CN210572372U - 一种原位物性测试系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及原位物性测试技术领域，公开了一种原位物性测试系统，本实用新型提供的原位物性测试系统由真空设备连接真空样品制备设备，在真空设备内将样品装入真空测试腔室内并密封，再将真空测试部件连接于插杆组件，将插杆组件与快速进样室密封连接，通过插板阀使快速进样室和稀释制冷机连通，控制插杆组件动作以将真空测试部件推入稀释制冷机内进行样品测试，保证了采用上述原位物性测试系统进行物性表征时的准确性，不仅满足和稀释制冷机相关的所有极端条件下物性表征的需求，解决了依靠稀释制冷机的表征测量样品装卸过程会经历暴露大气的课题，完整保留了稀释制冷机原本的强磁场和极低温环境。

Description

一种原位物性测试系统

技术领域

本实用新型涉及原位物性测试技术领域，尤其涉及一种原位物性测试系统。

背景技术

量子材料的设计、制备和表征是“量子调控”的一个重要研究方向。传统做法是尝试多种不同的材料以找到符合需求的，但这种做法具有周期长、效率低的缺陷。为此，现有的方法是基于对材料结构和物性的深刻理解，按照需求设计和制备材料，以实现精准制造。但随着材料维度的降低，材料表面上的原子占比越来越大，暴露大气就会给材料的本征性质带来巨大的影响。

真空互联被公认为是解决这一科学问题的有效技术，而且现有技术中很多实验室已经利用这种技术，将薄膜材料生长和表征分析手段互联起来，在真空的环境下对材料的本征性质进行广泛深入地研究，也取得了很多令人瞩目的结果。但在极端条件下的表征，尤其是基于稀释制冷机技术的极低温强磁场物性表征很难做到准原位，现有依靠稀释制冷机的表征测量样品转接过程暴露大气，大气中的氧气、水等对样品的本征性质带来严重的影响，因此急需一种原位物性测试系统及样品安装方法，实现样品进入稀释制冷机的过程中完全不接触空气，不仅可以满足和稀释制冷机相关的所有极端条件下物性表征的需求，而且避免了依靠稀释制冷机的表征测量样品装卸过程暴露大气。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种原位物性测试系统，能够实现将样品置于稀释制冷机内的过程中不会出现样品暴露在空气中的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种原位物性测试系统，包括稀释制冷机，还包括：

真空测试部件，其包括用于放置样品的真空测试腔，及对所述样品进行测试的测试单元；

快速进样室、插杆组件，所述插杆组件的一端伸入所述快速进样室内并与所述快速进样室可拆卸地密封连接，所述插杆组件能够轴向移动以使所述真空测试部件进入或脱离所述稀释制冷机；

真空设备，能够提供真空环境或惰性气体环境，用于连接真空样品制备设备，所述真空测试部件选择性地置于所述真空设备内或从所述真空设备内取出以可拆卸地连接于所述插杆组件伸入所述快速进样室内的一端；

插板阀，其一端与所述稀释制冷机连通，另一端密封连接于所述快速进样室，所述插板阀能够选择性地控制所述稀释制冷机与所述快速进样室连通或断开；

抽真空单元，用于对所述快速进样室进行抽真空。

作为上述原位物性测试系统的一种优选技术方案，所述真空测试腔上设有进出气口，所述进出气口设有阀门。

作为上述原位物性测试系统的一种优选技术方案，所述插杆组件包括操作杆，所述操作杆的一端连接于所述阀门，另一端从所述快速进样室的一端穿出且与所述快速进样室密封连接，所述操作杆被配置为控制所述阀门动作以使所述真空测试腔与所述快速进样室连通或断开。

作为上述原位物性测试系统的一种优选技术方案，还包括送气单元，所述送气单元用于将氦气送入所述快速进样室内。

作为上述原位物性测试系统的一种优选技术方案，所述快速进样室包括能够轴向伸缩的波纹管；所述插杆组件包括：

第一法兰，所述波纹管的一端与所述第一法兰可拆卸地密封连接，另一端连接于所述插板阀；

多个连接杆，每个所述连接杆的一端与所述第一法兰密封连接，另一端连接有连接盘。

作为上述原位物性测试系统的一种优选技术方案，所述测试单元的一端连接有引出接头，所述引出接头伸出所述真空测试腔并与所述连接盘可拆卸电连接。

作为上述原位物性测试系统的一种优选技术方案，所述真空测试腔包括样品腔和与其可拆卸密封连接的安装顶盖。

本实用新型还提供了上述原位物性测试系统的样品安装方法，包括以下步骤：

S1、在所述真空设备内将样品装入所述真空测试腔内，密封所述真空测试腔并从所述真空设备内取出所述真空测试部件；

S2、将所述真空测试部件连接于所述插杆组件，并将所述插杆组件连接真空测试部件的一端伸入所述快速进样室内，所述快速进样室与所述插杆组件可拆卸地密封连接；

S3、将所述快速进样室抽真空至预设真空度；

S4、通过所述插板阀使所述稀释制冷机和所述快速进样室连通，控制所述插杆组件轴向移动将所述真空测试部件送入所述稀释制冷机内。

作为上述原位物性测试系统的样品安装方法的一种优选技术方案，所述真空测试腔上设有进出气口，所述进出气口设有阀门；

在步骤S1中，将样品装入所述真空测试腔内后，打开所述阀门将惰性气体送入所述真空测试腔内再关闭所述阀门；

在步骤S3中，将所述快速进样室抽真空至预设真空度后，打开所述阀门使所述真空测试腔内的惰性气体排入所述快速进样室，再次将所述快速进样室抽真空至所述预设真空度。

作为上述原位物性测试系统的样品安装方法的一种优选技术方案，在所述快速进样室内的真空度再次达到所述预设真空度之前，对所述真空测试腔进行抽真空、多次氦气冲洗，再将所述真空测试腔抽真空至所述预设真空度。

本实用新型的有益效果：本实用新型由真空设备连接真空样品制备设备，以承接真空样品制备设备制备的样品，通过真空设备提供真空环境或惰性气体环境，在真空设备内将样品装入真空测试腔室内并密封，再将真空测试部件连接于插杆组件，将插杆组件密封连接于快速进样室以对快速进样室进行封闭，对快速进样室进行抽真空之后，通过插板阀使快速进样室和稀释制冷机连通，控制插杆组件动作以将真空测试部件推入稀释制冷机内对样品进行物性表征，实现了样品进入稀释制冷机的过程中完全不接触空气，保证了采用上述原位物性测试系统进行物性表征时的准确性，解决了依靠稀释制冷机的表征测量在真空环境下进行样品转接的过程会经历暴露大气的样品装卸过程的问题。

本实用新型提供的原位物性测试系统，在将样品置于真空测试腔内之后，可以在真空设备内放置样品、对样品与测试单元之间接线等，操作方便快捷。

本实用新型提供的真空测试部件能够应用于所有依赖稀释制冷机的测试单元和真空样品制备设备的对接，通用性强。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的实施例提供的原位物性测试系统的主视图；

图2是本实用新型实施例提供的插杆组件和真空测试部件的连接示意图；

图3是本实用新型实施例提供的真空测试部件的结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的原位物性测试系统的样品安装方法的流程图。

图中：

1、稀释制冷机；

2、快速进样室；

3、插杆组件；31、第一法兰；311、入光孔；312、抽送气口；313、第一引出孔；32、支撑盘；321、穿设孔；322、第二引出孔；33、连接杆；34、操作杆；35、连接盘；

4、插板阀；

5、真空测试部件；51、安装顶盖；52、样品腔；53、引出接头；54、光学透镜；55、阀门；

6、直线驱动单元。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部。

图1是本实施例提供的原位物性测试系统的主视图，图2是本实施例提供的插杆组件和真空测试部件的连接示意图，图3是本实施例提供的真空测试部件的结构示意图。如图1至图3所示，本实施例提供的原位物性测试系统用于使样品在特定检测环境下进行物性表征，其包括稀释制冷机1，稀释制冷机1使样品在极低温和强磁场的环境下进行物性表征。上述原位物性测试系统还包括真空测试部件5和真空设备(图中未示出)，其中，真空设备能够提供真空环境或惰性气体环境。优选地，真空设备采用手套箱，以提供惰性气体环境。真空测试部件5包括样品腔52和安装顶盖51，样品腔52和安装顶盖51可拆卸地密封连接形成真空测试腔，样品腔52内设有样品架，将样品置于样品架(图中未示出)上，通过安装顶盖51将样品密封于样品腔52中。本实施例中，样品腔52和安装顶盖51可以采用螺纹连接或卡接或其他可拆卸的连接方式。

手套箱提供惰性气体环境以便于样品安装，真空样品制备设备如真空薄膜沉积设备制备的样品转接入手套箱内，将真空测试部件5置于手套箱内，而后拆开安装顶盖51和样品腔52，将样品置于样品架上，而后再将安装顶盖51和样品腔52连接在一起。

为了进一步地对样品进行保护，安装顶盖51上设有进出气口，进出气口设有阀门55，在手套箱内将安装顶盖51和样品腔52连接在一起后，打开阀门55，手套箱内的惰性气体将会通过进出气口自动进入真空测试腔内，以对真空测试腔内的样品提供惰性气体环境进行保护。惰性气体可以是氦气、氩气等，由于稀释制冷机1内为氦气环境，因此惰性气体优选采用氦气。

真空测试部件5还包括测试单元，测试单元通常包括扫描探针、光学透镜54和测量芯片，其中扫描探针和测量芯片均设于安装顶盖51的内壁并通过引出接头53引出安装顶盖51外，扫描探针和测量芯片的型号根据样品的检测需求确定，引出接头53和扫描探针以及测量芯片可以通过导线或微波线连接，至于具体采用导线还是微波线可以根据实际需求确定，在此不再赘叙。在将样品置于样品架上之后，可以在手套箱内对样品与测量芯片等测试单元之间接线，如压焊(Wire Bonding)等，具有操作方便的优点。在安装顶盖51上开设安装孔，将光学透镜54设于安装孔内并与安装孔密封连接，光学透镜54的类型可以根据光学物性测量的需求选择，如可以选择光学投射率更高的光学透镜54，实现超灵敏光学测量。至于扫描探针、测量芯片以及光学透镜54均是如何进行测试为本领域的现有技术，在此不再赘叙。

上述原位物性测试系统还包括快速进样室2、插杆组件3和插板阀4，其中快速进样室2包括能够轴向伸缩的波纹管。插杆组件3的一端伸入快速进样室2内且与快速进样室2可拆卸地密封连接。具体地，插杆组件3包括第一法兰31、连接盘35和多个连接杆33，波纹管的一端连接有第二法兰，第二法兰为圆环结构，第一法兰31和第二法兰之间夹设有密封圈，通过螺栓连接第一法兰31和第二法兰，实现波纹管和插杆组件3之间可拆卸地密封连接。每个连接杆33的一端与第一法兰31的内壁连接，另一端连接于连接盘35，通过连接杆33连接第一法兰31和连接盘35。

进一步地，为了提高整个插杆组件3的稳定性，第一法兰31和连接盘35之间设有多个轴向布设的支撑盘32，每个连接杆33均依次贯穿每个支撑盘32设置。多个支撑盘32均设于波纹管内，支撑盘32的直径小于波纹管的最小内径且小于第一法兰31的外径。在波纹管被压缩时，插杆组件3将沿稀释制冷机1轴向移动，而通过上述尺寸的限定，能够保证支撑盘32不会与波纹管内壁碰撞。支撑盘32的数量可以是4个、5个或更多，在此不做限定。

本实施例中，连接盘35与引出接头53可拆卸电连接，优选地，采用公母接头卡接的方式实现电连接，例如，连接盘35的一端设有公接头，对应的引出接头53为与公接头卡接的母接头，通过公接头和母接头对接实现连接盘35和真空测试部件5的可拆卸电连接。当然也可以在连接盘35上设置母接头，将引出接头53选用公接头。

由于引出接头53承担了信号传递的作用，为此连接盘35上的公接头连接有信号传输线(图中未示出)。至于信号传输线引出快速进样室2的方式有多种，主要为以下两种方式混合布设，第一种是在第一法兰31上设有第一引出孔313，每个支撑盘32上设置第二引出孔322，信号传输线依次穿过每个第二引出孔322再从第一引出孔313穿出。为了避免外界空气进入快速进样室2内，信号引出线与第一引出孔313的连接位置处密封连接。第二种是，连接杆33采用空心杆，信号引出线经连接杆33的一端引至另一端，从连接杆33的侧壁引出后再从第一引出孔313引出。优选地，本实施例中，多个第二引出孔322沿插杆组件3的轴线方向螺旋布设或错位布设，其中错位布设也就是相邻两个支撑盘32上的第二引出孔322非正对设置，多个支撑盘32以及其上第二引出孔322的分布能够起到隔热作用，优选地，上述支撑盘322由隔热材料制成。

进一步地，第一法兰31上设有入光孔311，每个支撑盘32上均设有正对入光孔311的穿设孔321；光纤的一端与入光孔311密封连接，另一端依次穿过入光孔311、多个穿设孔321并连接于光学透镜54，实现光学信号的传播。

进一步地，真空测试部件5还包括操作杆34，操作杆34的一端连接于阀门55，另一端从快速进样室2的一端穿出并与快速进样室2密封连接，操作杆34被配置为控制阀门55动作以使真空测试腔和快速进样室2连通或断开。本实施例中，上述阀门55优选采用通过旋转操作杆34实现阀门55打开或关闭的气阀，或者通过磁力耦合器配合原动机如电机等控制操作杆34转动，置于如何通过磁力耦合器配合原动机控制操作杆34转动为现有技术，在此不再赘叙。

本实用新型的其他实施例还可以采用其他方式控制操作杆34转动以使真空测试腔和快速进样室2连通或断开。如，在气阀上设置打开或关闭气阀的操作块，操作块上设有六边形孔，操作杆34的一端穿出第一法兰31且与第一法兰31转动密封连接，另一端伸入波纹管内且依次穿过每个支撑盘32，操作杆34的一端设有能够插入六边形孔的六棱柱，而后转动操作杆34即可使操作块跟随操作杆34转动，继而打开或关闭气阀。当然还可以将操作块采用六棱柱，相应地，上述操作杆34的一端设置能够插入六棱柱的六边形孔。

上述插板阀4的一端与稀释制冷机1连通，另一端连接于波纹管。优选地，插板阀4为插板阀，波纹管未设第二法兰的一端设有第三法兰，插板阀的一端与稀释制冷机1连通，另一端通过多个螺栓连接于第三法兰，以实现波纹管和插板阀之间的连接。为了避免出现漏气问题，插板阀与第三法兰的接触面之间设有密封圈。通过调节插板阀的状态能够使稀释制冷机1与快速进样室2连通或断开。

上述的插杆组件3能够轴向移动以使真空测试部件5进入或脱离稀释制冷机1。具体地，上述原位物性测试系统还包括直线驱动单元6，直线驱动单元6连接于第二法兰，在直线驱动单元6动作时，波纹管将会伸缩，以带动插杆组件3轴向移动。优选地，上述直线驱动单元6可以采用但并不仅限于电机丝杠结构。在插板阀处于打开的状态下时，直线驱动单元6动作将使波纹管压缩，继而带动插杆组件3向靠近稀释制冷机1的方向轴向移动，以将真空测试部件5推入稀释制冷机1内。

为了保证将样品送入稀释制冷机1的整个过程中使样品均不接触空气，本实施例提供的原位物性测试系统还包括抽真空单元，用于对快速进样室2进行抽真空。抽真空的过程主要是在将真空测试部件5连接于插杆组件3，将插杆组件3连接真空测试部件5的一端伸入快速进样室2内，并将插杆组件3与快速进样室2密封连接后，此时快速进样室2内存在空气，而为了将真空测试部件5推入稀释制冷机1内，需要打开插板阀，为了避免快速进样室2内的空气对稀释制冷机1内的环境造成影响，因此在打开插板阀之前需要通过抽真空单元对快速进样室2进行抽真空，以避免稀释制冷机1内的环境被空气影响，同时能够避免样品接触空气。优选地，上述抽真空单元为真空泵。

为了使快速进样室2和稀释制冷机1内的气氛一致，要求打开气阀使真空测试腔内的惰性气体通过进出气口排入快速进样室2内，第一法兰31上设有抽送气口312，抽真空单元通过抽送气口312对快速进样室2进行抽真空，再利用送气单元将氦气通过抽送气口312送入快速进样室2内，快速进样室2内的氦气通过进出气口进入真空测试腔室，以对快速进样室2和真空测试腔进行氦气冲洗，之后反复进行多次氦气冲洗，再对快速进样室2进行抽真空使真空测试腔室和快速进样室2内的真空度都达到1×10^-7mbar，此时打开插板阀，通过直线驱动单元6驱动插杆组件3轴向移动，以将真空测试部件5送入稀释制冷机1内进行测试。如：可以将真空测试部件5送入稀释制冷机1内的低温区对样品进行物性表征。本实施例中上述送气单元采用现有技术中对惰性气体进行输送的结构即可，在此不再详细赘叙。

本实施例在手套箱内将样品装入真空测试腔室内并密封，再将真空测试部件5连接于插杆组件3，将插杆组件3与快速进样室2密封连接以对快速进样室2进行封闭，对快速进样室2进行抽真空之后，通过插板阀4使快速进样室2和稀释制冷机1连通，直线驱动单元6动作使波纹管被压缩，继而带动插杆组件3向靠近稀释制冷机1的方向轴向移动，以将真空测试部件5推入稀释制冷机1内对样品进行物性表征，实现了样品进入稀释制冷机1的过程中完全不接触空气，保证了采用上述原位物性测试系统进行物性表征时的准确性，不仅可以满足和稀释制冷机相关的所有极端条件下物性表征的需求，而且避免了依靠稀释制冷机的表征测量样品装卸过程暴露大气，完整保留了稀释制冷机1原本的强磁场和极低温环境。

本实施例中插板阀4与第三法兰的接触面之间采用的密封圈以及第一法兰31和第二法兰之间的密封圈均是由无氧铜圈制成，本实施例提供的原位物性测试系统的其他密封如插杆组件3中第一引出孔313采用feedthrough金属和陶瓷的密封，真空测试部件5中引出接头53、光学透镜54及阀门55与安装顶盖51之间的密封，安装顶盖51与样品腔52之间的密封等可采用铟(In)材料制成的密封结构，具有较高的密封性能。

本实施例还提供了上述原位物性测试系统的样品安装方法，图4是本实施例提供的原位物性测试系统的样品安装方法的流程图，下面结合图4对上述原位物性测试系统的样品安装方法进行详细介绍。

S1、在手套箱内将样品装入真空测试腔内，密封真空测试腔并从手套箱内取出真空测试部件5。

样品的类型如真空薄膜沉积设备制备的低维量子材料，当然还可以是其他设备制备的样品，制备的样品通过转接的方式进入手套箱内，以避免样品接触空气。

S2、将放置有样品的真空测试部件5连接于插杆组件3的一端，之后将插杆组件3连接真空测试部件5的一端伸入快速进样室2内，并将插杆组件3的另一端与快速进样室2密封连接。

S3、将快速进样室2抽真空至预设真空度，打开阀门55，再次将快速进样室2抽真空至预设真空度。

S4、通过插板阀4使稀释制冷机1和快速进样室2连通，直线驱动单元6动作使波纹管被压缩，继而带动插杆组件3轴向移动以将真空测试部件5送入稀释制冷机1内。

在手套箱内将样品装入真空测试腔内后，真空测试腔内将充满惰性气体。在快速进样室2内的真空度达到预设真空度后，由于真空测试腔内存在惰性气体，为此需要打开气阀将惰性气体排入快速进样室2内，再通过抽真空单元将快速进样室2内的惰性气体抽出。为了保证真空测试腔内的气氛环境和稀释制冷机1的气氛环境一致，通过氦气对真空测试腔和快速进样室2进行多次氦气冲洗，并在多次氦气冲洗后对快速进样室2进行抽真空，使真空测试腔和快速进样室2内的真空度达到预设真空度。本实施例中，预设真空度优选为1×10^-7mbar。

本实施例提供的原位物性测试系统还可以对样品进行电学输运性质测量，相比于本实施例中的扫描探针测量和光学物性测量的区别在于测试单元的不同，至于如何对样品进行电学输运性质测量为现有技术，在此不再赘叙。

本实施例可以实现原位物性测试系统和真空样品制备设备在不暴露大气的环境下的对接，即将真空样品制备设备制备的产品通过转接的方式送入手套箱内，再采用本实施例提供的原位物性测试系统的样品安装方法将产品送入稀释制冷机内。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

Claims (7)

1.一种原位物性测试系统，包括稀释制冷机(1)，其特征在于，还包括：

真空测试部件(5)，其包括用于放置样品的真空测试腔，及对所述样品进行测试的测试单元；

快速进样室(2)、插杆组件(3)，所述插杆组件(3)的一端伸入所述快速进样室(2)内并与所述快速进样室(2)可拆卸地密封连接，所述插杆组件(3)能够轴向移动以使所述真空测试部件(5)进入或脱离所述稀释制冷机(1)；

真空设备，能够提供真空环境或惰性气体环境，用于连接真空样品制备设备，所述真空测试部件(5)选择性地置于所述真空设备内或从所述真空设备内取出以可拆卸地连接于所述插杆组件(3)伸入所述快速进样室(2)内的一端；

插板阀(4)，其一端与所述稀释制冷机(1)连通，另一端密封连接于所述快速进样室(2)，所述插板阀(4)能够选择性地控制所述稀释制冷机(1)与所述快速进样室(2)连通或断开；

抽真空单元，用于对所述快速进样室(2)进行抽真空。

2.根据权利要求1所述的原位物性测试系统，其特征在于，所述真空测试腔上设有进出气口，所述进出气口设有阀门(55)。

3.根据权利要求2所述的原位物性测试系统，其特征在于，所述插杆组件(3)包括操作杆(34)，所述操作杆(34)的一端连接于所述阀门(55)，另一端从所述快速进样室(2)的一端穿出且与所述快速进样室(2)密封连接，所述操作杆(34)被配置为控制所述阀门(55)动作以使所述真空测试腔与所述快速进样室(2)连通或断开。

4.根据权利要求3所述的原位物性测试系统，其特征在于，还包括送气单元，所述送气单元用于将氦气送入所述快速进样室(2)内。

5.根据权利要求3所述的原位物性测试系统，其特征在于，所述快速进样室(2)包括能够轴向伸缩的波纹管；所述插杆组件(3)还包括：

第一法兰(31)，所述波纹管的一端与所述第一法兰(31)可拆卸地密封连接，另一端连接于所述插板阀(4)；

多个连接杆(33)，每个所述连接杆(33)的一端与所述第一法兰(31)密封连接，另一端连接有连接盘(35)。

6.根据权利要求5所述的原位物性测试系统，其特征在于，所述测试单元的一端连接有引出接头(53)，所述引出接头(53)伸出所述真空测试腔并与所述连接盘(35)可拆卸电连接。

7.根据权利要求1所述的原位物性测试系统，其特征在于，所述真空测试腔包括样品腔(52)和与其可拆卸密封连接的安装顶盖(51)。

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