CN210525535U - 一种硅棒粘胶固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅棒粘胶固定装置。包括：底板；弧面托架，其设置在所述底板的上方,用于承托硅柱；以及缓冲装置，其设置在所述弧面托架与底板之间，用于缓冲硅棒下落过程中对底板的冲击；多组夹持装置，其分别设置在所述弧面托架的两侧，用于相互配合夹持硅柱；其中，所述缓冲装置包括；一对第一滑轨，其并列设置在所述底板上；一对第一滑块，其分别设置在第一滑轨上；连接板，其两侧分别与第一滑块连接；多个阻尼减震器，其下端分别设置在所述连接板上，阻尼减震器的上端与所述弧面托架连接，用于弹性支撑所述弧面托架。本实用新型的有益效果是：设有缓冲装置，能够避免硅棒与垫板间产生相对滑动。

Description

一种硅棒粘胶固定装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片制造领域，特别涉及一种硅棒粘胶固定装置。

背景技术

单晶硅是硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

硅柱的处理过程有一步粘胶工艺，在此过程中，硅棒自高出落下，掉落下盛有胶液的垫板，利用重力的冲击使硅柱与垫板粘结。在现有工艺中，将垫板放置在一个水平台面上，硅棒自上方落下，由于硅棒重力较大，与水平台面间的冲量也很大，致使硅棒与垫板之间产生相对滑动，从而致使硅棒与垫板粘结效果不佳。

因此，一种能够缓冲硅棒下落过程中冲击的运送车成为解决问题的关键。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅棒粘胶固定装置，其设有缓冲装置，能够避免硅棒与垫板间产生相对滑动。

本实用新型还有一个目的在于提供一种硅棒粘胶固定装置，在粘胶过程中，能够夹持和固定硅棒。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案，包括：

底板；

弧面托架，其设置在所述底板的上方,用于承托硅柱；以及

缓冲装置，其设置在所述弧面托架与底板之间，用于缓冲硅棒下落过程中对底板的冲击；

多组夹持装置，其分别设置在所述弧面托架的两侧，用于相互配合夹持硅柱；

其中，所述缓冲装置包括；

一对第一滑轨，其并列设置在所述底板上；

一对第一滑块，其分别设置在第一滑轨上；

连接板，其两侧分别与第一滑块连接；

多个阻尼减震器，其下端分别设置在所述连接板上，阻尼减震器的上端与所述弧面托架连接，用于弹性支撑所述弧面托架。

优选的是，还包括：

通孔，其纵向设置在所述第一滑块上；

第一限位连杆，其沿所述第一滑轨轴向设置位于所述第一滑轨的上方，并穿过所述通孔；

第一压缩弹簧，其分别设置在所述第一限位连杆的两端，一端与所述第一滑轨端部相抵接，另一端与所述第一滑块端面相抵接。

优选的是，还包括：

多个贯通孔，其横向均布在所述第一滑轨和第一滑块上；

U型限位销，其销柱选择性地穿过所述贯通孔，用于将所述第一滑轨和第一滑块的位置固定；

其中，在所述销柱端部设有外螺纹，通过螺母将所述U型限位销固定。

优选的是，所述夹持装置包括：

一对立柱，其镜像设置在所述弧面托架的两侧，在所述立柱的顶端，设有向内弯曲的延伸部；

限位开槽，其设置在所述延伸部上；以及

连接柱，其末端穿过所述限位开槽，可与所述延伸部可拆卸连接；

弧形压板,其上端面与所述连接柱连接,弧形压板的下端面用于与硅棒相抵接。

优选的是，还包括：

两对第二滑轨，其横向设置在所述底板上；

一对第二滑块，其分别设置在相邻的第二滑轨上；

其中，所述立柱下端设置在所述第二滑块上。

优选的是，所述多组夹持装置为3组。

优选的是，还包括：

多个沉头螺栓孔，其均布设置在所述底板上；

定位开孔，其设置在所述第二滑块上；

其中，螺栓其穿过所述定位开孔，可选择地与所述沉头螺栓孔连接。

优选的是，还包括：

第二限位连杆，其前端与所述第二滑块连接，末端穿过底板侧壁；

第二压缩弹簧，其套设在所述第二限位连杆上，一端与所述底板侧壁相抵接，另一端与所述第二滑块相抵接。

优选的是，还包括：

多道开槽，其均布设置在所述弧面托架上，用于提高硅棒的散热效率。

优选的是，所述弧面托架由四氟乙烯制成。

实用新型的有益效果是：设有缓冲装置，能够避免硅棒与垫板间产生相对滑动。

附图说明

图1是本实用新型一种硅棒粘胶固定装置的立体图I；

图2是本实用新型中底板部分的示意图；

图3是本实用新型中夹持装置的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不排除一个或其它元件或其组合的存在或添加。

如图1-3所示，本实用新型的一种实现形式，为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案，包括：

底板110，长方形板状结构，由金属材料制成。作为一种优选，所述底板110由不锈钢材料制成。在所述底板110的两侧设有凸起的限位凸台111。

弧面托架140呈弧面结构，由高分子材料制成。弧面托架140设置在所述底板110的上方,用于承托硅柱。作为一种优选，在所述弧面托架140上设有多道便于硅柱散热的开槽141。作为进一步优选，在所述弧面托架140的两侧设有限位块142。作为进一步优选，在所述弧面托架140由聚四氟乙烯制成。

缓冲装置设置在所述弧面托架140与底板110之间，用于缓冲硅棒下落过程中对底板110的冲击。作为一种优选，所述缓冲装置包括；一对第一滑轨121沿轴向并列设置在所述底板110上；一对第一滑块122分别设置在第一滑轨121上；连接板123的两侧分别与第一滑块122连接；多个阻尼减震器130的下端分别设置在所述连接板123上，阻尼减震器130的上端与所述弧面托架140连接，用于弹性支撑所述弧面托架140。作为进一步优选，还包括：通孔纵向设置在所述第一滑块122上；第一限位连杆124沿所述第一滑轨轴向设置位于所述第一滑轨的上方，并穿过所述通孔；第一压缩弹簧125，分别设置在所述第一限位连杆124的两端，一端与所述第一滑轨121端部相抵接，另一端与所述第一滑块端面122相抵接。

多组夹持装置分别设置在所述弧面托架140的两侧，用于相互配合夹持硅柱；作为一种优选，所述多组夹持装置为3组。作为进一步优选，一对立柱153镜像设置在所述弧面托架140的两侧，在所述立柱153的顶端，设有向内弯曲的延伸部153a；限位开槽153b，其设置在所述延伸部153a上；连接柱154末端穿过所述限位开槽153b，可与所述延伸部153a可拆卸连接；弧形压板155上端面与所述连接柱154连接,弧形压板155的下端面用于与硅棒相抵接。作为进一步优选，还包括：两对第二滑轨151横向设置在所述底板110上；一对第二滑块152分别设置在相邻的第二滑轨151上；其中，所述立柱153下端设置在所述第二滑块152上。

在使用过程中，首先将盛有胶液的垫板放置在弧面托架140上，再通过第一滑块122弧面托架140调整至硅棒的正下方，通过调整第二滑块152，避免硅棒在下落过程中与夹持装置发生碰撞；然后释放硅棒，硅棒下落后对弧面托架140产生冲击，阻尼减震器130缓冲竖直方向上的冲击，第一滑道 121、第一滑块122和第一压缩弹簧125缓冲水平方向上的冲击，从而避免了垫板与硅棒产生相对移动。当硅棒稳定后，用夹持装置夹紧硅棒，避免在运输过程中硅棒与弧面托架140产生相对滑动。

在另一个实施例中，还包括：通孔纵向设置在所述第一滑块122上；第一限位连杆124沿所述第一滑轨轴向设置位于所述第一滑轨的上方，并穿过所述通孔；第一压缩弹簧125，分别设置在所述第一限位连杆124的两端，一端与所述第一滑轨121端部相抵接，另一端与所述第一滑块端面122相抵接。作为一种优选，在所述通孔内设有滑动轴承。作为进一步优选，所述第一滑轨121由不锈钢材料制成。

在另一个实施例中，还包括：多个贯通孔128横向均布在所述第一滑轨 121和第一滑块122上；U型限位销126的销柱选择性地穿过所述贯通孔128，用于将所述第一滑轨121和第一滑块122的位置固定；其中，在所述销柱端部设有外螺纹，通过螺母127将所述U型限位销固定。作为一种优选，所述 U型限位销126由不锈钢材料制成。

在另一个实施例中，所述夹持装置包括：一对立柱153镜像设置在所述弧面托架140的两侧，在所述立柱153的顶端，设有向内弯曲的延伸部153a；限位开槽153b，其设置在所述延伸部153a上；连接柱154末端穿过所述限位开槽153b，可与所述延伸部153a可拆卸连接；弧形压板155上端面与所述连接柱154连接,弧形压板155的下端面用于与硅棒相抵接。作为一种优选，所述弧形压板155由四氟乙烯制成。作为进一步优选，在所述弧形压板 155的下端面设有多个用于增加摩擦力的凸点。

在另一个实施例中，还包括：两对第二滑轨151横向设置在所述底板110 上；一对第二滑块152分别设置在相邻的第二滑轨151上；其中，所述立柱 153下端设置在所述第二滑块152上。

在另一个实施例中，所述多组夹持装置为3组。

在另一个实施例中，还包括：多个沉头螺栓孔112.多个沉头螺栓孔112 均布设置在所述底板110上；定位开孔设置在所述第二滑块122上；其中，螺栓152a穿过所述定位开孔，可选择地与所述沉头螺栓孔112连接。

在另一个实施例中，还包括：第二限位连杆158和第二压缩弹簧159。第二限位连杆158的前端与所述第二滑块152连接，末端穿过底板110侧壁；第二压缩弹簧159套设在所述第二限位连杆158上，一端与所述底板110侧壁相抵接，另一端与所述第二滑块152相抵接。

在另一个实施例中，还包括：多道开槽141均布设置在所述弧面托架140 上，用于提高硅棒的散热效率。

在另一个实施例中，所述弧面托架140由四氟乙烯制成。

综上所述本实用新型一种硅棒粘胶固定装置，设有缓冲装置，能够避免硅棒与垫板间产生相对滑动；能够夹持和固定硅棒。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (10)

1.一种硅棒粘胶固定装置，其特征在于，包括：

底板；

弧面托架，其设置在所述底板的上方,用于承托硅柱；以及

缓冲装置，其设置在所述弧面托架与底板之间，用于缓冲硅棒下落过程中对底板的冲击；

多组夹持装置，其分别设置在所述弧面托架的两侧，用于相互配合夹持硅柱；

其中，所述缓冲装置包括；

一对第一滑轨，其并列设置在所述底板上；

一对第一滑块，其分别设置在第一滑轨上；

连接板，其两侧分别与第一滑块连接；

多个阻尼减震器，其下端分别设置在所述连接板上，阻尼减震器的上端与所述弧面托架连接，用于弹性支撑所述弧面托架。

2.根据权利要求1所述的硅棒粘胶固定装置，其特征在于，还包括：

通孔，其纵向设置在所述第一滑块上；

第一限位连杆，其沿所述第一滑轨轴向设置位于所述第一滑轨的上方，并穿过所述通孔；

第一压缩弹簧，其分别设置在所述第一限位连杆的两端，一端与所述第一滑轨端部相抵接，另一端与所述第一滑块端面相抵接。

3.根据权利要求1或2所述的硅棒粘胶固定装置，其特征在于，还包括：

多个贯通孔，其横向均布在所述第一滑轨和第一滑块上；

U型限位销，其销柱选择性地穿过所述贯通孔，用于将所述第一滑轨和第一滑块的位置固定；

其中，在所述销柱端部设有外螺纹，通过螺母将所述U型限位销固定。

4.根据权利要求3所述的硅棒粘胶固定装置，其特征在于，所述夹持装置包括：

一对立柱，其镜像设置在所述弧面托架的两侧，在所述立柱的顶端，设有向内弯曲的延伸部；

限位开槽，其设置在所述延伸部上；以及

连接柱，其末端穿过所述限位开槽，可与所述延伸部可拆卸连接；

弧形压板,其上端面与所述连接柱连接,弧形压板的下端面用于与硅棒相抵接。

5.根据权利要求4所述的硅棒粘胶固定装置，其特征在于，还包括：

两对第二滑轨，其横向设置在所述底板上；

一对第二滑块，其分别设置在相邻的第二滑轨上；

其中，所述立柱下端设置在所述第二滑块上。

6.根据权利要求5所述的硅棒粘胶固定装置，其特征在于：所述多组夹持装置为3组。

7.根据权利要求6所述的硅棒粘胶固定装置，其特征在于，还包括：

多个沉头螺栓孔，其均布设置在所述底板上；

定位开孔，其设置在所述第二滑块上；

其中，螺栓其穿过所述定位开孔，可选择地与所述沉头螺栓孔连接。

8.根据权利要求7所述的硅棒粘胶固定装置，其特征在于，还包括：

第二限位连杆，其前端与所述第二滑块连接，末端穿过底板侧壁；

第二压缩弹簧，其套设在所述第二限位连杆上，一端与所述底板侧壁相抵接，另一端与所述第二滑块相抵接。

9.根据权利要求1或2所述的硅棒粘胶固定装置，其特征在于，还包括：

多道开槽，其均布设置在所述弧面托架上，用于提高硅棒的散热效率。

10.根据权利要求1或2所述的硅棒粘胶固定装置，其特征在于：所述弧面托架由四氟乙烯制成。

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