CN210675762U - 气泡排除装置及匀胶机 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种气泡排除装置及匀胶机，气泡排除装置包括第一储胶容器以及第二储胶容器，第二储胶容器密封设置，第一储胶容器与第二储胶容器之间通过第一输送管连接，第二储胶容器上设有用于输出胶体的第二输送管，第二输送管上设有第一阀门；气泡收集容器，气泡收集容器密封设置，气泡收集容器与第二储胶容器通过第三输送管连接；抽气装置，抽气装置与气泡收集容器连接，以抽取气泡收集容器中的空气。本申请提供的气泡排除装置及匀胶机可实现排除胶体中气泡的目的，提高了光刻胶在晶片表面上涂覆的均匀性，提高了成品率。

Description

气泡排除装置及匀胶机

技术领域

本实用新型一般涉及半导体技术领域，具体涉及光刻胶涂覆设备技术领域，尤其涉及气泡排除装置及匀胶机。

背景技术

光刻胶，又称光阻剂，常被用于制作半导体晶片表面上的涂覆层。匀胶机是光刻胶涂覆技术领域中的常用设备，用于将光刻胶均匀地涂覆在半导体晶片的表面上。匀胶机的工作原理具体为：通过喷胶嘴向高速旋转的晶片上滴注光刻胶，然后利用离心力使滴注在晶片上的光刻胶均匀地涂覆在晶片的表面上。

在对半导体晶片进行涂覆光刻胶时，由于匀胶机的送胶管中经常会存在一些气泡且气泡会随着光刻胶被滴注在晶片上，导致形成在晶片上的光刻胶涂覆层中存在气泡。当光刻胶涂覆层中存在气泡时，不仅会使得光刻胶涂覆不均匀且还会降低光刻胶涂覆层的厚度，进而降低了成品率。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种气泡排除装置及匀胶机。

本申请提供一种气泡排除装置，包括第一储胶容器，以及

第二储胶容器，第二储胶容器密封设置，第一储胶容器与第二储胶容器之间通过第一输送管连接，第二储胶容器上设有用于输出胶体的第二输送管，第二输送管上设有第一阀门；

气泡收集容器，气泡收集容器密封设置，气泡收集容器与第二储胶容器通过第三输送管连接；

抽气装置，抽气装置与气泡收集容器连接，以抽取气泡收集容器中的空气。

进一步地，第三输送管上设有第二阀门。

进一步地，抽气装置与气泡收集容器之间通过第四输送管连接，且第四输送管上设有第三阀门。

进一步地，气泡收集容器包括密封设置的钢瓶。

进一步地，气泡收集容器还包括设置于钢瓶中的气泡收集桶，第三输送管连接于气泡收集桶，第四输送管连接于气泡收集桶的顶部。

进一步地，抽气装置为真空发生器。

进一步地，第二输送管连接于第二储胶容器的底部，第三输送管连接于第二储胶容器的顶部。

进一步地，还包括：

重量测量装置，重量测量装置与气泡收集容器连接，以测取气泡收集容器中物料的重量值；

报警装置，用于发出声音、灯光和/或振动报警信号；

控制器，分别与重量测量装置和报警装置连接，用于根据重量测量装置的测量结果控制报警装置的启闭。

进一步地，报警装置为声音报警器、灯光报警器和/或振动报警器。

本申请还提供一种匀胶机，包括喷胶嘴，还包括气泡排除装置，第二输送管的输出端和喷胶嘴连接。

本申请提供的气泡排除装置及匀胶机，通过抽气装置抽取气泡收集容器内部的空气，使得第一储胶容器、第二储胶容器以及气泡收集容器中的压力依次变小，在压差的作用下第一储胶容器内的胶体通过第一输送管输送至第二储胶容器，第二储胶容器内胶体中的气泡在浮力以及压差的作用下快速漂浮至顶部并通过第三输送管输送至气泡收集容器中，第二储胶容器内经过排除气泡后的胶体通过第二输送管与匀胶机的喷胶嘴相连以滴注在晶片的表面上，实现了排除胶体中气泡的目的，提高了光刻胶在晶片表面上涂覆的均匀性，提高了成品率。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本申请实施例提供的气泡排除装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

请参考图1，本申请实施例提供一种气泡排除装置，包括第一储胶容器1以及第二储胶容器2，第二储胶容器2密封设置，第一储胶容器1与第二储胶容器2之间通过第一输送管5连接，第二储胶容器2上设有用于输出胶体的第二输送管6，第二输送管6上设有第一阀门9；气泡收集容器3，气泡收集容器3密封设置，气泡收集容器3与第二储胶容器2通过第三输送管7连接；抽气装置4，抽气装置4与气泡收集容器3连接，以抽取气泡收集容器3中的空气。

在本实施例中，第一储胶容器1为存放光刻胶的容器，可以为瓶状、桶状等。匀胶机在使用前，可将光刻胶倒入第一储胶容器1中。第一储胶容器1和第二储胶容器2之间通过第一输送管5连接，第二储胶容器2可用于存放从第一储胶容器1中输送过来的胶体。本文所述的胶体可为光刻胶。第二储胶容器2为密封容器，可优选为密封瓶状、密封管状等。第二储胶容器2上设有第二输送管6，第二输送管6的一端与第二储胶容器2的内腔连通，以将第二储胶容器2中被排除气泡后的胶体输送至匀胶机的喷胶嘴处。第二输送管6上设有第一阀门9，以用于启闭第二输送管6。在排除气泡时第一阀门9处于关闭状态。气泡收集容器3与第二储胶容器2通过第三输送管7连接，气泡收集容器3可用于存放从第二储胶容器2中输送过来的带有气泡的胶体。抽气装置4与气泡收集容器3连接，以将气泡收集容器3中的空气抽取出来。抽气装置4可优选地连接于气泡收集容器3的顶部。第一输送管5和第二储胶容器2之间、第三输送管7和第二储胶容器2之间、第三输送管7和气泡收集容器3之间、第二输送管6和第二储胶容器2之间皆可通过密封环密封连接，以加强两者之间在连接处的密封性能。

在本实施例中，第一储胶容器1和第二储胶容器2之间以及第二储胶容器2和气泡收集容器3之间通过输送管连接，抽气装置4抽取气泡收集容器3中的空气以在气泡收集容器3中形成负压，且第一储胶容器1、第二储胶容器2以及气泡收集容器3中的压力依次变小，此时在压差的作用下第一储胶容器1内的胶体通过第一输送管5输送至第二储胶容器2，胶体中的气泡也随胶体一起进入第二储胶容器2中。第二储胶容器2内胶体中的气泡在浮力以及压差的作用下快速漂浮至顶部并在压差的作用下通过第三输送管7输送至气泡收集容器3中。第二储胶容器2内经过排除气泡后的胶体通过第二输送管6与匀胶机的喷胶嘴相连以滴注在晶片的表面上，实现了排除胶体中气泡的目的，提高了光刻胶在晶片上涂覆的均匀性，提高了成品率。

此外，在本实施例中，通过抽气装置4抽取气泡收集容器3中的空气，以在第一储胶容器1、第二储胶容器2和气泡收集容器3之间形成压差，进而避免第一储胶容器1因高压出现爆裂的问题，以及第一储胶容器1中气体在高压的作用下出现气体溶于胶体以增加胶体中气泡量的问题。

在某些优选的实施例中，第三输送管7上设有第二阀门10，以控制第三输送管7的通断。

在本优选的实施例中，第三输送管7上设有第二阀门10，且第二阀门10位于第三输送管7与第二储胶容器2的连接部分以及第三输送管7与气泡收集容器3连接部分之间。通过设置第二阀门10，可实现控制第三输送管7的通断，进而控制第二储胶容器2中向气泡收集容器3中输送的胶体量。

在某些优选的实施例中，抽气装置4与气泡收集容器3之间通过第四输送管8连接，且第四输送管8上设有第三阀门11。

在本优选的实施例中，第三阀门11可控制第四输送管8的通断，便于在抽气装置4对气泡收集容器3中空气的抽取过程的控制。

在某些优选的实施例中，气泡收集容器3包括密封设置的钢瓶31。由于钢瓶31结构强度高，耐压性能强，进而可在气泡收集容器3中形成较大的负压。

在某些优选的实施例中，气泡收集容器3还包括设置于钢瓶31中的气泡收集桶32，第三输送管7连接于气泡收集桶32，第四输送管8连接于气泡收集桶32的顶部。

在本优选的实施例中，钢瓶31设有可拆卸地的端盖部，通过打开端盖部可将气泡收集桶32放置于钢瓶31中。通过在钢瓶31中设有气泡收集桶32，不仅便于钢瓶31中胶体的回收，还避免胶体涂覆在钢瓶31的内壁面上导致胶体被抽气装置4吸入情况的出现。其中，第三输送管7连接于气泡收集桶32以便于将带有气泡的胶体直接输送至气泡收集桶32。第四输送管8连接于气泡收集桶32的顶部，可有效避免气泡收集桶32中的胶体干涉抽气装置4的工作。

在某些优选的实施例中，抽气装置4为真空发生器，以在气泡收集容器3中形成真空。

在某些优选的实施例中，第二输送管6连接于第二储胶容器2的底部，第三输送管7连接于第二储胶容器2的顶部。

在本优选的实施例，当第一储胶容器1中的胶体进入第二储胶容器2后，胶体中的气泡会浮于胶体顶部然后通过第三输送管7输送至气泡收集容器3中。第三输送管7连接于第二储胶容器2的顶部，可在减少对第二储胶容器2中胶体吸入量的同时将第二储胶容器2中的气泡吸至气泡收集容器3中。当气泡排除完毕后，可通过打开第一阀门9，使得第二储胶内排除气泡后的胶体通过第二输送管6进入匀胶机的喷胶嘴。其中，第二输送管6连接于第二储胶容器2的底部，可便于胶体在自重的作用下进入喷胶嘴中。

在某些优选的实施例中，气泡排除装置还包括：

重量测量装置12，重量测量装置12与气泡收集容器3连接，以测取气泡收集容器3中物料的重量值；

报警装置，用于发出声音、灯光和/或振动报警信号；

控制器，分别与重量测量装置12和报警装置连接，用于根据重量测量装置12的测量结果控制报警装置的启闭。

在本优选的实施例中，重量测量装置12可优选为称重器，通过称重器可获取气泡收集容器3中物料的重量值。气泡收集容器3中物料包括气泡中的气体以及胶体。控制器分别与重量测量装置12和报警装置电连接，以根据重量测量装置12的测量结果控制报警装置的启闭，具体地：控制器根据重量测量装置12的测量结果与预设重量值进行比较，且当测量结果大于预设重量值是控制报警装置发送报警信号，以提醒工作人员气泡收集容器3中物料的增加量异常。其中，报警装置可为声音报警器、灯光报警器和/或振动报警器。

本申请实施例中还提供一种匀胶机，包括喷胶嘴，还包括气泡排除装置，第二输送管6的输出端和喷胶嘴连接。

在本实施例中，匀胶机中包括上述的气泡排除装置，气泡排除装置中的第二输送管6的输出端与喷胶嘴连接，以将气泡收集容器3中排除气泡后的胶体通过第二输送管6输送至喷胶嘴中，使得匀胶机滴注在晶片表面上的胶体中不存在气泡，提高了光刻胶在晶片上涂覆的均匀性，提高了成品率。

需要理解的是，上文如有涉及术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的实用新型范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述实用新型构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (10)

1.一种气泡排除装置，其特征在于，包括第一储胶容器，以及

第二储胶容器，所述第二储胶容器密封设置，所述第一储胶容器与所述第二储胶容器之间通过第一输送管连接，所述第二储胶容器上设有用于输出胶体的第二输送管，所述第二输送管上设有第一阀门；

气泡收集容器，所述气泡收集容器密封设置，所述气泡收集容器与所述第二储胶容器通过第三输送管连接；

抽气装置，所述抽气装置与所述气泡收集容器连接，以抽取所述气泡收集容器中的空气。

2.根据权利要求1所述的气泡排除装置，其特征在于，所述第三输送管上设有第二阀门。

3.根据权利要求1所述的气泡排除装置，其特征在于，所述抽气装置与所述气泡收集容器之间通过第四输送管连接，且所述第四输送管上设有第三阀门。

4.根据权利要求3所述的气泡排除装置，其特征在于，所述气泡收集容器包括密封设置的钢瓶。

5.根据权利要求4所述的气泡排除装置，其特征在于，所述气泡收集容器还包括设置于所述钢瓶中的气泡收集桶，所述第三输送管连接于所述气泡收集桶，所述第四输送管连接于所述气泡收集桶的顶部。

6.根据权利要求1所述的气泡排除装置，其特征在于，所述抽气装置为真空发生器。

7.根据权利要求1所述的气泡排除装置，其特征在于，所述第二输送管连接于所述第二储胶容器的底部，所述第三输送管连接于所述第二储胶容器的顶部。

8.根据权利要求1所述的气泡排除装置，其特征在于，还包括：

重量测量装置，所述重量测量装置与所述气泡收集容器连接，以测取所述气泡收集容器中物料的重量值；

报警装置，用于发出声音、灯光和/或振动报警信号；

控制器，分别与所述重量测量装置和所述报警装置连接，用于根据所述重量测量装置的测量结果控制所述报警装置的启闭。

9.根据权利要求8所述的气泡排除装置，其特征在于，所述报警装置为声音报警器、灯光报警器和/或振动报警器。

10.一种匀胶机，包括喷胶嘴，其特征在于，还包括如权利要求1-9任意一项所述的气泡排除装置，所述第二输送管的输出端和所述喷胶嘴连接。

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