CN210529103U - 一种用于晶体生长的称量装置 - Google Patents
一种用于晶体生长的称量装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210529103U CN210529103U CN201921252030.6U CN201921252030U CN210529103U CN 210529103 U CN210529103 U CN 210529103U CN 201921252030 U CN201921252030 U CN 201921252030U CN 210529103 U CN210529103 U CN 210529103U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sleeve
- hole
- turntable
- crystal growth
- diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型提出的一种用于晶体生长的称量装置，通过设置驱动组件驱动内转盘转动，内转盘转动从而带动伸缩杆转动，伸缩杆转动从而带动套筒转动，套筒与螺杆螺纹连接使转动地套筒可沿螺杆的长度方向移动以带动称量传感器与籽晶杆移动，从而实现籽晶杆在提升的过程中旋转，提高温度场径向对称性，长处几何对称性的晶体，而且根据称量传感器所检测的重量信息，驱动组件驱动内转盘改变转速改变晶体的直径和提升速度以适应不同的要求。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶体生长设备技术领域，具体涉及一种用于晶体生长的称量装置。
背景技术
晶体生长炉是利用籽晶制造晶体的设备。晶体的提拉速度影响晶体的生长情况，如申请号为201710224445.1的中国专利，利用坩埚内的装料总重量和称量的晶体重量，得到坩埚内的剩余料重量，来控制坩埚提升机构的提升速度，避免锅跟比过小或者过大影响晶体生长。但并没有温度场的径向不对称性，导致生长的晶体几何不对称。
实用新型内容
基于背景技术存在的技术问题，本实用新型提出的一种用于晶体生长的称量装置，以便于提高温度场的径向对称性。
本实用新型提出的一种用于晶体生长的称量装置，包括两个支架、固定板、转盘、螺杆、连接件、至少一个伸缩杆、套筒、称量传感器和籽晶杆；
两个支架对称布置，固定板设在两个支架之间，固定板两端分别与对应的支架固定连接，转盘包括可相对转动的内转盘和外转盘，外转盘固定在固定板上表面，驱动组件驱动连接内转盘以驱动转盘沿自身轴线转动；
内转盘上设有同轴设置的第一通孔，固定板上设有与第一通孔同轴设置的第二通孔，伸缩杆第一端与内转盘第二端固定连接，伸缩杆第二端穿过第二通孔与套筒第一端固定连接，套筒为第一端开口的中空结构，套筒内周壁设有内螺纹；
螺杆第一端与连接件固定连接，连接件与至少一个支架滑动连接，螺杆第二端穿过第一通孔和第二通孔并伸入到套筒内部并与套筒内周壁的内螺纹螺纹连接，套筒第二端与称量传感器固定连接，称量传感器底部与籽晶杆可拆卸固定，籽晶杆、称量传感器和套筒同轴设置。
优选地，螺杆第二端设有限位板，套筒的中空结构的第二端扩容形成用于容纳限位板且使限位板不脱出的限位腔。
优选地，还包括控制器，称重传感器信号连接控制器，控制器控制连接驱动组件
优选地，驱动组件包括电机和齿轮，内转盘第一端凸出于外转盘，且内转盘第一端沿周向设有外齿，电机安装在连接板上，电机的输出轴固定有齿轮，齿轮与外齿啮合，控制器控制连接电机。
优选地，第二通孔的直径大于第一通孔的直径且小于外转盘的外径。
优选地，第二通孔的直径大于第一通孔的直径且小于内转盘的外径。
本实用新型提出的一种用于晶体生长的称量装置，具有以下有益效果：
(1)通过设置驱动组件驱动内转盘转动，内转盘转动从而带动伸缩杆转动，伸缩杆转动从而带动套筒转动，套筒与螺杆螺纹连接使转动地套筒可沿螺杆的长度方向移动以带动称量传感器与籽晶杆移动，从而实现籽晶杆在提升的过程中旋转，提高温度场径向对称性，长处几何对称性的晶体。
(2)根据称量传感器所检测的重量信息，驱动组件驱动内转盘改变转速改变晶体的直径和提升速度以适应不同的要求。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于晶体生长的称量装置的结构示意图。
具体实施方式
参照图1，本实用新型提出的一种用于晶体生长的称量装置，包括两个支架1、固定板2、转盘3、螺杆6、连接件7、至少一个伸缩杆4、套筒5、称量传感器8和籽晶杆9；
两个支架1对称布置，固定板1设在两个支架1之间，固定板1两端分别与对应的支架1固定连接，转盘3包括可相对转动的内转盘31和外转盘32，外转盘32固定在固定板1上表面，驱动组件驱动连接内转盘31以驱动内转盘31沿自身轴线转动；
内转盘31上设有同轴设置的第一通孔，固定板1上设有与第一通孔同轴设置的第二通孔，伸缩杆4第一端与内转盘31第二端固定连接，伸缩杆4第二端穿过第二通孔与套筒5第一端固定连接，套筒5为第一端开口的中空结构，套筒5内周壁设有内螺纹；
螺杆6第一端与连接件7固定连接，连接件7与至少一个支架1固定连接，螺杆6第二端穿过第一通孔和第二通孔并伸入到套筒5内部并与套筒5内周壁的内螺纹螺纹连接，套筒5第二端与称量传感器8固定连接，称量传感器8底部与籽晶杆9可拆卸固定，籽晶杆9、称量传感器8和套筒5同轴设置。
本实用新型通过驱动组件驱动内转盘31转动，内转盘31转动从而带动伸缩杆4转动，伸缩杆4转动从而带动套筒5转动，由于套筒5内周壁与螺杆6螺纹连接，螺杆6由于连接件7和支架1的限制不能进行升降和转动，套筒可沿螺杆的长度方向移动以带动称量传感器8与籽晶杆9移动，因此，本实用新型可实现籽晶杆9在提升的过程中旋转，提高温度场径向对称性，长处几何对称性的晶体，且根据称量传感器8所检测的重量信息，驱动组件驱动内转盘31改变转速改变晶体的直径和提升速度。
具体的，螺杆6上的螺纹螺距依据实际情况进行设置。具体的，第一通孔的直径大于螺杆6的直径。
在本实施方式中，螺杆6第二端设有限位板，套筒5的中空结构的第二端扩容形成用于容纳限位板且使限位板不脱出的限位腔。限位板用于限制套筒5的活动行程。具体时，晶体提拉法提拉晶体生长具有设定的升降行程，限位腔的高度大于或等于升降行程。具体的，套筒5靠近第一端的内周壁内设有内螺纹，具有内螺纹的内周壁的高度大于或等于升降行程。
在本实施方式中，还包括控制器，称重传感器信号连接控制器，控制器控制连接驱动组件。通过控制器所接收的重量信息调节内转盘31的转速改变晶体的直径和提升速度。
在本实施方式中，驱动组件包括电机和齿轮，内转盘31第一端凸出于外转盘32，且内转盘31第一端沿周向设有外齿，电机安装在连接板上，电机的输出轴固定有齿轮，齿轮与外齿啮合，控制器控制连接电机。通过电机的工作带动齿轮转动，从而带动具有与齿轮相啮合的外齿的内转盘31转动。驱动组件也可以包括多个电机和多个齿轮，同步带动内转盘31稳定转动。
在本实施方式中，第二通孔的直径大于第一通孔的直径且小于外转盘32的外径，以增加固定板2对外转盘32的支撑作用，提高稳定性。
在进一步地实施方式中，第二通孔的直径大于第一通孔的直径且小于内转盘31的外径，以增加固定板2对转盘3的支撑作用，避免内转盘31与外转盘32在受力过大的情况下变形脱离。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种用于晶体生长的称量装置，其特征在于，包括两个支架(1)、固定板(2)、转盘、螺杆(6)、连接件(7)、至少一个伸缩杆(4)、套筒(5)、称量传感器(8)和籽晶杆(9)；
两个支架(1)对称布置，固定板(2)设在两个支架(1)之间，固定板(2)两端分别与对应的支架(1)固定连接，转盘(3)包括可相对转动的内转盘(31)和外转盘(32)，外转盘(32)固定在固定板(2)上表面，驱动组件驱动连接内转盘(31)以驱动内转盘(31)沿自身轴线转动；
内转盘(31)上设有同轴设置的第一通孔，固定板(2)上设有与第一通孔同轴设置的第二通孔，伸缩杆(4)第一端与内转盘(31)第二端固定连接，伸缩杆(4)第二端穿过第二通孔与套筒(5)第一端固定连接，套筒(5)为第一端开口的中空结构，套筒(5)内周壁设有内螺纹；
螺杆(6)第一端与连接件(7)固定连接，连接件(7)与至少一个支架(1)滑动连接，螺杆(6)第二端穿过第一通孔和第二通孔并伸入到套筒(5)内部并与套筒(5)内周壁的内螺纹螺纹连接，套筒(5)第二端与称量传感器(8)固定连接，称量传感器(8)底部与籽晶杆(9)可拆卸固定，籽晶杆(9)、称量传感器(8)和套筒(5)同轴设置。
2.根据权利要求1所述的用于晶体生长的称量装置，其特征在于，螺杆(6)第二端设有限位板，套筒(5)的中空结构的第二端扩容形成用于容纳限位板且使限位板不脱出的限位腔。
3.根据权利要求1所述的用于晶体生长的称量装置，其特征在于，还包括控制器，称重传感器信号连接控制器，控制器控制连接驱动组件。
4.根据权利要求1所述的用于晶体生长的称量装置，其特征在于，驱动组件包括电机和齿轮，内转盘(31)第一端凸出于外转盘(32)，且内转盘(31) 第一端沿周向设有外齿，电机安装在连接板上，电机的输出轴固定有齿轮，齿轮与外齿啮合，控制器控制连接电机。
5.根据权利要求1所述的用于晶体生长的称量装置，其特征在于，第二通孔的直径大于第一通孔的直径且小于外转盘(32)的外径。
6.根据权利要求5所述的用于晶体生长的称量装置，其特征在于，第二通孔的直径大于第一通孔的直径且小于内转盘(31)的外径。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921252030.6U CN210529103U (zh) | 2019-08-02 | 2019-08-02 | 一种用于晶体生长的称量装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921252030.6U CN210529103U (zh) | 2019-08-02 | 2019-08-02 | 一种用于晶体生长的称量装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210529103U true CN210529103U (zh) | 2020-05-15 |
Family
ID=70600253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921252030.6U Expired - Fee Related CN210529103U (zh) | 2019-08-02 | 2019-08-02 | 一种用于晶体生长的称量装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210529103U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110453278A (zh) * | 2019-08-02 | 2019-11-15 | 合肥嘉东光学股份有限公司 | 一种用于晶体生长的称量装置 |
-
2019
- 2019-08-02 CN CN201921252030.6U patent/CN210529103U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110453278A (zh) * | 2019-08-02 | 2019-11-15 | 合肥嘉东光学股份有限公司 | 一种用于晶体生长的称量装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100460572C (zh) | 传感器外置式晶体提升装置 | |
| CN210529103U (zh) | 一种用于晶体生长的称量装置 | |
| CN105908253B (zh) | 一种上液桥柱可旋转式液桥生成器 | |
| CN110453278A (zh) | 一种用于晶体生长的称量装置 | |
| CN210085624U (zh) | 单晶炉石英坩埚的升降装置 | |
| CN106757315A (zh) | 一种单晶炉的称重装置 | |
| CN208717468U (zh) | 一种单晶炉的坩埚驱动机构 | |
| CN208717467U (zh) | 一种单晶炉用晶体提升旋转机构 | |
| CN207738888U (zh) | 一种单晶炉用新型坩埚驱动装置 | |
| JP2008214118A (ja) | 半導体単結晶の製造方法 | |
| CN207358145U (zh) | 用于高温合金定向凝固的旋转下拉装置 | |
| CN216283431U (zh) | 一种可调节升降的监理装置 | |
| CN210085620U (zh) | 全自动炉室升降旋转系统 | |
| CN212388077U (zh) | 一种热风进料装置 | |
| CN217600916U (zh) | 蓝宝石长晶设备 | |
| CN207738889U (zh) | 一种单晶炉提拉头 | |
| CN206607337U (zh) | 一种单晶炉的称重装置 | |
| CN201713603U (zh) | 高低速电机二合一籽晶头 | |
| CN220846338U (zh) | 一种改进型籽晶夹头装置 | |
| CN219009775U (zh) | 一种具有防滑功能且便于移动的塔吊上下支座的组合装置 | |
| CN208632692U (zh) | 一种晶体生长炉用升降装置 | |
| CN108728896B (zh) | 一种坩埚轴升降装置 | |
| CN202543386U (zh) | 带编码器的单晶炉 | |
| CN217298086U (zh) | 一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台 | |
| CN113549998A (zh) | 一种直拉单晶硅棒取晶装置及其取晶工艺 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20200515 Termination date: 20210802 |