CN210773913U - 掩膜版尺寸测量装置 - Google Patents

Abstract

一种掩膜版尺寸测量装置，包括测量平台以及至少两个距离测量仪，所述测量平台上设有放置区，所述放置区用于放置待测掩膜版；该距离测量仪固定在所述测量平台上，所述距离测量仪位于所述放置区以外，且相对地设置在放置区两侧，通过所述至少两个距离测量仪对待测掩膜版进行测量，可快速准确的获得所述待测掩膜版的外观尺寸信息，使得掩膜版尺寸的测量效率提高。

Description

掩膜版尺寸测量装置

技术领域

本实用新型涉及掩膜版制作技术领域，具体涉及一种掩膜版尺寸测量装置。

背景技术

掩膜板是一种负责将设计版图转移到玻璃或硅片等介质上的模板产品，掩膜板是由金属层薄膜或光阻层薄膜和材质为高纯度融石英或其它材质的玻璃载板组合而成的，广泛用于IC、FPD、MEMS、光学器件等行业的模具。

在掩膜版的制作过程中，对于掩膜版的尺寸的把控影响到掩膜版性能的好坏。现有技术中，使用SYO-3000修补仪对掩膜版的长、宽、高进行测量，在测量的过程中需控制平台多次移动和对焦，操作过程繁琐，浪费时间并且精度不高，测量效率低下。

因此，亟需提供一种掩膜版尺寸测量装置，以提高掩膜版尺寸的测量效率。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种掩膜版尺寸测量装置，主要解决的技术问题是如何提高掩膜版尺寸测量的效率。

本实用新型提供了一种掩膜版尺寸测量装置，包括测量平台，所述测量平台上设有放置区，所述放置区用于放置待测掩膜版；以及至少两个距离测量仪，其固定在所述测量平台上，所述距离测量仪位于所述放置区以外，且相对地设置在放置区两侧。

进一步地，所述距离测量仪可拆卸固定在所述测量平台上。

进一步地，所述距离测量仪为激光测距仪。

进一步地，所述距离测量仪的数量为4个，并以两两对称的方式设置。

进一步地，所述距离测量仪设置在所述放置区的边缘的延长线上。

进一步地，所述放置区设有防静电垫，所述防静电垫用于承托待测掩膜版。

进一步地，所述防静电垫的数量为2，且所述防静电垫为条状，沿所述放置区对称设置。

进一步地，还包括数据处理装置，与所述距离测量仪连接，接收所述距离测量仪测得的数据。

依据上述实施例提供的掩膜版尺寸测量装置，包括测量平台以及至少两个距离测量仪，且该测量平台上设有放置区，该距离测量仪固定在测量平台上，该距离测量仪位于放置区以外，且相对地设置在放置区两侧。将掩膜版放置在测量平台上的放置区，从而可通过至少两个距离测量仪分别测得距离测量仪至掩膜版边部的距离。用户可利用该数据人工或通过其他计算设备方便的计算出掩膜版的尺寸，使得掩膜版尺寸的测量效率提高。

附图说明

图1为本申请一实施例提供的掩膜版尺寸测量装置示意图；

图2为本申请另一实施例提供的掩膜版尺寸测量装置示意图；

图3为图2中沿AA1方向的剖面示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。

由背景技术可知，现有技术中使用SYO-3000修补仪进行测量，在测量的过程中需控制平台多次移动和对焦，操作过程繁琐，浪费时间并且精度不高，测量效率低下。经发明人仔细分析可知，现有技术中使用SYO-3000修补仪进行测量时，需采用CCD进行成像，在测量过程中，需先控制平台移动至镜头下，聚焦，在显示屏上清晰成像后，控制该控制平台移动至一边，将屏幕上的十字刻度线与版边缘重合，将坐标清零；再将该控制平台移动至另一侧，将屏幕上的十字刻度线与版边缘重合，从而获得此时坐标值，该坐标值即为所测得的距离值。因此，通过上述方法对掩膜版的外观尺寸进行测量时，过程过于复杂，测量精度不高，效率低下。

为解决上述问题，本申请提供一种掩膜版尺寸测量装置，通过使用相对设置的距离测量仪，将待测掩膜版放置该距离测量仪之间获取测量数据，通过简单的计算即可得到该掩膜版的尺寸，测量过程简单方便，得到的数据准确度更高，该掩膜版尺寸测量装置使得掩膜版尺寸的测量效率提高。为使本实用新型明显易懂，下面将结合附图对本申请进行详细阐述。

一种掩膜版尺寸测量装置包括测量平台100以及至少两个距离测量仪300，该测量平台100上设有放置区200，放置区200用于放置待测掩膜版，距离测量仪300固定在该测量平台100上，该距离测量仪300位于该放置区200以外，且相对地设置在该放置区200的两侧。

本实施例中，该测量平台100的表面为矩形，可以是一张具有支撑柱平台，类似一张方桌，也可以是仅是一个平面，适于放置待测掩膜版，可以移动。该测量平台100的尺寸大于或等于待测掩膜版的尺寸。

本实施例中，该放置区200的设置目的是方便待测掩膜版的安放，以利于后期测量的准确，该放置区200可以是形状规律的区域，可以是与该测量平台100在同一个平面，也可以是设在该测量平台100凸起，可以放置待测掩膜版即可。

本实施例中，该距离测量仪300为激光测量仪，可以用来测量该距离测量仪300到被测物体的距离。该距离测量仪300可以为两个，也可以是多个，目的是便于同时测得该距离测量仪300到待测掩膜版边缘的距离，提高测量效率。

例如，具有两个该距离测量仪300，即，第一距离测量仪和第二距离测量仪，该第一距离测量仪与该第二距离测量仪可以同时测得分别与待测掩膜版相对两侧的距离，即，同时得到该第一距离测量仪到待测掩膜版一侧的距离值a，以及得到该第二距离测量仪到待测掩膜版另一侧的距离值b，那么，可以通过距离值a和距离值b的数值得到该待测掩膜版两侧之间的长度值。具体计算过程可以是：待测掩膜版的长度(或宽度)X等于第一距离测量仪和第二距离测量仪之间的总距离A减去a和b，即，X＝A-(a+b)。

需要说明的是，当各个距离测量仪300测得到待测掩膜版边缘的各个距离值后，可以通过人工计算的方式获得进一步计算值，例如，通过该各个距离值计算获得待测掩膜版的长度值、宽度值、对边平行度值等；也可以通过其他电子设备获得该进一步计算值。

该距离测量仪300是可拆卸固定在该测量平台100上。通过上述装置可以快速得到的是待测掩膜版在某一位置上的长度值，当需要测量另一位置上的长度值时，可以调节两个距离测量仪300的位置，从而获得待测掩膜版另一位置的长度值，例如，先测得待测掩膜版左侧的长度值，再调节两个距离测量仪300的位置至该待测掩膜版的右侧，以测得待测掩膜版右侧的长度值。

在其他实施例中，参考图2和图3，其中，图3是图2沿AA1线上的剖面图，该掩膜版尺寸测量装置具有四个该距离测量仪300，以两两对称的方式设置在该放置区200的两侧，以便于测量待测掩膜版时，可以同时测得待测掩膜版左侧长度和右侧长度，提高测量效率。

需要说明的是，上述所提到的待测掩膜版左侧或待测掩膜版右侧指的是相对该待测掩膜版的某同一对称线而言的左侧或右侧。

本实施例中，该距离测量仪300设置在该放置区的边缘的延长线上，以便于快速获得待测掩膜版两边缘的长度值。在其他实施例中，该测量平台100上设有导向杆(未图示)，该距离测量仪300固定在该导向杆上，适于沿该导向杆滑动，可以方便测量待测掩膜版任何位置的长度。

本实施例中，该放置区200还可以设置防静电垫201，该防静电垫201用于承托待测掩膜版。该防静电垫201可以是PVC防静电台垫，也可以是橡塑防静电台垫，本实施例中为橡塑防静电台垫，目的是防止待测掩膜版遭受静电击伤。该防静电垫201的数量为2，且该防静电垫201的形状为条状，沿该放置区200对称设置。当该防静电垫201配合该距离测量仪300安放，使得待测掩膜版摆放位置利于测量，可以提高测量效率。

还可以包括数据处理装置，该数据处理装置与该距离测量仪300连接，接收该距离测量仪300测得的数据，通过接受该距离测量仪300测得的若干数据，可以快速得到关于待测掩膜版的外观尺寸信息，也就是说，可以快速获得该待测掩膜版左侧长度、右侧长度以及对边平行度，还可以进一步配合数据处理装置上的显示系统，显示该待测掩膜版的测量值和标准值，以便于判断该待测掩膜版的外观尺寸是否达标。通过本实用新型提供的掩膜版尺寸测量装置可以快速且准确的获得待测掩膜版的外观尺寸信息，降低人力成本，极大的提高了掩膜版制作效率。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (9)

1.一种掩膜版尺寸测量装置,其特征在于，包括：

测量平台，所述测量平台上设有放置区，所述放置区用于放置待测掩膜版；

以及至少两个距离测量仪，其固定在所述测量平台上，所述距离测量仪位于所述放置区以外，且相对地设置在放置区两侧。

2.如权利要求1所述的掩膜版尺寸测量装置，其特征在于，所述距离测量仪可拆卸固定在所述测量平台上。

3.如权利要求1所述的掩膜版尺寸测量装置，其特征在于，所述距离测量仪为激光测距仪。

4.如权利要求1所述的掩膜版尺寸测量装置，其特征在于，所述距离测量仪的数量为4个，并以两两对称的方式设置。

5.如权利要求4所述的掩膜版尺寸测量装置，其特征在于，所述距离测量仪设置在所述放置区的边缘的延长线上。

6.如权利要求1所述的掩膜版尺寸测量装置，其特征在于，所述放置区设有防静电垫，所述防静电垫用于承托待测掩膜版。

7.如权利要求6所述的掩膜版尺寸测量装置，其特征在于，所述防静电垫的数量为2，且所述防静电垫为条状，沿所述放置区对称设置。

8.如权利要求1所述的掩膜版尺寸测量装置，其特征在于，所述测量平台上设有导向杆，所述距离测量仪固定在所述导向杆上，适于沿所述导向杆滑动。

9.如权利要求1所述的掩膜版尺寸测量装置，其特征在于，还包括：数据处理装置，与所述距离测量仪连接，接收所述距离测量仪测得的数据。

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