CN210711823U

CN210711823U - 一种单晶炉提拉旋转驱动装置

Info

Publication number: CN210711823U
Application number: CN201921222989.5U
Authority: CN
Inventors: 马立强; 张世平; 闫志祥
Original assignee: Jiaozuo Jingrui Photoelectric Co Ltd
Current assignee: Jiaozuo Jingrui Photoelectric Co Ltd
Priority date: 2019-07-31
Filing date: 2019-07-31
Publication date: 2020-06-09
Anticipated expiration: 2029-07-31

Abstract

本实用新型公开了一种单晶炉提拉旋转驱动装置，包括安装板，所述安装板上端固定连接有驱动箱，所述安装板中部竖直贯穿设有转筒，且转筒通过固定轴承与安装板转动连接，所述转筒内插设有提拉杆，所述提拉杆的下端固定连接有连接体，所述安装板上端面设有用于驱动转筒转动的旋转机构，所述驱动箱的内顶部固定安装有第二电机，所述第二电机输出轴末端固定连接有卷盘，所述卷盘上连接有钢丝绳，所述钢丝绳的自由端固定连接有横杆，所述提拉杆的上端贯穿横杆并与其转动连接，所述驱动箱相对的两个内壁上均设有导向槽。本实用新型有效保证单晶炉提拉旋转的平稳，保证成品生产质量。

Description

一种单晶炉提拉旋转驱动装置

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其涉及一种单晶炉提拉旋转驱动装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶硅炉包括硅半导体材料生长合成的主炉室、位于主炉室上端的硅籽晶提升结构和电控自动糸统。

传统的单晶硅炉的硅籽晶提拉、旋转，一般结构复杂，旋转提拉稳定性差，造成产品正品率低，使用制作成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种单晶炉提拉旋转驱动装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种单晶炉提拉旋转驱动装置，包括安装板，所述安装板上端固定连接有驱动箱，所述安装板中部竖直贯穿设有转筒，且转筒通过固定轴承与安装板转动连接，所述转筒内插设有提拉杆，所述提拉杆的下端固定连接有连接体，所述安装板上端面设有用于驱动转筒转动的旋转机构，所述驱动箱的内顶部固定安装有第二电机，所述第二电机输出轴末端固定连接有卷盘，所述卷盘上连接有钢丝绳，所述钢丝绳的自由端固定连接有横杆，所述提拉杆的上端贯穿横杆并与其转动连接，所述驱动箱相对的两个内壁上均设有导向槽，两个所述导向槽内均设有导向机构，所述横杆的两端分别连接在两个导向机构上。

优选地，所述旋转机构包括固定安装在安装板上端面的第一电机，所述第一电机输出轴的末端固定连接有齿轮，所述转筒上固定套接有齿圈，且齿圈与齿轮啮合。

优选地，所述导向机构包括竖直设置在导向槽内的导向杆，所述导向杆的上下两端均固定连接在导向槽的内壁上，两个所述导向杆上均滑动套接有滑套，所述横杆的两端分别固定连接在两个滑套上。

优选地，所述提拉杆的上端固定连接有限位块，所述提拉杆上套设有推力轴承，且推力轴承位于限位块与横杆之间。

优选地，所述第一电机与第二电机均为伺服电机。

优选地，所述转筒内壁与提拉杆横截面为相互适配的矩形结构。

本实用新型的有益效果：

通过设置第二电机、卷盘、钢丝绳、横杆、提拉杆，启动第二电机，驱动卷盘转动，即可通过钢丝绳将横杆在竖直方向上进行提拉，且运转更平稳。

通过设置旋转机构，启动第一电机，驱动齿轮转动，由于齿轮与齿圈啮合，进而驱动转筒转动，由于转筒内壁与提拉杆的截面均为矩形结构，进而通过转筒带动提拉杆转动，驱动提拉杆旋转，即可实现在提拉杆上竖向提拉时，对其进行平稳在转动，进而有效保证单晶炉提拉旋转的平稳，保证成品生产质量。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种单晶炉提拉旋转驱动装置的结构示意图；

图2为图1中A处放大图；

图3为本实用新型提出的一种单晶炉提拉旋转驱动装置的转筒与提拉杆横截面的结构示意图。

图中：1安装板、2固定轴承、3提拉杆、4连接体、5转筒、6第一电机、7齿轮、8齿圈、9驱动箱、10横杆、11钢丝绳、12卷盘、13第二电机、14滑套、15导向杆、16导向槽、17推力轴承、18限位块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1-3，一种单晶炉提拉旋转驱动装置，包括安装板1，安装板1上端固定连接有驱动箱9，安装板1中部竖直贯穿设有转筒5，且转筒5通过固定轴承2与安装板1转动连接，转筒5内插设有提拉杆3，提拉杆3的下端固定连接有连接体4，连接体4用于连接籽晶（为现有技术），安装板1上端面设有用于驱动转筒5转动的旋转机构，驱动箱9的内顶部固定安装有第二电机13，第二电机13输出轴末端固定连接有卷盘12，卷盘12上连接有钢丝绳11，钢丝绳11的自由端固定连接有横杆10，提拉杆3的上端贯穿横杆10并与其转动连接，驱动箱9相对的两个内壁上均设有导向槽16，两个导向槽16内均设有导向机构，横杆10的两端分别连接在两个导向机构上。

本实用新型中，旋转机构包括固定安装在安装板1上端面的第一电机6，第一电机6输出轴的末端固定连接有齿轮7，转筒5上固定套接有齿圈8，且齿圈8与齿轮7啮合。

具体的，导向机构包括竖直设置在导向槽16内的导向杆15，导向杆15的上下两端均固定连接在导向槽16的内壁上，两个导向杆15上均滑动套接有滑套14，横杆10的两端分别固定连接在两个滑套14上，通过导向杆15在竖直方向起到限位导向作用，使得竖直提拉更平稳。

具体的，提拉杆3的上端固定连接有限位块18，提拉杆3上套设有推力轴承17，且推力轴承17位于限位块18与横杆10之间，推力轴承17起到转动承压作用。

具体的，第一电机6与第二电机13均为伺服电机。

具体的，转筒5内壁与提拉杆3横截面为相互适配的矩形结构，使得提拉杆3可在转筒5内部沿竖直方向滑动，且转筒5转动可带动提拉杆3转动。

本实用新型使用时，启动第二电机13，驱动卷盘12转动，即可通过钢丝绳11将横杆10在竖直方向上进行提拉，且运转更平稳，启动第一电机6，驱动齿轮7转动，由于齿轮7与齿圈8啮合，进而驱动转筒5转动，由于转筒5内壁与提拉杆3的截面均为矩形结构，进而通过转筒5带动提拉杆3转动，驱动提拉杆3旋转，即可实现在提拉杆3上竖向提拉时，对其进行平稳在转动，进而有效保证单晶炉提拉旋转的平稳，保证成品生产质量。

以上，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种单晶炉提拉旋转驱动装置，包括安装板（1），其特征在于，所述安装板（1）上端固定连接有驱动箱（9），所述安装板（1）中部竖直贯穿设有转筒（5），且转筒（5）通过固定轴承（2）与安装板（1）转动连接，所述转筒（5）内插设有提拉杆（3），所述提拉杆（3）的下端固定连接有连接体（4），所述安装板（1）上端面设有用于驱动转筒（5）转动的旋转机构，所述驱动箱（9）的内顶部固定安装有第二电机（13），所述第二电机（13）输出轴末端固定连接有卷盘（12），所述卷盘（12）上连接有钢丝绳（11），所述钢丝绳（11）的自由端固定连接有横杆（10），所述提拉杆（3）的上端贯穿横杆（10）并与其转动连接，所述驱动箱（9）相对的两个内壁上均设有导向槽（16），两个所述导向槽（16）内均设有导向机构，所述横杆（10）的两端分别连接在两个导向机构上。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉提拉旋转驱动装置，其特征在于，所述旋转机构包括固定安装在安装板（1）上端面的第一电机（6），所述第一电机（6）输出轴的末端固定连接有齿轮（7），所述转筒（5）上固定套接有齿圈（8），且齿圈（8）与齿轮（7）啮合。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉提拉旋转驱动装置，其特征在于，所述导向机构包括竖直设置在导向槽（16）内的导向杆（15），所述导向杆（15）的上下两端均固定连接在导向槽（16）的内壁上，两个所述导向杆（15）上均滑动套接有滑套（14），所述横杆（10）的两端分别固定连接在两个滑套（14）上。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉提拉旋转驱动装置，其特征在于，所述提拉杆（3）的上端固定连接有限位块（18），所述提拉杆（3）上套设有推力轴承（17），且推力轴承（17）位于限位块（18）与横杆（10）之间。

5.根据权利要求2所述的一种单晶炉提拉旋转驱动装置，其特征在于，所述第一电机（6）与第二电机（13）均为伺服电机。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉提拉旋转驱动装置，其特征在于，所述转筒（5）内壁与提拉杆（3）横截面为相互适配的矩形结构。