CN210525529U - 硅片流水线收集装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了硅片流水线收集装置，涉及硅片加工技术领域。本实用新型包括：输送硅片的工作台(1)，收集硅片的收集箱(2)和控制收集箱(2)上下方向运动的气缸(3)及电机(4)；硅片输送带(201)安装在上台面(101)上，收集箱输送带(202)安装在下台面(102)上，收集箱(2)置于箱架(203)底部的小输送带(207)上；电机(4)通过丝杠(504)连接着收集箱(2)，收集箱(2)内置多个收纳层(212)。本实用新型有益技术效果：可对输送带上全部排开的硅片进行逐片收集，进行整箱输送；收纳层将硅片彼此隔开，互不吸附粘连；本装置中设置两套收集箱可以对两个流水线上的硅片收集同时作业。

Description

硅片流水线收集装置

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，特别涉及硅片流水线收集装置。

背景技术

硅片的生产过程中，硅锭切削成片状后，由于片层间夹杂切削粉末、彼此不易分离，需要进行洗涤，洗涤后的硅片，需要全部排开，方便干燥与粗略检查。通常，采取流水线作业直接将洗涤后的硅片置于输送带上排开，在输送中进行干燥与检查工作，连续进行而且效率快；而之后硅片的收集工作，缺乏收集设备。

发明内容

本实用新型提供硅片流水线收集装置，可对输送带上全部排开的硅片进行逐片收集。

具体技术方案是，硅片流水线收集装置，包括：输送硅片的工作台，收集硅片的收集箱和控制收集箱上下方向运动的气缸及电机；

工作台分为上台面和下台面，硅片输送带安装在上台面上，收集箱输送带安装在下台面上，硅片输送带和收集箱输送带分别连接着电机；收集箱放置在箱架中，收集箱置于箱架底部的小输送带上；电机通过丝杠连接着收集箱，收集箱内置多个收纳层。

硅片输送带将全部排开的硅片输送至收集箱处，收集箱对硅片进行收集，电机转动时，丝杠跟随转动引起收集箱上下运动，每收集一个硅片，收集箱会向上移动一个收纳层的距离；当收纳层全部装满后，将收集箱降至收集箱输送带处，小输送带运行将收集箱移至收集箱输送带上方，收集箱输送带进行整箱硅片的输送。

进一步，箱架中支杆立于安装板和底部托板之间，底部托板上设有支杆孔和丝孔；支杆固定安装在支杆孔中，丝杠与丝孔螺纹配合安装。安装板、支杆和底部托板共同构成箱架，小输送带置于底部托板上方。

进一步，在收集箱上方设有连接孔，安装于安装板上的气缸的伸缩杆与安装在连接孔中的连接件固定连接。连接件活动安装在连接孔中，气缸进行伸缩运动保持连接件顶住箱架，防止箱架倾倒。

进一步，在底部托板上还设有光孔，光孔在丝孔的两侧，光轴穿过光孔。安装光轴，提高对箱架的支撑力，在箱架上下运动中，减小摩擦，运行平稳。

进一步，还包括框架，框架在工作台的一侧，框架分为下区、中区和上区，丝杠和光轴立于中区。将控制收集箱上下方向运动的电机安装在下区处，收集箱上下运动的范围是中区和上区。

在硅片输送带将全部排开的硅片输送至收集箱处，收集箱对硅片进行收集，第一个硅片进入到收集箱最上方的收纳层中，然后在电机与丝杠作用中，收集箱会向上移动一个收纳层的距离，进行第二个硅片的收集，不断重复收集箱上移与收纳硅片的过程至收纳层全部装满；电机反转，丝杠跟随反转带动收集箱降至下台面上的收集箱输送带处，小输送带运行将收集箱移至收集箱输送带上方，收集箱输送带进行整箱硅片的输送。设置两套收集箱可以对两个流水线上的硅片收集同时作业。

有益技术效果：可对输送带上全部排开的硅片进行逐片收集，进行整箱输送；收纳层将硅片彼此隔开，互不吸附粘连；本装置中设置两套收集箱可以对两个流水线上的硅片收集同时作业。

附图说明

图1为本实用新型的一种具体实施方式的示意图；

图2为本实用新型的一种具体实施方式的另一个角度示意图；

图3为本实用新型的一种具体实施方式的收集箱示意图，

图4为本实用新型的一种具体实施方式的底部托板示意图。

附图标记说明：

1、工作台，2、收集箱，3、气缸，4、电机，5、框架，

101、上台面，102、下台面；

201、硅片输送带，202、收集箱输送带，203、箱架，204、安装板，205、支杆，206、底部托板，207、小输送带，208、支杆孔，209、丝孔，210、光孔，211、连接孔，212、收纳层；

301、伸缩杆，302、连接件；

501、下区，502、中区，503、上区，504、丝杠，505、光轴。

具体实施方式

下面结合附图及实施例描述本实用新型具体实施方式：

需要说明的是，本说明书所附图中示意的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应落在本实用新型所揭示的技术内容能涵盖的范围内。

同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

实施例：

图1和图2，硅片流水线收集装置，包括：输送硅片的工作台1，收集硅片的收集箱2、控制收集箱2上下方向运动的气缸3及电机4和框架5；

工作台1分为上台面101和下台面102，硅片输送带201安装在上台面101 上，收集箱输送带202安装在下台面102上，硅片输送带201和收集箱输送带 202分别连接着电机4；

收集箱2放置在箱架203中，安装板204、支杆205和底部托板206共同构成箱架203，支杆205立于安装板204和底部托板206之间，小输送带207置于底部托板206上方；

收集箱2置于箱架203底部的小输送带207上，电机4通过丝杠504连接着收集箱2；

框架5在工作台1的一侧，框架5分为下区501、中区502和上区503，丝杠504和光轴505立于中区502；

将控制收集箱2上下方向运动的电机4安装在下区501处，收集箱2上下运动的范围是中区502和上区503。

图4，底部托板206的一端设有四个支杆孔208、一个丝孔209和两个光孔 210；四个支杆孔208围着丝孔209中心对称布置，两个光孔210在支杆孔208 外侧对称布置；光轴505穿过光孔210；支杆205固定安装在支杆孔208中，丝杠504与丝孔209螺纹配合安装。

图3，在收集箱2上方设有连接孔211，收集箱2内置多个收纳层212；安装于安装板204上的气缸3的伸缩杆301与安装在连接孔211中的连接件302 固定连接。连接件302活动安装在连接孔211中，气缸3进行伸缩运动保持连接件302顶住箱架203，防止箱架203倾倒。

在硅片输送带201将全部排开的硅片输送至收集箱2处，收集箱2对硅片进行收集，第一个硅片进入到收集箱2最上方的收纳层212中，然后在电机4 与丝杠504作用中，收集箱2会向上移动一个收纳层212的距离，进行第二个硅片的收集，不断重复收集箱2上移与收纳硅片的过程至收纳层212全部装满；电机4反转，丝杠504跟随反转带动收集箱2降至下台面102上的收集箱输送带202处，小输送带207运行将收集箱2移至收集箱输送带202上方，收集箱输送带202进行整箱硅片的输送。设置两套收集箱2可以对两个流水线上的硅片收集同时作业。

不脱离本实用新型的构思和范围可以做出许多其他改变和改型。应当理解，本实用新型不限于特定的实施方式，本实用新型的范围由所附权利要求限定。

Claims (5)

1.硅片流水线收集装置，其特征在于，

包括：输送硅片的工作台(1)，收集硅片的收集箱(2)和控制收集箱(2)上下方向运动的气缸(3)及电机(4)；

工作台(1)分为上台面(101)和下台面(102)，硅片输送带(201)安装在上台面(101)上，收集箱输送带(202)安装在下台面(102)上，硅片输送带(201)和收集箱输送带(202)分别连接着电机(4)；收集箱(2)置于箱架(203)底部的小输送带(207)上；电机(4)通过丝杠(504)连接着收集箱(2)，收集箱(2)内置多个收纳层(212)。

2.根据权利要求1所述的硅片流水线收集装置，其特征在于，箱架(203)中支杆(205)立于安装板(204)和底部托板(206)之间，底部托板(206)上设有支杆孔(208)和丝孔(209)；支杆(205)固定安装在支杆孔(208)中，丝杠(504)与丝孔(209)螺纹配合安装。

3.根据权利要求2所述的硅片流水线收集装置，其特征在于，在收集箱(2)上方设有连接孔(211)，安装于安装板(204)上的气缸(3)的伸缩杆(301)与安装在连接孔(211)中的连接件(302)固定连接。

4.根据权利要求2所述的硅片流水线收集装置，其特征在于，在底部托板(206)上还设有光孔(210)，光孔(210)在丝孔(209)的两侧，光轴(505)穿过光孔(210)。

5.根据权利要求4所述的硅片流水线收集装置，其特征在于，还包括框架(5)，框架(5)在工作台(1)的一侧，框架(5)分为下区(501)、中区(502)和上区(503)，丝杠(504)和光轴(505)立于中区(502)。

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