CN210650154U - 一种精密单研抛机机底面连接旋转接头 - Google Patents

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郑东
刘道军
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Abstract

本实用新型公开了一种精密单研抛机机底面连接旋转接头,包括固定块和固定块,所述固定块内部安装有电机,其中,所述电机一侧固定有旋转杆,所述旋转杆一端连接有连接块,所述固定块内部设置有进水管,靠近进水管的所述固定块内部设置有出水管,靠近固定块的所述连接块一侧固定有第一滑块,靠近第一滑块的所述固定块一侧开设有第一滑槽,所述固定块与连接块一侧开设有第二滑槽。该精密单研抛机机底面连接旋转接头设置有转接盘可以通过链接头与研磨盘进行连接,以便转接盘内部连接有第一连接管与第二连接管,从而第一连接管与第二连接管可以分别连接进水软管与出水软管,方便转接盘在转动时不会对进水软管与出水软管进行缠绕第二连接管进入。

Description

一种精密单研抛机机底面连接旋转接头
技术领域
本实用新型涉及工件生产设备技术领域,具体为一种精密单研抛机机底面连接旋转接头。
背景技术
用于半导体晶体材料表面加工的精密研抛机的研磨压盘需冷却,保持其平面度,现有的精密单研抛机机底面连接旋转接头相当一部分机型冷却方式的最主要缺点冷却软管伸出在外,如果安装不良,容易缠绕或与其他零件相碰,造成管路及接头扯断,造成经济损失,不方便进水与出水,软管不方便固定。
目前市场上的精密单研抛机机底面连接旋转接头存在许多缺陷,软管容易缠绕,不方便进水与出水,软管不方便固定,因此市面上迫切需要能改进精密单研抛机机底面连接旋转接头结构的技术,来完善此设备。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种精密单研抛机机底面连接旋转接头,以解决上述背景技术提出的目前市场上的精密单研抛机机底面连接旋转接头存在许多缺陷,软管容易缠绕,不方便进水与出水,软管不方便固定的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种精密单研抛机机底面连接旋转接头,包括固定块和固定块,所述固定块内部安装有电机,其中,
所述电机一侧固定有旋转杆,所述旋转杆一端连接有连接块,所述固定块内部设置有进水管,靠近进水管的所述固定块内部设置有出水管,靠近固定块的所述连接块一侧固定有第一滑块,靠近第一滑块的所述固定块一侧开设有第一滑槽,所述固定块与连接块一侧开设有第二滑槽,所述第二滑槽内部嵌合有第二滑块,所述第二滑块一侧固定有密封垫,靠近第二滑槽的所述固定块与连接块一侧连接有转轴;
靠近进水管的所述连接块一侧开设有出水槽,所述出水槽底部设置有第一连接管,靠近出水槽的所述连接块一侧开设有进水槽,所述进水槽底部设置有第二连接管,所述连接块底部连接有转接盘,所述转接盘底部固定有研磨盘,所述第二连接管一端连接有进水软管,所述第一连接管一端连接有出水软管,所述出水软管一端连接有冷却软管,所述固定块固定在研磨盘内部。
优选的,所述旋转杆的中心与连接块的中心在同一条直线上,且旋转杆与连接块之间构成旋转结构。
优选的,所述第一滑块与第一滑槽设置有四组,且第一滑块与第一滑槽之间为滑动连接。
优选的,所述密封垫为环形状,且密封垫为柔软橡胶材质。
优选的,所述出水槽与进水槽同为圆环状,且出水槽的直径为进水槽的直径的二分之一。
优选的,所述固定块设置有三组,且固定块为“凵”字形,并且固定块凹槽的尺寸与冷却软管的直径相同。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该精密单研抛机机底面连接旋转接头:
1.设置有转接盘可以通过链接头与研磨盘进行连接,以便转接盘内部连接有第一连接管与第二连接管,从而第一连接管与第二连接管可以分别连接进水软管与出水软管,方便转接盘在转动时不会对进水软管与出水软管进行缠绕第二连接管进入;
2.冷却水流能够通过进水管进入进水槽内,以便进水槽可以通过第二连接管进入进水软管内,冷却水流会通过进水软管进入冷却软管内,从而冷却软管内的冷却水流会对研磨盘进行冷却降温,冷却水流降温后会通过冷却软管进入出水软管内,出水软管会将冷却水流输送进第一连接管内,进而第一连接管会将冷却水流输送进出水槽内,出水槽会将冷却水流从出水管排出,方便精密单研抛机可以快速的进水与出水;
3.设置有固定块能够通过拉动冷却软管进行对接,以便固定块与冷却软管对接时可以通过按压冷却软管与固定块的凹槽进行契合,方便研磨盘转动时冷却软管不会晃动。
附图说明
图1为本实用新型侧视结构示意图;
图2为本实用新型连接块俯视结构示意图;
图3为本实用新型研磨盘内部结构示意图;
图4为本实用新型A部放大结构示意图。
图中:1、固定块,2、电机,3、旋转杆,4、连接块,5、进水管,6、出水管,7、第一滑块,8、第一滑槽,9、第二滑块,10、第二滑槽,11、密封垫,12、转轴,13、出水槽,14、第一连接管,15、进水槽,16、第二连接管,17、转接盘,18、研磨盘,19、进水软管,20、出水软管,21、冷却软管,22、固定块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种精密单研抛机机底面连接旋转接头,包括固定块1、电机2、旋转杆3、连接块4、进水管5、出水管6、第一滑块7、第一滑槽8、第二滑块9、第二滑槽10、密封垫11、转轴12、出水槽13、第一连接管14、进水槽15、第二连接管16、转接盘17、研磨盘18、进水软管19、出水软管20、冷却软管21和固定块22,所述固定块1内部安装有电机2,其中,
所述电机2一侧固定有旋转杆3,所述旋转杆3的中心与连接块4的中心在同一条直线上,且旋转杆3与连接块4之间构成旋转结构,电机2工作时可以带动旋转杆3进行转动,旋转杆3转动时可以带动连接块4进行转动,连接块4转动时可以带动转接盘17进行转动,所述旋转杆3一端连接有连接块4,所述固定块1内部设置有进水管5,靠近进水管5的所述固定块1内部设置有出水管6,靠近固定块1的所述连接块4一侧固定有第一滑块7,所述第一滑块7与第一滑槽8设置有四组,且第一滑块7与第一滑槽8之间为滑动连接,连接块4转动时可以带动第一滑块7进行转动,第一滑块7转动时可以与第一滑槽8进行滑动,靠近第一滑块7的所述固定块1一侧开设有第一滑槽8,所述固定块1与连接块4一侧开设有第二滑槽10,所述第二滑槽10内部嵌合有第二滑块9,所述第二滑块9一侧固定有密封垫11,所述密封垫11为环形状,且密封垫11为柔软橡胶材质,密封垫11可以通过自身的密封性对固定块1与连接块4之间的缝隙进行密封,靠近第二滑槽10的所述固定块1与连接块4一侧连接有转轴12;
靠近进水管5的所述连接块4一侧开设有出水槽13,所述出水槽13与进水槽15同为圆环状,且出水槽13的直径为进水槽15的直径的二分之一,冷却水流通过进水管5进入进水槽15内,进水槽15可以通过第二连接管16进入进水软管19内,第一连接管14会将冷却水流输送进出水槽13内,出水槽13会将冷却水流从出水管6排出,所述出水槽13底部设置有第一连接管14,靠近出水槽13的所述连接块4一侧开设有进水槽15,所述进水槽15底部设置有第二连接管16,所述连接块4底部连接有转接盘17,所述转接盘17底部固定有研磨盘18,所述第二连接管16一端连接有进水软管19,所述第一连接管14一端连接有出水软管20,所述出水软管20一端连接有冷却软管21,所述固定块22固定在研磨盘18内部,所述固定块22设置有三组,且固定块22为“凵”字形,并且固定块22凹槽的尺寸与冷却软管21的直径相同,固定块22通过拉动冷却软管21进行对接,固定块22与冷却软管21对接时可以通过按压冷却软管21与固定块22的凹槽进行契合。
工作原理:在使用该精密单研抛机机底面连接旋转接头时,首先需要对精密单研抛机机底面连接旋转接头进行简单的了解,使用时冷却水流通过进水管5进入进水槽15内,进水槽15可以通过第二连接管16进入进水软管19内,冷却水流会通过进水软管19进入冷却软管21内,冷却软管21内的冷却水流会对研磨盘18进行冷却降温,冷却水流降温后会通过冷却软管21进入出水软管20内,出水软管20会将冷却水流输送进第一连接管14内,第一连接管14会将冷却水流输送进出水槽13内,出水槽13会将冷却水流从出水管6排出,在进水管5进水与出水管6排水的同时电机2工作时可以带动旋转杆3进行转动,旋转杆3转动时可以带动连接块4进行转动,连接块4转动时可以带动第一滑块7进行转动,第一滑块7转动时可以与第一滑槽8进行滑动,连接块4转动的同时会带动第二滑块9与第二滑槽10进行滑动,第二滑槽10滑动时会带动密封垫11进行转动,连接块4转动的同时可以带动转接盘17进行转动,转接盘17转动时会带动研磨盘18进行转动,研磨盘18转动时会对工件进行研磨,本说明中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种精密单研抛机机底面连接旋转接头,包括固定块(1)和固定块(22),其特征在于:所述固定块(1)内部安装有电机(2),其中,
所述电机(2)一侧固定有旋转杆(3),所述旋转杆(3)一端连接有连接块(4),所述固定块(1)内部设置有进水管(5),靠近进水管(5)的所述固定块(1)内部设置有出水管(6),靠近固定块(1)的所述连接块(4)一侧固定有第一滑块(7),靠近第一滑块(7)的所述固定块(1)一侧开设有第一滑槽(8),所述固定块(1)与连接块(4)一侧开设有第二滑槽(10),所述第二滑槽(10)内部嵌合有第二滑块(9),所述第二滑块(9)一侧固定有密封垫(11),靠近第二滑槽(10)的所述固定块(1)与连接块(4)一侧连接有转轴(12);
靠近进水管(5)的所述连接块(4)一侧开设有出水槽(13),所述出水槽(13)底部设置有第一连接管(14),靠近出水槽(13)的所述连接块(4)一侧开设有进水槽(15),所述进水槽(15)底部设置有第二连接管(16),所述连接块(4)底部连接有转接盘(17),所述转接盘(17)底部固定有研磨盘(18),所述第二连接管(16)一端连接有进水软管(19),所述第一连接管(14)一端连接有出水软管(20),所述出水软管(20)一端连接有冷却软管(21),所述固定块(22)固定在研磨盘(18)内部。
2.根据权利要求1所述的一种精密单研抛机机底面连接旋转接头,其特征在于:所述旋转杆(3)的中心与连接块(4)的中心在同一条直线上,且旋转杆(3)与连接块(4)之间构成旋转结构。
3.根据权利要求1所述的一种精密单研抛机机底面连接旋转接头,其特征在于:所述第一滑块(7)与第一滑槽(8)设置有四组,且第一滑块(7)与第一滑槽(8)之间为滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种精密单研抛机机底面连接旋转接头,其特征在于:所述密封垫(11)为环形状,且密封垫(11)为柔软橡胶材质。
5.根据权利要求1所述的一种精密单研抛机机底面连接旋转接头,其特征在于:所述出水槽(13)与进水槽(15)同为圆环状,且出水槽(13)的直径为进水槽(15)的直径的二分之一。
6.根据权利要求1所述的一种精密单研抛机机底面连接旋转接头,其特征在于:所述固定块(22)设置有三组,且固定块(22)为“凵”字形,并且固定块(22)凹槽的尺寸与冷却软管(21)的直径相同。
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