CN215260885U - 一种实现往复摆动吹气的烘干槽 - Google Patents

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陈曦
李德保
张素明
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Wuxi Kunsheng Intelligent Equipment Co Ltd
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Abstract

本实用新型提供了一种实现往复摆动吹气的烘干槽,槽体内部的两侧设置有吹风管,吹风管上设置有出风孔,吹风管的一端与槽体的内侧面旋转连接作为内端部,吹风管的另一端贯穿槽体且伸出至槽体的外侧作为外端部,吹风管贯穿槽体的位置设置有轴承座,吹风管位于槽体外侧的部分套设有从动链轮,外端部连接有管路接头;槽体的外侧端面上设置有驱动装置,驱动装置连接有主动链轮,主动链轮通过链条与从动链轮传动连接。本实用新型提供的实现往复摆动吹气的烘干槽,吹气管能够进行往复旋转,从而实现对工件的无死角吹干,缩短了烘干时间,提高了烘干效率,同时降低了对热风温度的要求,槽体材质可以由PVDF替换为PP,大大降低了设备投入成本。

Description

一种实现往复摆动吹气的烘干槽
技术领域
本实用新型涉及一种烘干槽,尤其涉及一种实现往复摆动吹气的烘干槽。
背景技术
现有的槽式烘干技术主要采用热风对工件(硅片或半导体晶圆以及承载硅片或晶圆的花篮)进行固定角度的吹干,由于这种热吹风角度始终固定,要将漂洗过后的硅片或半导体晶圆以及承载硅片或晶圆的花篮底部及下方齿根处的水滴完全吹干,需要很长的时间和很高的热风温度。这种方式存在的缺陷是,一方面浪费能源,另一方面由于槽内温度过高,为防止塑料的烘干槽体爆燃,槽体采用PVDF材质制成,给客户增加了设备投入成本。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有的缺陷,提供一种实现往复摆动吹气的烘干槽,解决目前槽式烘干技术存在浪费能源、设备成本高的问题。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:
一种实现往复摆动吹气的烘干槽,包括槽体,所述槽体内部的两侧分别设置有若干吹风管,每个所述吹风管上设置有若干出风孔,每个所述吹风管的一端与所述槽体的内侧面旋转连接作为内端部,每个所述吹风管的另一端贯穿所述槽体且伸出至所述槽体的外侧作为外端部,所述吹风管贯穿所述槽体的位置设置有轴承座,所述轴承座上的轴承套设在所述吹风管上,所述吹风管位于所述槽体外侧的部分套设有从动链轮,所述吹风管的外端部连接有管路接头;所述槽体的外侧端面上设置有驱动装置,所述驱动装置连接有主动链轮,所述主动链轮通过链条与每个所述从动链轮传动连接。
进一步地,所述吹风管的内端部通过调节块与所述槽体内侧面连接。
进一步地,所述管路接头为宝塔接头。
进一步地,所述驱动装置为驱动电机,所述驱动电机的电机轴与所述主动链轮连接。
进一步地,所述槽体的外侧端面上设置有辅助链轮。
进一步地,所述槽体的外侧端面上连接有固定板,所述辅助链轮旋转连接在所述固定板上。
进一步地,所述槽体内设置有用于改变气流方向的匀流板。
本实用新型一种实现往复摆动吹气的烘干槽,吹气管能够进行往复旋转,从而实现对工件的无死角吹干,缩短了烘干时间,提高了烘干效率,同时降低了对热风温度的要求,槽体材质可以由PVDF替换为PP,大大降低了设备投入成本。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1是本实用新型的整体示意图;
图2是本实用新型的局部放大示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
如图1、2所示,一种实现往复摆动吹气的烘干槽,包括槽体1,槽体1内部的两侧分别设置有若干吹风管2,每个吹风管2上设置有若干出风孔,每个吹风管2的一端与槽体1的内侧面旋转连接作为内端部,每个吹风管2的另一端贯穿槽体1且伸出至槽体1的外侧作为外端部,吹风管2贯穿槽体1的位置设置有轴承座3,轴承座3上的轴承套设在吹风管2上,吹风管2位于槽体外侧的部分套设有从动链轮4,吹风管2的外端部连接有管路接头5;槽体1的外侧端面上设置有驱动装置6,驱动装置6连接有主动链轮7,主动链轮7通过链条与每个从动链轮4传动连接。
工作原理:
驱动装置运行,控制主动链轮往复式旋转,从而带动从动链轮进行往复式旋转,使吹风管在槽体内部往复旋转,实现对工件的无死角吹干。
吹风管2的内端部通过调节块8与槽体1内侧面连接,调节块的位置可调,保证吹风管两端的同心度。
管路接头5为宝塔接头,能够实现快速连接,装卸方便,性能可靠。
驱动装置6为驱动电机,驱动电机的电机轴与主动链轮7连接,可以根据实际需要将驱动电机替换为减速机(电机减速装置)或旋转气缸,将链轮和链条替换为皮带轮和皮带。
槽体1的外侧端面上连接有固定板9,辅助链轮10旋转连接在固定板9上,辅助链轮可以根据实际需要安装在从动链轮旁,起到张紧和换向的作用。
槽体1内设置有用于改变气流方向的匀流板11,引导气流直接吹向工件的底部,增强烘干效果。
本实用新型一种实现往复摆动吹气的烘干槽,吹气管能够进行往复旋转,从而实现对工件的无死角吹干,缩短了烘干时间,提高了烘干效率,同时降低了对热风温度的要求,槽体材质可以由PVDF替换为PP,大大降低了设备投入成本。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种实现往复摆动吹气的烘干槽,其特征在于:包括槽体,所述槽体内部的两侧分别设置有若干吹风管,每个所述吹风管上设置有若干出风孔,每个所述吹风管的一端与所述槽体的内侧面旋转连接作为内端部,每个所述吹风管的另一端贯穿所述槽体且伸出至所述槽体的外侧作为外端部,所述吹风管贯穿所述槽体的位置设置有轴承座,所述轴承座上的轴承套设在所述吹风管上,所述吹风管位于所述槽体外侧的部分套设有从动链轮,所述吹风管的外端部连接有管路接头;
所述槽体的外侧端面上设置有驱动装置,所述驱动装置连接有主动链轮,所述主动链轮通过链条与每个所述从动链轮传动连接。
2.根据权利要求1所述的一种实现往复摆动吹气的烘干槽,其特征在于:所述吹风管的内端部通过调节块与所述槽体内侧面连接。
3.根据权利要求1所述的一种实现往复摆动吹气的烘干槽,其特征在于:所述管路接头为宝塔接头。
4.根据权利要求1所述的一种实现往复摆动吹气的烘干槽,其特征在于:所述驱动装置为驱动电机,所述驱动电机的电机轴与所述主动链轮连接。
5.根据权利要求1所述的一种实现往复摆动吹气的烘干槽,其特征在于:所述槽体的外侧端面上设置有辅助链轮。
6.根据权利要求5所述的一种实现往复摆动吹气的烘干槽,其特征在于:所述槽体的外侧端面上连接有固定板,所述辅助链轮旋转连接在所述固定板上。
7.根据权利要求1所述的一种实现往复摆动吹气的烘干槽,其特征在于:所述槽体内设置有用于改变气流方向的匀流板。
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CN114508909A (zh) * 2022-01-30 2022-05-17 江苏亚电科技有限公司 一种移动式槽式烘干结构

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