CN210544124U - 一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统，包括壳体，所述壳体的一侧外壁通过螺栓固定安装有第一管体，第一管体的内壁固定安装有支撑杆，支撑杆的中间部位焊接有安装块，安装块通过轴承转动安装有第一转动杆，第一转动杆的一端固定安装有扇叶，所述壳体的一侧外壁顶端一体成型有第二管体，第二管体的内壁固定安装有固定块，固定块活动穿设有导杆，导杆的两端位于固定块的两侧，导杆的一端焊接有挡块，导杆的另一端为倒T字形结构，导杆的杆体套设有弹簧，固定块开设有多个通孔，且挡块挡住通孔的口。本实用新型设计结构合理，操作简单，使用方便，能够将产生的多余粉尘过滤，回收，实用性更好。

Description

一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统

技术领域

本实用新型涉及靶材真空喷涂设备的粉尘处理技术领域，尤其涉及一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气)，永久磁铁在靶材料表面形成250～350高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下，Ar气电离成正离子和电子，靶上加有一定的负高压，从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大，在阴极附近形成高密度的等离子体，Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。磁控溅射一般分为二种：直流溅射和射频溅射，其中直流溅射设备原理简单，在溅射金属时，其速率也快。而射频溅射的使用范围更为广泛，除可溅射导电材料外，也可溅射非导电的材料，同时还可进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射，如今，常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。

靶材分为金属靶材、陶瓷靶材和合金靶材，对于陶瓷靶材在进行镀膜时，会使得产生多余的粉尘，不仅会影响质量而且不利于观察，因此在镀膜时需要将多余的材料吸走。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决靶材镀膜时产生的多余粉尘的缺点，而提出的一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统，包括壳体，所述壳体的一侧外壁通过螺栓固定安装有第一管体，第一管体的内壁固定安装有支撑杆，支撑杆的中间部位焊接有安装块，安装块通过轴承转动安装有第一转动杆，第一转动杆的一端固定安装有扇叶，所述壳体的一侧外壁顶端一体成型有第二管体，第二管体的内壁固定安装有固定块，固定块活动穿设有导杆，导杆的两端位于固定块的两侧，导杆的一端焊接有挡块，导杆的另一端为倒T字形结构，导杆的杆体套设有弹簧，固定块开设有多个通孔，且挡块挡住通孔的口，弹簧位于导杆一端的竖直部位和固定块之间，弹簧靠近壳体，挡块远离壳体。

优选的，所述安装块的一侧固定安装有保护壳，第一转动杆的另一端延伸至保护壳内，且第一转动杆的另一端固定安装有第一锥齿轮，第一管体的顶端管体通过轴承转动安装有第二转动杆，第二转动杆的一端延伸至保护壳内，第二转动杆的一端固定安装有第二锥齿轮，且第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合，第一管体的顶端外壁固定安装有电机，电机的输出轴与第二转动杆的另一端固定安装。

优选的，所述壳体的一侧内壁固定安装有进气管，进气管的一端与第一管体连通,壳体的内部塞有海绵，进气管的另一端穿过海绵延伸至海绵的下方。

优选的，所述壳体的内壁固定安装有垫板，垫板开设有多个通气孔，且垫板的顶部塞有干燥剂，垫板位于海绵的上方，壳体的顶端还通过螺纹安装有密封盖，壳体的底端设有排污阀。

本实用新型的有益效果是：通过设计的结构能够方便通过湿式除尘的方式将灰尘过滤，而且第一管体设计的结构，能够避免灰尘直接与电机接触损坏电机，而且第二管体内部设计的结构，能够避免在电机停止瞬间灰尘从第二管体进入到壳体内，起到单向流动的效果，本设计结构合理，操作简单，使用方便，能够将产生的多余粉尘过滤，回收，实用性更好。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统的安装结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统的主视剖视结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统的A处放大结构示意图。

图中：1壳体、2第二管体、3第一管体、4海绵、5垫板、6干燥剂、7密封盖、8扇叶、9安装块、10支撑杆、11进气管、12固定块、13挡块、14导杆、15弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统，包括壳体1，壳体1的一侧外壁通过螺栓固定安装有第一管体3，第一管体3的内壁固定安装有支撑杆10，支撑杆10的中间部位焊接有安装块9，安装块9通过轴承转动安装有第一转动杆，第一转动杆的一端固定安装有扇叶8，壳体1的一侧外壁顶端一体成型有第二管体2，第二管体2的内壁固定安装有固定块12，固定块12活动穿设有导杆14，导杆14的两端位于固定块12的两侧，导杆14的一端焊接有挡块13，导杆14的另一端为倒T字形结构，导杆14的杆体套设有弹簧15，固定块12开设有多个通孔，且挡块13挡住通孔的口，弹簧15位于导杆14一端的竖直部位和固定块12之间，弹簧15靠近壳体1，挡块13远离壳体1。

本实施例中，使用时，第二管体2和第一管体3与外设的喷涂设备外壳固定安装，且喷涂设备与壳体1构成一个连通的整体，使用时，喷涂设备和壳体1内部处在惰性气体环境中，启动电机，电机带动第二转动杆，使得第二锥齿轮和第一锥齿轮转动，从而在第一转动杆的作用下带动扇叶8转动，将灰尘吸入到海绵4的下方，且壳体1的底部装有水，进气管11的另一端延伸至水内，灰尘经过水被吸附，再经过海绵4过滤，在干燥剂6的作用下对水分吸收，气体进入到第二管体2，气体再通过固定块12的通孔克服弹簧15顶开挡块13，从而再回流到喷涂设备内，当电机断开，没有流动的气压，使得挡块13挡住通孔，避免灰尘倒流到壳体1内，最终打开排污阀，沉积的粉尘从排污阀排出。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)的一侧外壁通过螺栓固定安装有第一管体(3)，第一管体(3)的内壁固定安装有支撑杆(10)，支撑杆(10)的中间部位焊接有安装块(9)，安装块(9)通过轴承转动安装有第一转动杆，第一转动杆的一端固定安装有扇叶(8)，所述壳体(1)的一侧外壁顶端一体成型有第二管体(2)，第二管体(2)的内壁固定安装有固定块(12)，固定块(12)活动穿设有导杆(14)，导杆(14)的两端位于固定块(12)的两侧，导杆(14)的一端焊接有挡块(13)，导杆(14)的另一端为倒T字形结构，导杆(14)的杆体套设有弹簧(15)，固定块(12)开设有多个通孔，且挡块(13)挡住通孔的口，弹簧(15)位于导杆(14)一端的竖直部位和固定块(12)之间，弹簧(15)靠近壳体(1)，挡块(13)远离壳体(1)。

2.根据权利要求1所述的一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统，其特征在于，所述安装块(9)的一侧固定安装有保护壳，第一转动杆的另一端延伸至保护壳内，且第一转动杆的另一端固定安装有第一锥齿轮，第一管体(3)的顶端管体通过轴承转动安装有第二转动杆，第二转动杆的一端延伸至保护壳内，第二转动杆的一端固定安装有第二锥齿轮，且第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合，第一管体(3)的顶端外壁固定安装有电机，电机的输出轴与第二转动杆的另一端固定安装。

3.根据权利要求1所述的一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统，其特征在于，所述壳体(1)的一侧内壁固定安装有进气管(11)，进气管(11)的一端与第一管体(3)连通,壳体(1)的内部塞有海绵(4)，进气管(11)的另一端穿过海绵(4)延伸至海绵(4)的下方。

4.根据权利要求3所述的一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统，其特征在于，所述壳体(1)的内壁固定安装有垫板(5)，垫板(5)开设有多个通气孔，且垫板(5)的顶部塞有干燥剂(6)，垫板(5)位于海绵(4)的上方，壳体(1)的顶端还通过螺纹安装有密封盖(7)，壳体(1)的底端设有排污阀。

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