CN210834780U - 一种背板水路的检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种背板水路的检测装置，包括固定架一、齿轮一和传动辊，所述固定架一由水平板和平行固定在水平板上的两个竖板一组成，所述竖板一之间设置多组齿轮一，所述齿轮一两端沿轴线方向设置两个旋转轴，所述两个竖板一上设置多组相互对应的通孔，所述旋转轴插接在通孔内，所述齿轮一之间通过齿轮皮带连接，其中一个所述齿轮一通过旋转轴和输出轴连接电机，其余所述齿轮一两侧设置传动辊，所述传动辊转动连接在水平板上，所述传动辊通过连接组件与齿轮一同步转动，所述固定架一上设置竖板二，所述竖板二上均匀设置多组超声探头，所述超声探头电连接超声探伤仪，本装置检测迅速可靠、适用范围广。

Description

一种背板水路的检测装置

技术领域

本实用新型属于靶材绑定技术领域，具体涉及一种背板水路的检测装置。

背景技术

靶材是指通过溅射镀膜法形成各种功能薄膜溅射源。真空溅射是在温度为300℃~500℃高温下，且在高压电场和较大的磁场下，由电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶材原子或分子沉积在基片上成膜，而最终达到对基片表面镀膜的目的。因此，在溅射过程中，靶材的温度会急剧升高，因而靶材在溅射前需要与背板粘结在一起，背板中设置的冷却水路中的冷水能够迅速消减靶材组件的热量。但当背板中的循环水路存在杂物堵塞，溅射过程中靶材的温度将不会被迅速消减，将导致靶材在受热条件下变形、开裂并与结合的背板相脱落，使得溅射无法达到溅射均匀的效果，同时还可能会对溅射机台造成损伤。因此背板中的冷却水路是否通畅，对靶材能否成功溅射是非常重要的。但目前还没有一种具体的方法对背板中的冷却水路是否堵塞进行检测。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是针对现有技术的不足，提供一种检测迅速可靠、适用范围广的背板水路的检测装置。

为达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种背板水路的检测装置，包括固定架一、齿轮一和传动辊，所述固定架一由水平板和平行固定在水平板上的两个竖板一组成，所述竖板一之间设置多组齿轮一，所述齿轮一两端沿轴线方向设置两个旋转轴，所述两个竖板一上设置多组相互对应的通孔，所述旋转轴插接在通孔内，所述齿轮一之间通过齿轮皮带连接，其中一个所述齿轮一通过旋转轴和输出轴连接电机，其余所述齿轮一两侧设置传动辊，所述传动辊转动连接在水平板上，所述传动辊通过连接组件与齿轮一同步转动，所述固定架一上设置竖板二，所述竖板二上均匀设置多组超声探头，所述超声探头电连接超声探伤仪。

进一步的，所述传动辊由轴芯和辊筒组成，所述辊筒的材质为聚氨酯。

进一步的，所述连接组件包括齿轮二和齿轮三，位于齿轮一一侧的所述轴芯上水平设置齿轮二，所述齿轮二为锥齿轮，所述轴芯底端转动连接轴承一，所述轴承一设置在水平板上，所述齿轮二上方设置与齿轮二相匹配的齿轮三，所述齿轮三通过旋转轴与齿轮一连接，位于齿轮一另一侧的轴芯下方设置轴承二，所述轴承二设置在水平板上。

进一步的，所述竖板一和位于竖板一两侧的水平板之间设置两个罩壳，所述罩壳由L型板和设置在L型板两端的挡板组成，所述罩壳上设置与轴芯、输出轴和竖板二相匹配的通孔。

进一步的，所述超声探头内部设置超声相控阵换能器。

进一步的，所述轴承一和轴承二为圆锥滚子轴承。

本实用新型的有益效果是：

1、一种背板水路的检测装置，包括固定架一、齿轮一和传动辊，所述固定架一由水平板和平行固定在水平板上的两个竖板组成，所述竖板之间设置多组齿轮一，所述齿轮一两端沿轴线方向设置两个旋转轴，所述两个竖板上设置多组相互对应的通孔，所述旋转轴插接在通孔内，齿轮可在竖板之间转动，所述齿轮一之间通过齿轮皮带连接，所有齿轮可同步转动，其中一个所述齿轮一通过旋转轴和输出轴连接电机，电机通过驱动齿轮使齿轮皮带转动，背板可放置在齿轮皮带上随齿轮皮带移动，其余所述齿轮两侧设置传动辊，所述传动辊转动连接在水平板上，传动辊能够随着背板的移动而转动，为背板提供支撑，防止背板行进过程中歪斜，保证检测的正常进行，所述固定架一上设置竖板，所述竖板上均匀设置多组超声探头，所述超声探头电连接超声探伤仪，背板行进时，超声探头对背板进行检测，无需工作人员手工探测，节省人力，超声探头从上到下均匀排列，背板经过超声探头的部分沿高度方向被全部检测，无需探头来回移动进行检测，检测速度快；适合的背板的范围大，厚度位于传动辊能够卡紧的厚度范围内，高度不大于探头检测范围高度的背板均可检测。

2、所述传动辊由轴芯和辊筒组成，所述传动辊为聚氨酯胶辊，聚氨酯胶辊的硬度不大，适合检测的背板厚度范围较大，增加本实用新型的适用范围。

3、所述连接组件包括齿轮二和齿轮三，位于齿轮一一侧的所述轴芯上水平设置齿轮二，所述齿轮二为锥齿轮，所述轴芯底端转动连接轴承一，所述轴承一设置在水平板上，传动辊和齿轮二能够在轴承一内同步转动，所述齿轮二上方设置与齿轮二相匹配的齿轮三，所述齿轮三通过旋转轴与齿轮一连接，齿轮三与齿轮一同步转动，因此通过齿轮二和齿轮三的连接咬合，使位于齿轮一侧的传动辊与齿轮皮带同步转动，齿轮皮带移动的距离和传动辊转动的沿周面的长度相同，齿轮皮带和转动辊共同带动背板向前移动，增加背板所受静摩擦力，防止背板在齿轮皮带上打滑，对齿轮皮带造成磨损，增加装置运行时的可靠性，位于齿轮一另一侧的轴芯下方设置轴承二，所述轴承二设置在水平板上，位于另一侧的传动辊为自由转动的辊，起支撑作用，不与齿轮一相连，在保证背板正常移动的前提下减少零件，节省加工成本。

4、所述竖板和位于竖板两侧的水平板之间设置两个罩壳，所述罩壳由L型板和设置在L型板两端的挡板组成，所述罩壳上设置与传动辊、输出轴和竖板相匹配的通孔，罩壳既能够防止灰尘和其他杂质落入轴承内，影响轴承转动，又能防止工作人员触碰到转动中的齿轮一和齿轮三，提高本装置的实用性和安全性。

5、所述超声探头内部设置超声相控阵换能器，增加超声探头的检测可信度，且不需要介质，免除后续的清洗工作。

6、所述轴承一和轴承二为圆锥滚子轴承，圆锥滚子轴承可以承受径向负荷和单一方向轴向负荷，适合本装置使用，增加本实用新型的使用寿命。

7、所述旋转轴上设置挡环，所述挡环紧贴竖板一的外侧壁，限制齿轮一的位置，防止齿轮一在转动过程中移动，保证装置运行的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型第一种实施方式的结构示意图；

图2为电机、齿轮一和齿轮三的连接结构示意图；

图3为齿轮皮带的结构示意图；

图4为辊芯、轴承一和齿轮二的连接示意图；

图5为固定架一的结构示意图；

图6为本实用新型第二种实施例的结构示意图；

图7为罩壳的结构示意图；

其中，1-固定架一，2-齿轮一，3-旋转轴，4-齿轮皮带，5-输出轴，6-电机，7-传动辊，8-超声探头，9-齿轮二，10-齿轮三，11-轴承一，12-轴承二，13-罩壳，14-水平板，15-竖板一，16-竖板二，17-轴芯，18-辊筒，19-挡环。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

如图1-5所示为本实用新型的第一种实施方式，一种背板水路的检测装置，包括固定架一1、齿轮一2和传动辊7，固定架一1的结构如图5所示，由水平板14和平行焊接在水平板14上的两个竖板一15组成，两个竖板一15上通过打孔机打出五组相互对应的通孔，竖板一15之间设置五个钢制齿轮一2，齿轮一2两端沿轴心方向焊接两个钢制旋转轴3，旋转轴3均插接在通孔内，如图2所示，旋转轴3上焊接挡环19，挡环19紧贴竖板一15的侧壁，使齿轮一2可在竖板一15之间旋转二不发生横向位移，齿轮一2之间通过齿轮皮带4连接，齿轮皮带的结构如图3所示，位于中间的齿轮一2连接电机6，电机6为伺服电机，如图2所示，电机6上设有输出轴5，输出轴5的端面与旋转轴3的端面焊接，启动电机6，齿轮皮带4由齿轮一2带动旋转，其他四个齿轮一2两侧均设置传动辊7，传动辊7由轴芯17和辊筒18组成，如图1和图4所示，位于齿轮一2左侧的轴芯17的外周面上焊接齿轮二9，该轴芯17上还设置轴承一11，轴承一11为圆锥滚子轴承，轴芯17底端的外周面焊接在轴承一11内，水平板14上通过车床加工出与轴承一11相匹配的凹槽，轴承一11的外周面焊接在凹槽内，传动辊7和齿轮三10能够在轴承一11内转动，齿轮二9上方设置与齿轮二9相匹配咬合的钢制齿轮三10，齿轮三10右端面的中心与相邻的旋转轴3的端面焊接，使齿轮三10与齿轮一2同步转动，位于齿轮一2右侧的轴芯17底端的外周面焊接在轴承二12内，轴承二12也为圆锥滚子轴承，水平板14上通过车床加工出与轴承二12相匹配的凹槽，轴承二12的外周面焊接在凹槽内。位于中间的齿轮一2右侧的水平板14上垂直焊接钢制竖板二16，竖板二16上通过打孔机从上到下均匀打出通孔，通孔内放置超声探头8，超声探头8内部设置超声相控阵换能器。超声探头8与通孔内壁紧密配合，防止超声探头8掉落，超声探头8的数量与间距以所有超声探头8扫查区域之和完全覆盖背板为宜。

需要检测的背板长度为1200~3070mm，宽度为220~1900mm，厚度为11~18mm，辊筒周面之间最近的距离为11mm，辊筒18的材质采用聚氨酯，聚氨酯的弹性比较大，可以夹紧厚度处于11-18mm范围内的背板，启动电机6，将背板放置在两个辊筒18之间，背板随着齿轮皮带4的移动和传动辊7的滚动向前移动，向前移动的同时，超声探头8对背板进行检测，超声探头8与超声探伤仪电连接，检测结果通过超声探伤仪读出，检测确定有堵塞的位置。

实施例二

如图6和图7所示为本实用新型的第二种实施例，本实施例与实施例一的区别在于，为防止灰尘杂质落在轴承一11和轴承二12内，竖板一15和位于竖板一15两侧的水平板14之间焊接两个罩壳13，罩壳13的结构如图7所示，由L型钢板和垂直焊接在L型钢板两端的挡板组成，罩壳13上通过打孔机和切割机打出与轴芯17、输出轴5和竖板二16相匹配的通孔。

最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其他修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (7)

1.一种背板水路的检测装置，其特征在于，包括固定架一(1)、齿轮一(2)和传动辊(7)，所述固定架一(1)由水平板和平行固定在水平板(14)上的两个竖板一(15)组成，所述竖板一(15)之间设置多组齿轮一(2)，所述齿轮一(2)两端沿轴线方向设置两个旋转轴(3)，所述两个竖板一(15)上设置多组相互对应的通孔，所述旋转轴(3)插接在通孔内，所述齿轮一(2)之间通过齿轮皮带(4)连接，其中一个所述齿轮一(2)通过旋转轴(3)和输出轴(5)连接电机(6)，其余所述齿轮一(2)两侧设置传动辊(7)，所述传动辊(7)转动连接在水平板(14)上，所述传动辊(7)通过连接组件与齿轮一(2)同步转动，所述固定架一(1)上设置竖板二(16)，所述竖板二(16)上均匀设置多组超声探头(8)，所述超声探头(8)电连接超声探伤仪。

2.根据权利要求1所述的一种背板水路的检测装置，其特征在于，所述传动辊(7)由轴芯(17)和辊筒(18)组成，所述辊筒(18)的材质为聚氨酯。

3.根据权利要求2所述的一种背板水路的检测装置，其特征在于，所述连接组件包括齿轮二(9)和齿轮三(10)，位于齿轮一(2)一侧的所述轴芯(17)上水平设置齿轮二(9)，所述齿轮二(9)为锥齿轮，所述轴芯(17)底端转动连接轴承一(11)，所述轴承一(11)设置在水平板(14)上，所述齿轮二(9)上方设置与齿轮二(9)相匹配的齿轮三(10)，所述齿轮三(10)通过旋转轴(3)与齿轮一(2)连接，位于齿轮一(2)另一侧的轴芯(17)下方设置轴承二(12)，所述轴承二(12)设置在水平板(14)上。

4.根据权利要求1或2所述的一种背板水路的检测装置，其特征在于，所述竖板一(15)和位于竖板一(15)两侧的水平板(14)之间设置两个罩壳(13)，所述罩壳(13)由L型板和设置在L型板两端的挡板组成，所述罩壳(13)上设置与轴芯(17)、输出轴(5)和竖板二(16)相匹配的通孔。

5.根据权利要求1所述的一种背板水路的检测装置，其特征在于，所述超声探头(8)内部设置超声相控阵换能器。

6.根据权利要求3所述的一种背板水路的检测装置，其特征在于，所述轴承一(11)和轴承二(12)为圆锥滚子轴承。

7.根据权利要求1所述的一种背板水路的检测装置，其特征在于，每个所述旋转轴(3)上均设置挡环(19)，所述挡环(19)紧贴竖板一(15)的外侧壁。

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