CN217298086U - 一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，涉及晶棒产出技术领域。本实用新型包括外罩，外罩的顶部安装有导晶棒管，外罩的内侧安装有坩埚，外罩内侧的底部固定有多个液压缸，液压缸的顶部固定有支撑板，支撑板的顶部安装有用于驱动坩埚转动的转动机构，转动机构包括电机、主动齿轮、从动齿轮、转动杆和限位块，电机固定于支撑板的顶部。本实用新型通过液压缸、主动齿轮和从动齿轮之间的相互配合，使得使用者可以根据实际的情况随时调节坩埚的转速和高度，控制方便，保证单晶的品质，且通过支撑块、重量传感器和控制器之间的相互配合，使得坩埚内部的液体与导流筒下口之间的距离保持同一高度。

Description

一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台

技术领域

本实用新型属于晶棒产出技术领域，特别是涉及一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台。

背景技术

单晶硅，又称硅单晶，是一种半导体材料。单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并用直拉法生长无错位单晶硅的设备，炉台时单晶炉的一部分，而12吋是单晶炉炉台的一种常用尺吋，在生产制造过程中，往往不能够保证坩埚位于合适的高度且具有稳定的转速，进而降低了出晶的效果，以及现有的晶棒在出晶时大小不能确定，进而使得坩埚内部的液面也无法确定，从而对液口距无法确定。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，以解决现有的问题：在生产制造过程中，往往不能够保证坩埚位于合适的高度且具有稳定的转速，进而降低了出晶的效果。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，包括外罩，所述外罩的顶部安装有导晶棒管，所述外罩的内侧安装有坩埚，所述外罩内侧的底部固定有多个液压缸，所述液压缸的顶部固定有支撑板，所述支撑板的顶部安装有用于驱动坩埚转动的转动机构。

进一步地，所述转动机构包括电机、主动齿轮、从动齿轮、转动杆和限位块；

所述电机固定于支撑板的顶部，所述电机的输出端竖直向上固定有主动齿轮，所述主动齿轮的一侧啮合连接有从动齿轮，所述从动齿轮的内部焊接有转动杆，且所述转动杆与支撑板转动连接，所述转动杆顶部的外侧焊接有限位块，所述限位块用于所述转动杆转动时可带动所述坩埚转动，且所述转动杆和限位块均与坩埚滑动连接。

进一步地，所述坩埚的底部转动连接有两个支撑块，所述支撑块的底部且位于支撑板的顶部安装有重量传感器，所述支撑板的底部还安装有控制器。

进一步地，所述转动杆与支撑板通过轴承转动连接。

进一步地，所述主动齿轮的直径小于从动齿轮的直径。

进一步地，所述重量传感器与控制器以及控制器与液压缸均电性连接。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过液压缸、主动齿轮和从动齿轮之间的相互配合，使得使用者可以根据实际的情况随时调节坩埚的转速和高度，控制方便，保证单晶的品质。

2、本实用新型通过支撑块、重量传感器和控制器之间的相互配合，使得坩埚内部的液体与导流筒下口之间的距离保持同一高度，从而保证晶棒的产出效率和质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型外罩的剖视图；

图3为本实用新型电机、主动齿轮和转动杆之间的结构示意图；

图4为本实用新型坩埚的剖视图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、外罩；2、导晶棒管；3、液压缸；4、支撑板；5、电机；6、主动齿轮；7、从动齿轮；8、转动杆；9、坩埚；10、限位块；11、支撑块；12、重量传感器；13、控制器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4所示，本实用新型为一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，包括外罩1，外罩1的顶部安装有导晶棒管2，外罩1的内侧安装有坩埚9，外罩1内侧的底部固定有多个液压缸3，液压缸3的顶部固定有支撑板4，支撑板4的顶部安装有用于驱动坩埚9转动的转动机构。

转动机构包括电机5、主动齿轮6、从动齿轮7、转动杆8和限位块10；

电机5固定于支撑板4的顶部，电机5的输出端竖直向上固定有主动齿轮6，主动齿轮6的一侧啮合连接有从动齿轮7，从动齿轮7的内部焊接有转动杆8，且转动杆8与支撑板4转动连接，转动杆8与支撑板4通过轴承转动连接，使得转动杆8转动时减少与支撑板4之间的摩擦力，转动杆8顶部的外侧焊接有限位块10，限位块10用于转动杆8转动时可带动坩埚9转动，主动齿轮6的直径小于从动齿轮7的直径，使得主动齿轮6转动时带动从动齿轮7转动，进而使得从动齿轮7带动坩埚9转动的不会太快，保证坩埚9内部液体的稳定性，且转动杆8和限位块10均与坩埚9滑动连接。

坩埚9的底部转动连接有两个支撑块11，支撑块11的底部且位于支撑板4的顶部安装有重量传感器12，支撑板4的底部还安装有控制器13，重量传感器12与控制器13以及控制器13与液压缸3均电性连接，使得重量传感器12将数据传递给控制器13，并通过控制器13得以控制液压缸3启动。

本实施例的一个具体应用为：使用者使用该装置时，可通过改变晶棒的拉速，进而使得晶棒的拉速得到提升，从而增加成精率；

当需要调节坩埚9的位置时，可启动液压缸3，进而通过液压缸3带动支撑板4上下移动，从而带动坩埚9移动，当启动电机5时，使得电机5的输出端带动主动齿轮6转动，进而通过主动齿轮6和从动齿轮7之间的啮合连接，使得主动齿轮6能够带动从动齿轮7和转动杆8和限位块10转动，通过限位块10的设置，使得转动杆8和限位块10不需要对坩埚9承重即可驱动坩埚9转动，进而使得使用者可以根据实际的情况随时调节坩埚9的转速和高度，控制方便，保证单晶的品质；

该坩埚9可通过支撑块11对其进行承重，通过重量传感器12预先计算出支撑块11和坩埚9的重量，在知道坩埚9的容积的情况下，即可得出坩埚9内部液体的高度，进而通过重量传感器12将信号传递给控制器13，并通过控制器13启动液压缸3，使得液压缸3能够调节坩埚9的高度，进而使得坩埚9内部的液体与导流筒下口之间的距离保持同一高度，从而保证晶棒的产出效率和质量。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (6)

1.一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，包括外罩(1)，其特征在于：所述外罩(1)的顶部安装有导晶棒管(2)，所述外罩(1)的内侧安装有坩埚(9)，所述外罩(1)内侧的底部固定有多个液压缸(3)，所述液压缸(3)的顶部固定有支撑板(4)，所述支撑板(4)的顶部安装有用于驱动坩埚(9)转动的转动机构。

2.根据权利要求1所述的一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，其特征在于：所述转动机构包括电机(5)、主动齿轮(6)、从动齿轮(7)、转动杆(8)和限位块(10)；

所述电机(5)固定于支撑板(4)的顶部，所述电机(5)的输出端竖直向上固定有主动齿轮(6)，所述主动齿轮(6)的一侧啮合连接有从动齿轮(7)，所述从动齿轮(7)的内部焊接有转动杆(8)，且所述转动杆(8)与支撑板(4)转动连接，所述转动杆(8)顶部的外侧焊接有限位块(10)，所述限位块(10)用于所述转动杆(8)转动时可带动所述坩埚(9)转动，且所述转动杆(8)和限位块(10)均与坩埚(9)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，其特征在于：所述坩埚(9)的底部转动连接有两个支撑块(11)，所述支撑块(11)的底部且位于支撑板(4)的顶部安装有重量传感器(12)，所述支撑板(4)的底部还安装有控制器(13)。

4.根据权利要求2所述的一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，其特征在于：所述转动杆(8)与支撑板(4)通过轴承转动连接。

5.根据权利要求2所述的一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，其特征在于：所述主动齿轮(6)的直径小于从动齿轮(7)的直径。

6.根据权利要求3所述的一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，其特征在于：所述重量传感器(12)与控制器(13)以及控制器(13)与液压缸(3)均电性连接。

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