CN210535629U - 一种划片机划片去离子水流量自动报警装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种划片机划片去离子水流量自动报警装置，包括划片机和设置在划片机上的清洗观测框，所述清洗观测框内部设置有清洗水管，所述清洗水管设置有多条，所述清洗水管的中间连接有流量传感器，所述清洗水管靠近流量传感器的两侧分别设置有阀门，所述清洗观测框的顶部安装有与清洗水管数量相等的报警器，还包括PLC控制器，所述PLC控制器与流量传感器信号连接，所述PLC控制器分别与报警器和阀门电性连接。本实用新型通过在清洗水管上设置流量传感器，实时监控去离子水的流量，使其保持在正常流速，对晶圆片表面会残留切削微粒进行良好的清洗，提高晶圆片后续集成电路的封装质量。

Description

一种划片机划片去离子水流量自动报警装置

技术领域

本实用新型涉及划片机技术领域，尤其涉及一种划片机划片去离子水流量自动报警装置。

背景技术

划片机的自动清洗系统是把切割完成的晶圆片用高压去离子水将表面的切削残留微粒冲洗干净,在完成切割后通过直线手臂,从工作台上吸取切完的晶圆片放入清洗台上边旋转边清洗。采用水气双流体喷头,利用压缩空气使液体雾化,并形成很强的喷射力,可以轻易清洗掉晶圆片切割缝内的残留,清洗后利用高速旋转的离心力甩干和清洁压缩空气辅助吹干。

现有的划片机的自动清洗系统中在使用去离子水清洗晶圆片时，若达不到一定的流量速度将形不成一定的压强，流速过低，喷射力较低，将不能很好的对晶圆片进行清洗，导致晶圆片表面会残留切削微粒，影响晶圆片后续集成电路的封装质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种划片机划片去离子水流量自动报警装置，通过在清洗水管上设置流量传感器，实时监控去离子水的流量，使其保持在正常流速，对晶圆片表面会残留切削微粒进行良好的清洗，提高晶圆片后续集成电路的封装质量。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种划片机划片去离子水流量自动报警装置，包括划片机和设置在划片机上的清洗观测框，所述清洗观测框中间开设有清洗观测窗口，所述清洗观测框内部设置有清洗水管，所述清洗水管设置有多条，所述清洗水管的中间连接有流量传感器，所述流量传感器通过支架固定在划片机的一侧外壁，所述清洗水管靠近流量传感器的两侧分别设置有阀门，所述清洗观测框的顶部安装有与清洗水管数量相等的报警器；还包括PLC控制器，所述PLC控制器与流量传感器信号连接，所述PLC控制器分别与报警器和阀门电性连接。

上述方案中，所述阀门包括第一控制阀和第二控制阀，所述第一控制阀位于清洗水管的进水口处，所述第二控制阀位于清洗水管的出水口处。

上述方案中，所述清洗水管的靠近第一控制阀的进水口处设置有第一过滤网，所述清洗水管的靠近第二控制阀的出水口处设置有第二过滤网。

上述方案中，所述阀门的型号为ZCD-1的微型电磁阀。

上述方案中，所述流量传感器的型号为VA30G-25的玻璃转子流量计。

上述方案中，所述流量传感器的流量设置为0.8L/min。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：当流量传感器中的流量处于0.8L/min时，清洗水管的去离子水正常工作；当流量传感器中的流量处于0.7～0.9L/min左右时，将信号传送至PLC控制器，PLC控制器输出控制命令至报警器和阀门，报警器发出蜂鸣声，并伴随灯光提醒；当流量传感器中的流量不在0.7～0.9L/min的范围值时，PLC控制器输出控制命令至阀门，将发生故障的清洗水管关闭，避免清洗水管中的去离子水流量好偏高或偏低对晶圆片的清洗造成不利影响，并且启动备用的另外一条清洗水管的阀门为晶圆片进行清洗。因此通过在清洗水管上设置流量传感器，实时监控去离子水的流量，使其保持在正常流速，对晶圆片表面会残留切削微粒进行良好的清洗，提高晶圆片后续集成电路的封装质量。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为图1中A-A截面结构示意图；

图3为本实用新型系统结构框架图。

图中标号：1-划片机；2-清洗观测框；21-清洗观测窗口；22-水流传感器；23-报警器；24-阀门；241-第一控制阀；242-第二控制阀；25-第一过滤网；26-第二过滤网；27-支架；28-PLC控制器；29-清洗水管。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的技术方案做进一步的详细说明。

如图1和图2所示，一种划片机划片去离子水流量自动报警装置，包括划片机1和设置在划片机1上的清洗观测框2，清洗观测框2中间开设有清洗观测窗口21，清洗观测框2内部设置有清洗水管29，通过洗观测窗口21可以查看清洗水管29是否处于正常工作，清洗水管29设置有多条，每条清洗水管29对应着晶圆片的两侧，从不同的方向对其进行清洗，避免切割的微粒沾连在晶圆片上。在本实施例中设置有三条，两条清洗水管29放置在晶圆片的两侧，形成左右两股清洗体系，提高对晶圆片的清洗效率，剩余的一条清洗水管29用于备用，只有当其中一侧的清洗水管29发生故障时才会启用。

在清洗水管29的中间连接有流量传感器22，水流传感器22是指通过对水流量的感应而输出脉冲信号或电流、电压等信号的水流量感应仪器，这种信号的输出和水流量成一定的线性比例，有相应的换算公式和比较曲线，因此可做水控方面的管理和流量计算。流量传感器22的型号为VA30G-25的玻璃转子流量计，并且流量传感器22的流量设置为0.8L/min，只有将去离子水的流量控制在0.8L/min，才能保证清洗水管29内的去离子水形成一定的压强，提高流速，提高喷射力度，对晶圆片进行充分的清洗，洗去切割好的晶圆片表面上残留的微粒。流量传感器22通过支架27固定在划片机1的一侧外壁，支架27的一端焊接固定在划片机1的一侧，支架27的另一侧的上下两边设置有弧形状的卡接口，将流量传感器22卡接在支架27上。

清洗水管29靠近流量传感器22的两侧分别设置有阀门24，阀门24的型号为ZCD-1的微型电磁阀，阀门24包括第一控制阀241和第二控制阀242，第一控制阀241位于清洗水管29的进水口处，第二控制阀242位于清洗水管29的出水口处。通过第一控制阀241控制每条清洗水管29的进水，当其中一条清洗水管29出现故障时能够及时通过第一控制阀241对其进行关闭。

在清洗水管29的靠近第一控制阀241的进水口处设置有第一过滤网25，清洗水管29的靠近第二控制阀242的出水口处设置有第二过滤网26，通过第一过滤网25和第二过滤网26用于过滤去离子水中不小心混入的杂质，防止清洗晶圆片过程中对晶圆片造成二次污染。

在清洗观测框2的顶部安装有与清洗水管29数量相等的报警器23，报警器23为蜂鸣报警器，并发出闪烁灯光，提醒工人及时处理发生故障的清洗水管29。

在上述方案中，还包括PLC控制器28，PLC控制器28具有可编程功能，便于将流量传感器22中的流量限定在0.8L/min。PLC控制器28与流量传感器22信号连接，PLC控制器28分别与报警器23和阀门24电性连接。

当流量传感器22中的流量处于0.8L/min时，清洗水管29的去离子水正常工作；当流量传感器22中的流量处于0.7～0.9L/min左右时，将信号传送至PLC控制器28，PLC控制器28输出控制命令至报警器23和阀门24，报警器23发出蜂鸣声，并伴随灯光提醒；当流量传感器22中的流量不在0.7～0.9L/min的范围值时，PLC控制器28输出控制命令至阀门24，将发生故障的清洗水管29关闭，避免清洗水管29中的去离子水流量好偏高或偏低对晶圆片的清洗造成不利影响，并且启动备用的另外一条清洗水管29的阀门24为晶圆片进行清洗。

以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式，并不用于限定本实用新型保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种划片机划片去离子水流量自动报警装置，包括划片机(1)和设置在划片机(1)上的清洗观测框(2)，所述清洗观测框(2)中间开设有清洗观测窗口(21)，所述清洗观测框(2)内部设置有清洗水管(29)，其特征在于：所述清洗水管(29)设置有多条，所述清洗水管(29)的中间连接有水流传感器(22)，所述水流传感器(22)通过支架(27)固定在划片机(1)的一侧外壁，所述清洗水管(29)靠近水流传感器(22)的两侧分别设置有阀门(24)，所述清洗观测框(2)的顶部安装有与清洗水管(29)数量相等的报警器(23)；

还包括PLC控制器(28)，所述PLC控制器(28)与水流传感器(22)信号连接，所述PLC控制器(28)分别与报警器(23)和阀门(24)电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种划片机划片去离子水流量自动报警装置，其特征在于：所述阀门(24)包括第一控制阀(241)和第二控制阀(242)，所述第一控制阀(241)位于清洗水管(29)的进水口处，所述第二控制阀(242)位于清洗水管(29)的出水口处。

3.根据权利要求2所述的一种划片机划片去离子水流量自动报警装置，其特征在于：所述清洗水管(29)的靠近第一控制阀(241)的进水口处设置有第一过滤网(25)，所述清洗水管(29)的靠近第二控制阀(242)的出水口处设置有第二过滤网(26)。

4.根据权利要求1所述的一种划片机划片去离子水流量自动报警装置，其特征在于：所述阀门(24)的型号为ZCD-1的微型电磁阀。

5.根据权利要求1所述的一种划片机划片去离子水流量自动报警装置，其特征在于：所述水流传感器(22)的型号为VA30G-25的玻璃转子流量计。

6.根据权利要求5所述的一种划片机划片去离子水流量自动报警装置，其特征在于：所述水流传感器(22)的流量设置为0.8L/min。

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