11可以在嵌置于环形槽状的第二配合部21后被紧压而产生形变，增加二者的密封接触面。较佳地，第一配合部11的截面宽度可以大于第二配合部21的截面宽度，以在炉门100闭合时半圆形的第一配合部11顶端的部分能够被容置于第二配合部21内，从而其与呈环形槽状的第二配合部21的两个槽沿211相接合的部分能够配合形成两个环形的贴合面，获得更好的密封效果。更佳地，第二配合部21的两个槽沿211亦可以向外凸起，如使槽沿211的截面呈半圆形，进而在炉门100闭合继而压紧第一密封圈1和第二密封圈2时，第一配合部11与第二配合部21的两个槽沿211能够被压紧而获得更大的贴合面积，并且半圆形的第一配合部11与半圆形的槽沿211被抵接压紧后，基于二者的回弹力可进一步得到更好的密封效果。而在其他可选的实施方式中，第一配合部11还可以是有第一密封圈1朝向炉体的一侧向内凹设所形成的环形槽，第二配合部21则可以是第二密封圈2朝向炉门100的一侧向外凸起所形成的。
可以理解的是，第一密封圈1和第二密封圈2是由橡胶等弹性材料制成的。且较佳地，二者可以是由相同硬度的弹性材料制成的，例如可以是由同一种材料制成的，以在二者在碰撞接合时不会因其中一个硬度大而另外一个硬度小而使硬度较小的一个快速的磨损失效。
本实施例还提供了一种PECVD管式炉，其包括上述的炉体密封结构。现有的PECVD管式炉的密封结构一般是基于嵌设于炉门100上的凹槽内的密封圈与炉口端壁或法兰200的端壁来实现的，因此，可以在炉口端壁或法兰200的端壁上开设另外一个环形的凹槽，并将第一密封圈1嵌置于炉门100上开设的第一凹槽101内，将第二密封圈2嵌置于炉口端壁或法兰200上开设的第二凹槽 201内即可。例如，可以直接使用现有的炉门，炉门上设置截面呈半圆状的凹槽，并选取截面呈圆形的第一密封圈，以使第一密封圈突出炉门壁部的部分的截面呈半圆形，并选取现有的法兰200，在法兰200上铣削出能嵌设第二密封圈 2的第二凹槽201，并通过第三密封圈将法兰200装设于炉口处。
考虑到PECVD管式炉工作时的高温环境，第一密封圈1尤其是第二密封圈2 均可以由同一种含氟量在80％以上的橡胶制成，以具有耐高温性能。当然地，第三密封圈亦可以由耐高温材料制成。
显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种炉体密封结构，包括炉门(100)和炉体，其特征在于，所述炉体密封结构还包括：
设置于所述炉门(100)上的第一密封圈(1)；以及
设置于所述炉体的炉口上或设置于与所述炉口相连的法兰(200)上的第二密封圈(2)；
其中，所述第一密封圈(1)朝向所述炉体的一侧具有第一配合部(11)，所述第二密封圈(2)朝向所述炉门(100)的一侧具有第二配合部(21)，所述第一配合部(11)与所述第二配合部(21)能够在所述炉门(100)闭合时抵接形成环形的贴合面。
2.根据权利要求1所述的炉体密封结构，其特征在于，所述第一密封圈(1)朝向所述炉体的一侧向外凸起以形成所述第一配合部(11)，所述第二密封圈(2)朝向所述炉门(100)的一侧向内凹设以形成环形槽状的所述第二配合部(21)。
3.根据权利要求1所述的炉体密封结构，其特征在于，所述第一密封圈(1)朝向所述炉体的一侧向内凹设以形成环形槽状的所述第一配合部(11)，所述第二密封圈(2)朝向所述炉门(100)的一侧向外凸起以形成所述第二配合部(21)。
4.根据权利要求2所述的炉体密封结构，其特征在于，所述第一配合部(11)的截面宽度大于所述第二配合部(21)的截面宽度，以在所述炉门(100)闭合时所述第一配合部(11)部分容置于所述第二配合部(21)内，并与环形槽状的所述第二配合部(21)的两个槽沿(211)形成两个环形的贴合面。
5.根据权利要求3所述的炉体密封结构，其特征在于，所述第二配合部(21)的两个槽沿(211)向外凸起呈曲面状。
6.根据权利要求1所述的炉体密封结构，其特征在于，所述第一密封圈(1)和所述第二密封圈(2)由相同的弹性材料制成，或者，用于制成所述第一密封圈(1)和所述第二密封圈(2)的弹性材料的硬度相同。
7.根据权利要求1所述的炉体密封结构，其特征在于，所述第一密封圈(1)嵌置于所述炉门(100)上开设的第一凹槽(101)内，所述第二密封圈(2)嵌置于所述炉口或所述法兰(200)上开设的第二凹槽(201)内。
8.一种PECVD管式炉，其特征在于，包括权利要求1-7任意一项所述的炉体密封结构。
9.根据权利要求8所述的PECVD管式炉，其特征在于，所述第二密封圈(2)设置于与所述炉口相连的法兰(200)上，所述炉口与所述法兰(200)之间设置有第三密封圈。
10.根据权利要求8所述的PECVD管式炉，其特征在于，所述第一密封圈(1)和/或所述第二密封圈(2)由同一种含氟橡胶制成。
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| CN201921874057.9U CN210856332U (zh) | 2019-10-31 | 2019-10-31 | 一种炉体密封结构以及pecvd管式炉 |
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|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115289111A (zh) * | 2022-07-07 | 2022-11-04 | 深圳市科彩精密技术有限公司 | 一种用于光伏电池生产设备的法兰 |
-
2019
- 2019-10-31 CN CN201921874057.9U patent/CN210856332U/zh active Active
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| CN115289111B (zh) * | 2022-07-07 | 2023-08-11 | 深圳市科彩精密技术有限公司 | 一种用于光伏电池生产设备的法兰 |
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