CN210546757U - 半导体单晶炉阀板吹气结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供半导体单晶炉阀板吹气结构，包括一体式阀体以及可在阀体内转动的阀板，阀板的一侧为阀板轴，阀板轴的右端伸出阀体，阀板轴的右端与导入氩气的氩气进气座可拆卸连接，阀体的外壁上还安装有驱动阀板轴旋转的旋转驱动机构，旋转驱动机构驱动连接氩气进气座；氩气进气座上开设有用于导入氩气的导入孔；阀板上安装有吹气通道，吹气通道与导入孔对接导通，吹气通道上开设有吹气口，以吹气口为吹气通道的出气端。本专利通过优化传统的阀板，在阀板上增设有吹气通道，便于向外吹出气体，实现氧化物的吹离，避免氧化物附着在阀板的外表面。由于将导入孔设置在氩气进气座上，实现阀板旋转的同时，仍能保证吹气通道的正常供气。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工设备领域，具体涉及单晶炉。
背景技术
隔离阀是单晶炉的主要部件之一，隔离阀是为籽晶或单晶提供进入副炉室的通道，同时可以维持上下炉室的局部压力和温度。
为了保证拉晶的成品率，隔离阀的阀板的表面的质量也是影响因素之一。目前单晶炉往往通过炉盖上安装有吹气结构或者水冷法兰上安装有吹气结构，对阀板进行吹气，避免氧化物附着在阀板表面，然而这种方式，仍会导致氧化物积累在阀板的表面的现象。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供半导体单晶炉阀板吹气结构，以解决的吹气结构对阀板上防氧化物附着的吹气效果不佳的技术问题。
本实用新型的技术方案是：半导体单晶炉阀板吹气结构，包括阀体以及可在阀体内转动的阀板，所述阀板的一侧为阀板轴，所述阀板轴的右端伸出所述阀体，其特征在于，所述阀板轴的右端与一用于导入氩气的氩气进气座可拆卸连接，所述阀体的外壁上还安装有一驱动阀板轴旋转的旋转驱动机构，所述旋转驱动机构驱动连接所述氩气进气座；
所述氩气进气座上开设有用于导入氩气的导入孔；
所述阀板上安装有吹气通道，所述吹气通道与所述导入孔对接导通，所述吹气通道上开设有吹气口，以所述吹气口为所述吹气通道的出气端。
本专利通过优化传统的阀板，在阀板上增设有吹气通道，便于向外吹出气体，实现氧化物的吹离，避免氧化物附着在阀板的外表面。由于将导入孔设置在氩气进气座上，实现阀板旋转的同时，仍能保证吹气通道的正常供气。
进一步优选地，所述阀板轴的左端可拆卸连接有旋转轴，所述旋转轴的左端伸出所述阀体，所述旋转轴的外围套设有左侧压盖，所述左侧压盖与所述阀体可拆卸连接，所述左侧压盖与所述阀体之间安装有密封圈，所述左侧压盖与所述旋转轴之间安装有密封圈；
所述氩气进气座的外围套设有右侧压盖，所述右侧压盖与所述阀体可拆卸连接，所述右侧压盖与所述阀体之间安装有密封圈，所述右侧压盖与所述氩气进气座之间安装有密封圈。
便于实现阀板安装处的密封性。
进一步优选地，所述旋转轴的左端通过螺钉可拆卸连接有一旋转座；
所述旋转座与驱动阀板转动的左侧驱动机构传动连接；
所述左侧驱动机构与所述旋转驱动机构镜像对称设置在所述阀体的左右两侧。
便于实现阀板的左右两端带动阀板的转动。
进一步优选的，所述旋转座设有径向向外延伸的旋转座延伸部；
所述左侧驱动机构包括左侧气缸，所述左侧气缸的缸体铰接在所述阀体上，所述左侧气缸的活塞杆与旋转座延伸部铰接；
所述氩气进气座设有径向向外延伸的氩气进气座延伸部；
所述旋转驱动机构包括右侧气缸，所述右侧气缸的缸体铰接在所述阀体上，所述右侧气缸的活塞杆与氩气进气座延伸部铰接。
便于通过左侧气缸以及右侧气缸的伸缩，进而带动阀板的旋转。
7、进一步优选的，所述吹气通道设置在所述阀板靠近单晶炉下炉室的一侧。便于向下吹气，避免下炉室内的氧化层附着在阀板的外表面。
进一步优选地，所述阀体上开设有用于嵌入吹气通道的嵌入槽，所述吹气通道嵌设在嵌入槽内。便于保证吹气通道的固定效果。
进一步优选地，所述阀板上安装有用于输送冷却水的水冷管道，所述氩气进气座上开设有与所述水冷管道对接导通的进水孔，所述旋转座上开设有与所述水冷管道对接导通的出水孔；
所述水冷管道与所述吹气通道沿着轴向依次设置。
便于实现水冷管道与吹气通道的互补干扰。
进一步优选地，所述吹气通道包括主通道以及两个平行设置的分支通道，所述主通道与所述导入孔对接导通，所述分支通道与所述主通道对接导通；
所述吹气通道还包括至少三个沿着径向从内至外依次排布的弧形通道，至少三个弧形通道依次交替与两个分支通道对接导通。
便于实现出气的均匀效果。
所述弧形通道上均匀分布有至少5个吹气口。保证每个吹气口吹出氩气大小一致。
附图说明
图1为本实用新型局部剖视图；
图2为本实用新型图1的氩气进气座处的局部放大图；
图3为本实用新型另一视角下的剖视图；
图4为本实用新型的结构示意图。
图中：1为氩气进气座，2为压盖O形密封圈，4为阀板轴O形密封圈，5为旋转驱动机构，6为阀板，7为吹气通道，8为旋转轴，9为旋转座，31为左侧压盖，32为右侧压盖，61为阀板轴，71为导入孔，81为进水孔，82为出水孔。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
参见图1至图4，半导体单晶炉阀板吹气结构，包括一体式的阀体以及可转动设置在阀体内的阀板6，阀板6的一侧为阀板轴61，阀板轴61的右端伸出阀体，阀板轴的右端与一用于导入氩气的氩气进气座1可拆卸连接，阀体的外壁上还安装有一驱动阀板轴旋转的旋转驱动机构5，旋转驱动机构5驱动连接氩气进气座1；氩气进气座1上开设有用于导入氩气的导入孔71；阀板上安装有吹气通道，吹气通道7与导入孔71对接导通，吹气通道7上开设有吹气口，以吹气口为吹气通道的出气端。本专利通过优化传统的阀板，在阀板上增设有吹气通道，便于向外吹出气体，实现氧化物的吹离，避免氧化物附着在阀板的外表面。由于将导入孔设置在氩气进气座1上，实现阀板旋转的同时，仍能保证吹气通道的正常供气。
阀板轴的左端可拆卸连接有旋转轴8，旋转轴8的左端伸出阀体，旋转轴8的外围套设有左侧压盖31，左侧压盖31与阀体可拆卸连接，左侧压盖31与阀体之间安装有密封圈，左侧压盖31与旋转轴8之间安装有密封圈；氩气进气座1的外围套设有右侧压盖32，右侧压盖32与阀体可拆卸连接，右侧压盖32与阀体之间安装有压盖O形密封圈2，右侧压盖32与氩气进气座1之间安装有阀板轴O形密封圈4。便于实现阀板安装处的密封性。
旋转轴8的左端通过螺钉可拆卸连接有一旋转座9；旋转座9与驱动阀板转动的左侧驱动机构传动连接；左侧驱动机构与旋转驱动机构5镜像对称设置在阀体的左右两侧。便于实现阀板的左右两端带动阀板的转动。
旋转座9设有径向向外延伸的旋转座9延伸部；左侧驱动机构包括左侧气缸，左侧气缸的缸体铰接在阀体上，左侧气缸的活塞杆与旋转座9延伸部铰接；氩气进气座1设有径向向外延伸的氩气进气座1延伸部；旋转驱动机构5包括右侧气缸，右侧气缸的缸体铰接在阀体上，右侧气缸的活塞杆与氩气进气座1延伸部铰接。便于通过左侧气缸以及右侧气缸的伸缩，进而带动阀板的旋转。
吹气通道7设置在阀板靠近单晶炉下炉室的一侧。便于向下吹气，避免下炉室内的氧化层附着在阀板的外表面。吹气口的吹气方向轴向朝外。
阀板上还开设有用于输送冷却水的水冷管道，氩气进气座1上开设有与水冷管道对接导通的进水孔81，旋转座9上开设有与水冷管道对接导通的出水孔82；水冷管道与吹气通道沿着轴向依次设置。便于实现水冷管道与吹气通道的互补干扰。
吹气通道7包括主通道以及两个平行设置的分支通道，主通道与导入孔对接导通，分支通道与主通道对接导通；吹气通道还包括至少三个沿着径向从内至外依次排布的弧形通道，至少三个弧形通道依次交替与两个分支通道对接导通。便于实现出气的均匀效果。弧形通道上均匀开设有至少5个吹气口。保证每个吹气口吹出氩气大小一致。每个弧形通道均对接有至少5个均匀分布的吹气口。同一个弧形通道上相邻吹气口的间隔角度为25°-35°。所有的吹气口构成至少三组径向排布的吹气组。位于内侧的吹气组的个数小于位于外侧的吹气组的个数。相邻的吹气组的间距为70mm-80mm。最内侧的吹气组的吹气口距离中心的距离为70mm-80mm。
两个分支通道分别为第一分支通道以及第二分支通道，第一分支通道的长度大于第二分支通道的长度，第一分支通道位于远离导入孔处，第二分支通道位于靠近导入孔处。第一分支通道上开设有位于阀板中央的中央吹气口，中央出气口位于吹气口组的中央。吹气口组呈环状排布在中央出气口的外围。第一分支通道上也可以均匀分布有至少三个吹气口。第二分支通道上也可以均匀分布有吹气口。
每个吹气口上安装有一气嘴。通过气嘴上孔大小来高调整气量的大小。便于出气量的调整。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (9)
1.半导体单晶炉阀板吹气结构，包括阀体以及可在阀体内转动的阀板，所述阀板的一侧为阀板轴，所述阀板轴的右端伸出所述阀体，其特征在于，所述阀板轴的右端与一用于导入氩气的氩气进气座可拆卸连接，所述阀体的外壁上还安装有一驱动阀板轴旋转的旋转驱动机构，所述旋转驱动机构驱动连接所述氩气进气座；
所述氩气进气座上开设有用于导入氩气的导入孔；
所述阀板上安装有吹气通道，所述吹气通道与所述导入孔对接导通，所述吹气通道上开设有吹气口，以所述吹气口为所述吹气通道的出气端。
2.根据权利要求1所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述阀板轴的左端可拆卸连接有旋转轴，所述旋转轴的左端伸出所述阀体，所述旋转轴的外围套设有左侧压盖，所述左侧压盖与所述阀体可拆卸连接，所述左侧压盖与所述阀体之间安装有密封圈，所述左侧压盖与所述旋转轴之间安装有密封圈；
所述氩气进气座的外围套设有右侧压盖，所述右侧压盖与所述阀体可拆卸连接，所述右侧压盖与所述阀体之间安装有密封圈，所述右侧压盖与所述氩气进气座之间安装有密封圈。
3.根据权利要求2所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述旋转轴的左端通过螺钉可拆卸连接有一旋转座；
所述旋转座与驱动阀板转动的左侧驱动机构传动连接；
所述左侧驱动机构与所述旋转驱动机构镜像对称设置在所述阀体的左右两侧。
4.根据权利要求3所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述旋转座设有径向向外延伸的旋转座延伸部；
所述左侧驱动机构包括左侧气缸，所述左侧气缸的缸体铰接在所述阀体上，所述左侧气缸的活塞杆与旋转座延伸部铰接；
所述氩气进气座设有径向向外延伸的氩气进气座延伸部；
所述旋转驱动机构包括右侧气缸，所述右侧气缸的缸体铰接在所述阀体上，所述右侧气缸的活塞杆与氩气进气座延伸部铰接。
5.根据权利要求1所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述吹气通道设置在所述阀板靠近单晶炉下炉室的一侧。
6.根据权利要求1所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述阀体上开设有用于嵌入吹气通道的嵌入槽，所述吹气通道嵌设在嵌入槽内。
7.根据权利要求3所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述阀板上安装有用于输送冷却水的水冷管道，所述氩气进气座上开设有与所述水冷管道对接导通的进水孔，所述旋转座上开设有与所述水冷管道对接导通的出水孔；
所述水冷管道与所述吹气通道沿着轴向依次设置。
8.根据权利要求1所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述吹气通道包括主通道以及两个平行设置的分支通道，所述主通道与所述导入孔对接导通，所述分支通道与所述主通道对接导通；
所述吹气通道还包括至少三个沿着径向从内至外依次排布的弧形通道，至少三个弧形通道依次交替与两个分支通道对接导通。
9.根据权利要求8所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述弧形通道上均匀开设有至少5个吹气口。
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|---|---|---|---|---|
| CN115254812A (zh) * | 2022-06-30 | 2022-11-01 | 晶科能源股份有限公司 | 一种用于清除排气管道内氧化物的清理装置及单晶炉 |
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| CN115254812A (zh) * | 2022-06-30 | 2022-11-01 | 晶科能源股份有限公司 | 一种用于清除排气管道内氧化物的清理装置及单晶炉 |
| CN115254812B (zh) * | 2022-06-30 | 2023-06-20 | 晶科能源股份有限公司 | 一种用于清除排气管道内氧化物的清理装置及单晶炉 |
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